MDLB-MC200
Ֆոտոդիմակ մաքրող միջոց
Մաքրման միավոր.
Մաքրման խցիկը մշակվում է կոռոզիակայուն նյութերով, որոնք ունեն հարթ մակերես և հեշտ մաքրվում են։ Ներքին խոռոչի ներքևում կա թափոնների արտանետման մի անցք, որն օգտագործում է գրավիտացիոն ուժը՝ թույլ տալու համար թափոնների հեղուկը թափվել գործարանի թափոնների արտանետման խողովակաշար: Խոռոչի ներսում կա ներծծող անցք, որը կարող է ժամանակին մթնոլորտը դուրս հանել խոռոչից: Հագեցված է 3 ավտոմատ ճոճվող ձեռքերով, այն կարող է հասնել ավտոմատ մաքրման:
Կազմաձևման պարամետրերի աղյուսակ.
Ոչ. |
Նախագիծ |
Տեխնիկական |
Խոսք |
1 |
Սարքավորումների ակնարկ |
Սարքի անվանումը՝ Photomask Cleaner |
|
Սարքավորման մոդել՝ MDLB-MC200 |
|
||
Ընդհանուր չափերը (մոտավորապես)՝ 1300 մմ (Վտ) * 1000 մմ (Դ) * 1950 մմ (Հ) |
|
||
Ամբողջ մեքենայի քաշը (մոտավորապես) 300 կգ |
|
||
Օպերացիոն սեղանի բարձրությունը՝ 900 ± 50 մմ |
|
||
Ենթաշերտի չափսերի բնութագրերը. հարմար է 2/4/5/6/8 դյույմ քառակուսի դիմակ թիթեղների համար |
|
||
Գործընթացի հոսք. վաֆլի ձեռքով տեղադրում → մաքրում (խոզանակ, մաքրող լուծույթ → բարձր ճնշման ջուր → մեգասոնիկ ջուր → դեիոնացված ջուր → ազոտային գազով չորացում) → վաֆլի ձեռքով հեռացում |
|
||
Սարքավորման տեսակը՝ կիսաավտոմատ, ձեռքով բեռնում և բեռնաթափում |
|
||
2 |
Սարքավորումների կառուցում |
Կեղև՝ չժանգոտվող պողպատ, հարթ, կոռոզիոն դիմացկուն, հեշտ մաքրվող |
|
Մաքրման խցիկ՝ PP, հարթ, կոռոզիոն դիմացկուն, հեշտ մաքրվող |
|
||
Խողովակաշար. օգտագործվում է PU/PFA համապատասխանող խողովակաշար |
|
||
Աշխատանքային լուսավորություն՝ հակակոռոզիոն դեղին լույսի լուսավորություն |
|
||
Դռների բացման ոճը. Կրկնակի դուռ դռան բացման ազդանշանային գործառույթով |
|
||
Սենսորային էկրան՝ 10 դյույմանոց ամբողջական գունավոր սենսորային էկրան * 1 |
|
||
FFU՝ 100 դաս |
|
||
Արտահոսքի ներքևի աջակցություն. առկա է |
|
||
3 |
Բարձր ճշգրտության սերվո շարժիչ |
Քանակ: 1 |
|
Արագություն՝ -3000~3000rpm |
Դատարկ բեռ |
||
Ափի պտտման առավելագույն արագացում՝ 3000 rpm/S |
Դատարկ բեռ |
||
Արագության ճշգրտություն՝ ± 1 rpm (50rpm~3000rpm) |
|
||
Արագության լուծաչափը: 1 rpm |
|
||
4 |
Ավտոմատ ճոճվող թեւ |
Քանակ: 3 |
|
Ճոճվող թեւի արագությունը՝ 1~30 °/վ |
|
||
5 |
Մաքրում միավորը |
Մաքրող ճոճվող թեւ. 1 ալիք դեոնացված ջուր, 1 ալիք ազոտ գազ Մեգասոնիկ թև՝ 1 մեգասոնիկ, 1 բարձր ճնշման ջուր Խոզանակի թեւ՝ 1 խոզանակ, 1 ջուր, 1 մաքրող լուծույթ |
|
Մաքրման եղանակը՝ ավտոմատ մաքրում |
|
||
Deionized ջրի ներծծման գործառույթը. հասանելի է |
|
||
Հետլվացում (դեիոնացված ջուր)՝ 1 երթուղի |
|
||
Մատակարարման եղանակը. Մաքրող լուծույթ. Դիաֆրագմային պոմպ Դիոնացված ջուր. մատակարարվում է անմիջապես գործարանից |
|
||
Ճնշման բաք հեղուկի մակարդակի հայտնաբերմամբ |
|
||
6 |
Խոզանակ խոզանակ |
Քանակը՝ 1 (ինքնամաքրվող գործառույթով) |
|
Արագություն՝ մինչև 1000 rpm, կարգավորելի արագություն |
|
||
Բարձրությունը ձեռքով կարգավորելի |
|
||
7 |
Բեռնեք սկուտեղը |
Քանակ: 5 |
|
Նյութը՝ PPS + չժանգոտվող պողպատ |
|
||
Չափսը՝ Հարմար է 2/4/5/6/8 դյույմ քառակուսի դիմակ ափսեների համար |
|
||
Ենթաշերտի ամրացման եղանակը՝ ճանկերի ամրացման մեթոդ |
|
||
8 |
Control համակարգը |
Կառավարման համակարգ՝ օգտագործելով PLC հսկողություն |
|
Ծրագիր՝ 100 խումբ, յուրաքանչյուր խումբ բաղկացած է 100 քայլից, մեկ քայլի առավելագույն ժամանակը 3000.0 վայրկյան է Բանաձև՝ 0.1S |
|
||
Ծրագիրը կարող է պահպանվել, կանչվել, փոփոխվել և ջնջվել |
|
||
Սահմանեք գաղտնագրման թույլտվությունները՝ համապատասխանաբար սարքի օպերատորների, տեխնիկների, ադմինիստրատորների և արտադրողների համար |
|
||
Ազդանշանի աշտարակի տեսակը՝ կարմիր, դեղին, կանաչ 3 գույն |
|
Հեղինակային իրավունք © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են