PLASMA աղբյուր
|
RF
|
||
Էներգիա
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(option)
|
||
Օգտագործելու շրջակայք
|
4~8 դյույմ
|
||
Միայն մշակում սահմանափակություն
|
1
|
||
Արտահայտության չափեր
|
850մմx900մմx1850մմ
|
||
Սիստեմային կառավարում
|
PLC
|
||
Ավտոմատացման մակարդակ
|
Հանձնարարություն
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved