Ավտոմատացված կիսահաղորդների ឧլտրաձգող համակարգը Կասետային տիպի Գումարի պլազմա PR հեռացում մաքնին Ֆոտորեզիստի մնացորդների հեռացում , China Ավտոմատացված կիսահաղորդների ឧլտրաձգող համակարգը Կասետային տիպի Գումարի պլազմա PR հեռացում մաքնին Ֆոտորեզիստի մնացորդների հեռացում Manufacturers, Suppliers, Factory

Ապարատի Նկարագրություն

Կասետային տեսակի լատինային պլազմա Photoresist Remover

DESCUM
Վեյֆերի լցում
Լցվածության հետ կապված մաքրման աշխատանք
Մակերևույթի մնացորդների հեռացում
Հեռացնել photoresist մնացորդները շփման եւ զարգացման հետո

Semiconductor industry Cassette type Batch plasma PR remover off line machine Photoresist Residual Removal details

գործընթաց

Semiconductor industry Cassette type Batch plasma PR remover off line machine Photoresist Residual Removal supplier

Semiconductor industry Cassette type Batch plasma PR remover off line machine Photoresist Residual Removal manufacture

Semiconductor industry Cassette type Batch plasma PR remover off line machine Photoresist Residual Removal factory

Առավելություն:

Հիմնական առավելություն

Մեծ դեգումինգի արագություն. Բարձր խտությամբ պլազմա, արագ դեգումինգի արագություն
Ակտիվացում. Պլազմայի հետ աշխատելուց հետո, բարձր վարկածելիություն
Հեռավոր պլազմա. Հեռավոր պլազմա, փոքր իոնային վարունք վայրիկին
Ենթադրված սոֆտվեյր. Սոֆտվեյրի անկախ հետազոտություն և կազմակերպում, ինտուիտիվ գործընթացի անիմացիա, մանրամասներով տվյալներ և գրանցումներ
Հավասարաչափություն. Պլազման կարող է կառավարել ճնշումը և ջերմությունը տարածաշրջանային վալվով
Անվտանգության գործոն. Փոքր պլազմա նվազում է արտադրանքի վարունքին
Տեխնիկական հաջորդագրություն. Գրի՞ն պատասխան և բավարար գործակարգ
Կոնտրոլ ավանդներին. Կարող են բավարարել գործնականի պահանջներին
Կորի տեխնոլոգիա. Դեռ մոտ 40%-ով հետազոտություն և կազմակերպում կազմում են թիմի անդամները

Կասետային պլատֆորմ (MD-ST 6100/620)

1. 4 Վաֆերի տրանսպորտավոր համակարգ
2. Высокая совместимость: гибкость выбора размера вафли обеспечивает высокую эффективность затрат и решений
3. Высокая стабильность вакуумной передаточной камеры:
Зрелый и стабильный дизайн вакуумной передачи успешно применяется на рынке в течение многих лет и получил признание клиентов.
Дизайн турнирного стола, компактное пространство, значительно снижает риск ПАРТИКАЛ
4. Հումանացված ծրագրային գործառույթային ինտերֆեյս՝
Ինտուիտիվ հումանացված ծրագրային գործառույթային ինտերֆեյս՝ իրադարձությունների իրար կապումը մեքենայի աշխատանքի ստատուսին։
Ամբողջական ալարմացիաներ և անինչության ֆունկցիաներ՝ հանգումների հանգումներից խուսափում են։
Կարողացող տվյալների արտահանումի ֆունկցիա՝ տվյալների տարրական պարամետրերի գրանցումը և արտահանումը արտադրանքի արտադրության գրանցումներից։

Ռոբոտ

1. Երկու վաֆերի միաժամանակյան ընտրության և տեղադրման դիզայնը բերում է բարձր արդյունավետության։
2. Տարածության արդյունավետության բարձրացում:

Ջերմային պլատ

1. Հատուկ ճշգրիտ ջերմաստիճանի կառավարում արտադրանքի համար
Արտադրանքի ջերմացումը սեփական ջերմաստիճանից մինչև 250°C, ջերմաստիճանի ճշգրտությունը ±1°C
Արտադրանքի ջերմացումի սահմանափակումը մասնագիտական գործիքներով՝ հավասարակշռության միջակայքում ±3°C-ին մինչև, գլյուխի հանումը հավասարակշռապես
2. Միացական սենյակ՝ երկու արտադրանքների մշակում
Միացական սենյակ՝ երկու արտադրանքների դիզայն
Անկախ էլեկտրական դիսչարջ յուրահատուկ արտադրանքի համար՝ համոզված է յուրահատուկ շրջանակի PR հանումը
Համոզված UPH արդյունավետության դեպքում՝ արտադրանքի արժեքի նվազում: Բարձր համատեղելիություն
3. Արտադրողական հնարավորություն՝ երկու արտադրանքների դիզայնով ռեակցիայի սենյակ, բարձր արտադրողական արդյունավետություն

Տехնիկ 특성

PLASMA աղբյուր	RF	Միկրոալիքային ջեռոց
Էներգիա	1000W	1250W
Օգտագործելու շրջակայք	4~8 դյույմ	4~8 դյույմ
Միայն մշակում սահմանափակություն	4-6 դյույմ = 50 հատ/8 դյույմ = 25 հատ	4-6 դյույմ = 50 հատ/8 դյույմ = 25 հատ
Արտահայտության չափեր	1000x850x1700մմ	1000x850x1700մմ
սիստեմային կառավարում	PC	PC
Ավտոմատացման մակարդակ	Հանձնարարություն	Հանձնարարություն

Հարդուայի հնարավորություն
Աշխատանքի ժամանակը / Դիսպոնելի ժամանակը	≧95%
Համարյալ ժամանակը դարձնելու համար (MTTC)	≦6 ժամ
Համարյալ ժամանակը վերանորոգման համար (MTTR)	≦4 ժամ
Համարյալ ժամանակը սխալների միջև (MTBF)	≧350 ժամ
Համարյալ ժամանակը օգնողի միջև (MTBA)	≧24 ժամ
Միջին գույնը կարևոր է դատարկել (MWBB)	≦1 10,000 գույներում
Տաք սահքի կառավարում	50-250°

Փորձարկման հաշվետվություն

Fabrik View

Պակետավորում և առաքելություն

Կոմպանիայի պրոֆիլ

Մենք ունենք 16 տարի փորձ սարքավորման համարակալության վաճառում: Մենք կարող ենք առաջարկել ձեզ կինգրական լուծում Սեմիկոնդուկտորների առաջին և վերջնական փաթեթային սարքավորման համակարգերի համար!