Ավտոմատացված կիսահաղորդների համակարգը ICP լաբորատորիայի տիպի PR հեռացման մաքնին Ֆոտորեզիստի մնացորդների հեռացում , China Ավտոմատացված կիսահաղորդների համակարգը ICP լաբորատորիայի տիպի PR հեռացման մաքնին Ֆոտորեզիստի մնացորդների հեռացում Manufacturers, Suppliers, Factory

Ապարատի Նկարագրություն

ICP լաբորատորիական տիպ PR հեռացում Photoresist Remover մեքենա

ASHING
Պոլիմերի հեռացում
DESCUM
Հատուկ շերտի 干货 հեռացում
Photoresistance հեռացում դRY իոնային իմպլանտացիաներից հետո
Optical resistance հեռացում մեջ մեդիա
BAW/SAW գործընթացում ֆոտոռեզիստի հեռացում
Կարևոր շերտի խանգարող հեռացում Y
Ետերական սիլիցու կամ սիլիցու նի트րիդի հանգույց
Մակերևույթի մնացորդների հեռացում
Էտչինգից հետո մակերևույթի կLEANing
Սիլիցու կարբիդի հանգույց

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Գործընթաց

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal details

Առավելություն:

Հիմնական առավելություն

Մեծ դեգումինգի արագություն. Բարձր խտությամբ պլազմա, արագ դեգումինգի արագություն
Ակտիվացում. Պլազմայի հետ աշխատելուց հետո, բարձր վարկածելիություն
Հեռավոր պլազմա. Հեռավոր պլազմա, փոքր իոնային վարունք վայրիկին
Ենթադրված սոֆտվեյր. Սոֆտվեյրի անկախ հետազոտություն և կազմակերպում, ինտուիտիվ գործընթացի անիմացիա, մանրամասներով տվյալներ և գրանցումներ
Հավասարաչափություն. Պլազման կարող է կառավարել ճնշումը և ջերմությունը տարածաշրջանային վալվով
Անվտանգության գործոն. Փոքր պլազմա նվազում է արտադրանքի վարունքին
Տեխնիկական հաջորդագրություն. Գրի՞ն պատասխան և բավարար գործակարգ
Կոնտրոլ ավանդներին. Կարող են բավարարել գործնականի պահանջներին
Կորի տեխնոլոգիա. Դեռ մոտ 40%-ով հետազոտություն և կազմակերպում կազմում են թիմի անդամները

Կասետային պլատֆորմ (MD-ST 6100/620)

1. 4 Վաֆերի տրանսպորտավոր համակարգ
2. Высокая совместимость: гибкость выбора размера вафли обеспечивает высокую эффективность затрат и решений
3. Высокая стабильность вакуумной передаточной камеры:
Зрелый и стабильный дизайн вакуумной передачи успешно применяется на рынке в течение многих лет и получил признание клиентов.
Дизайн турнирного стола, компактное пространство, значительно снижает риск ПАРТИКАЛ
4. Հումանացված ծրագրային գործառույթային ինտերֆեյս՝
Ինտուիտիվ հումանացված ծրագրային գործառույթային ինտերֆեյս՝ իրադարձությունների իրար կապումը մեքենայի աշխատանքի ստատուսին։
Ամբողջական ալարմացիաներ և անինչության ֆունկցիաներ՝ հանգումների հանգումներից խուսափում են։
Կարողացող տվյալների արտահանումի ֆունկցիա՝ տվյալների տարրական պարամետրերի գրանցումը և արտահանումը արտադրանքի արտադրության գրանցումներից։

Ռոբոտ

1. Երկու վաֆերի միաժամանակյան ընտրության և տեղադրման դիզայնը բերում է բարձր արդյունավետության։
2. Տարածության արդյունավետության բարձրացում:

Ջերմային պլատ

1. Հատուկ ճշգրիտ ջերմաստիճանի կառավարում արտադրանքի համար
Արտադրանքի ջերմացումը սեփական ջերմաստիճանից մինչև 250°C, ջերմաստիճանի ճշգրտությունը ±1°C
Արտադրանքի ջերմացումի սահմանափակումը մասնագիտական գործիքներով՝ հավասարակշռության միջակայքում ±3°C-ին մինչև, գլյուխի հանումը հավասարակշռապես
2. Միացական սենյակ՝ երկու արտադրանքների մշակում
Միացական սենյակ՝ երկու արտադրանքների դիզայն
Անկախ էլեկտրական դիսչարջ յուրահատուկ արտադրանքի համար՝ համոզված է յուրահատուկ շրջանակի PR հանումը
Համոզված UPH արդյունավետության դեպքում՝ արտադրանքի արժեքի նվազում: Բարձր համատեղելիություն
3. Արտադրողական հնարավորություն՝ երկու արտադրանքների դիզայնով ռեակցիայի սենյակ, բարձր արտադրողական արդյունավետություն

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Տехնիկ 특성

PLASMA աղբյուր			ՐՖ+ԲԻԱՍ
Էներգիա	1000W	1000W
Էներգիա		600 վտ	600 վտ
Օգտագործելու շրջակայք			4-8 դյույմ
Միայն մշակում սահմանափակություն			մեկ
Արտահայտության չափեր			1140մմ x 1050մմ x 1620մմ
Սիստեմային կառավարում			Համալիրական կառավարման համակարգ
Ավտոմատացման մակարդակ			Հանձնարարություն

Հարդուայի հնարավորություն
Աշխատանքի ժամանակը / Դիսպոնելի ժամանակը	≧95%
Համարյալ ժամանակը դարձնելու համար (MTTC)	≦6 ժամ
Համարյալ ժամանակը վերանորոգման համար (MTTR)	≦4 ժամ
Համարյալ ժամանակը սխալների միջև (MTBF)	≧350 ժամ
Համարյալ ժամանակը օգնողի միջև (MTBA)	≧24 ժամ
Միջին գույնը կարևոր է դատարկել (MWBB)	≦1 10,000 գույներում
Տաք սահքի կառավարում	50-250°

Փորձարկման հաշվետվություն

Fabrik View

Պակետավորում և առաքելություն

Կոմպանիայի պրոֆիլ

Մենք ունենք 16 տարի փորձ սարքավորման համարակալության վաճառում: Մենք կարող ենք առաջարկել ձեզ կինգրական լուծում Սեմիկոնդուկտորների առաջին և վերջնական փաթեթային սարքավորման համակարգերի համար!