Սեմիկոնդուկտորների արդյունաբերության սարքեր MDLB-MC200 Photomask cleaner

Ոչ, ես չեմ ուզում:

ԾՐԱԳՐԻ

Մատակարարումներ

Remarks

1

Սարքերի ամփոփում

Ապարատի անվանումը: Photomask Cleaner

Ապարատի մոդելը: MDLB-MC200

Ընդհանուր չափերը (մոտեցական): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H)

Ընդհանուր կշիռը (մոտեցական): 300KG

Օպերացիոն столի բարձրությունը: 900 ± 50mm

Սահմանափակագիրով չափերը: համապատասխանում են 2/4/5/6/8 տուփային mask plates-ին

Պրոցեսի հոսքը: ձեռքով վեյքի տեղադրում → մաքրում (սովորական սարքեր, մաքրության լուծույթ → բարձր ճնշումով ջուր → megasonic ջուր → դեիոնացված ջուր → ազոտային գազով չափանցում) → ձեռքով վեյքի հեռացում

Ընտանիքի տիպը՝ կիսավտոմատ, ձեռնարկում և դուրս բերում ձեռնարկող համակարգով

2

Ընտանիքի կառուցվածք

Պարան՝ անոքսիդացված արծաթ, հավատված, կորոզիային անվտանգ, հեշտ լցվող

Լցումի սենյակ՝ PP, հավատված, կորոզիային անվտանգ, հեշտ լցվող

Տուփ՝ PU/PFA տուփի օգտագործում

Աշխատանքային արյունացում՝ կորոզիային անվտանգ դեղին լուսի արյունացում

Դուռի բացման տիպը՝ կրկնակի դուռ դուռի բացման ալարմային ֆունկցիայի հետ

Սեղմական էկրան՝ 10 դյույմ գույնատար սեղմական էկրան * 1

FFU՝ 100-րդ կարգ

Երկարժեք տանձական հենցում՝ կարողացող

3

բարձր ճշգրտությամբ սերվո մոտոր

Քանակը: 1

Արագություն. -3000~3000 պտ/ր

Դատարկ բեռ

Սպինդլի պտույտի առավելագույն արագացում. 3000 պտ/վ

Դատարկ բեռ

Արագության ճշգրտություն. ± 1 պտ/ր (50 պտ/ր~3000 պտ/ր)

Արագության լուծում. 1 պտ/ր

4

Ավտոմատ ս윙 հանգունեղիկ

Քանակությունը. 3

Սվինգ հանգունեղիկի արագություն. 1~30 °/վ

5

ԿLEANING միավոր

Մաքրության հետագծի արագություն: 1 կանալ դեսիոնացված ջուր, 1 կանալ ազոտային գազ

Մեգասոնիկ արագություն: 1 մեգասոնիկ, 1 բարձր ճնշումով ջուր

Սառչափի արագություն: 1 սառչափ, 1 ջուր, 1 մաքրության լուծույթ

Մաքրության մեթոդը: ավտոմատացված մաքրություն

Դեսիոնացված ջրի վերցնող ֆունկցիա: օգտագործելի

Վերագրում (դեսիոնացված ջուր): 1 ճանապարհ

Աספקտումի մեթոդը: Մաքրության լուծույթ: Դիաֆրագմային բամբ

Դեսիոնացված ջուր: արևելագայումից ուղղակի է առաջացնում

Ճնշումի แทงկ հետ հեռացված մակարդակի հայտարարությամբ

6

Սառչափի սառչափ

Քանակը: 1 (հետ ինքնավար կլինում ֆունկցիայով)

Արագությունը: մինչև 1000 ծուց./ր, կարգավորելի արագություն

Բարձրությունը ձեռնարկությամբ կարգավորելի է

7

Բեռնատար սահման

Քանակը: 5

Մանրակազմ: PPS+անոճ արգենտ

Ծավալը: Կիրառելի է 2/4/5/6/8 դյույմ քառակուսի մասկային սահմանների համար

Հիմքի անցնողական մեթոդ՝ Գորգերով անցնողական մեթոդ

8

Կառավարման համակարգ

Կառավարման համակարգ՝ PLC կառավարման օգտագործում

Պրոգրամ՝ 100 խմբից, յուրաքանչյուր խումբ բաղկացած է 100 քայլերից, միայնակ քայլի առավելագույն ժամանակը՝ 3000.0 վայրկյան

Հայտարարությունը՝ 0.1S

Պրոգրամը կարող է պահպանվել, կոչվել, փոխվել և ջնջվել

Կայքացնել շիֆրապահության իրավունքները՝ սարքի օպերատորների, տեխնիկների, հաստատունների և գործարանի համար համապատասխանաբար

Սիգնալային թավարի տիպը՝ կարմիր, դեղին, կանաչ 3 գույներով