Կիսահաղորդչային արդյունաբերության ICP լաբորատոր տիպի PR հեռացման մեքենա Photoresist Residual Removal , Չինաստան Կիսահաղորդչային արդյունաբերության ICP լաբորատոր տիպի PR հեռացման մեքենա Photoresist Residual Removal Արտադրողներ, մատակարարներ, գործարան

Նկարագրություն

ICP լաբորատոր տիպի PR հեռացում Photoresist Remover մեքենա

ՄՈԽԽԻՐՈՒՄ
Պոլիմերների հեռացում
DESCUM
Կոշտ դիմակի շերտի չոր հեռացում
Ֆոտոդիմակայության հեռացում կանանց իոնների իմպլանտացիայից հետո
Մեդիաների միջև օպտիկական դիմադրության հեռացում
Ֆոտոդիմակայության հեռացում BAW/SAW գործընթացում
Հակառեֆլեկտիվ գրաֆիկական թաղանթի չոր մաքրում Y
Սիլիցիումի օքսիդ կամ սիլիցիումի նիտրիդ փորագրում
Մակերեւույթի մնացորդների հեռացում
Մակերեւույթի մաքրում փորագրումից հետո
Սիլիցիումի կարբիդի փորագրում

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության ICP լաբորատոր տիպի PR հեռացման մեքենա Photoresist Residual Removal մատակարար

Գործընթացը

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության ICP լաբորատոր տիպի PR հեռացման մեքենա Photoresist Residual Removal գործարան

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության ICP լաբորատոր տիպի PR հեռացման մեքենա Photoresist Residual Removal մանրամասները

Առավելություն:

Հիմնական առավելությունը

Բարձր խտության պլազմա, արագ մաքրման արագություն
Կայունություն. պլազմայի բուժումից հետո, բարձր վերարտադրելիություն
Հեռավոր պլազմա. Հեռավոր պլազմա, վաֆլի ցածր իոնային վնաս
Առաջարկվող ծրագրակազմ. ծրագրային ապահովման անկախ հետազոտություն և մշակում, գործընթացների ինտուիտիվ անիմացիա, մանրամասն տվյալներ և գրառումներ
Միատեսակություն: Պլազման կարող է վերահսկել ճնշումը և ջերմաստիճանը թիթեռի փականի միջոցով
Անվտանգության գործոն. Ցածր պլազմային նվազեցնում է արտադրանքի արտահոսքի վնասը:
Վաճառքից հետո սպասարկում. արագ արձագանք և բավարար գույքագրում
Փոշու վերահսկում. Բավարարեք հաճախորդի պահանջները:
Հիմնական տեխնոլոգիա. Հետազոտության և զարգացման թիմի անդամների գրեթե 40%-ով

Կասետի հարթակ (MD-ST 6100/620)

1. 4 վաֆլի կրիչներ
2. Բարձր համատեղելիություն. վաֆլի չափի ընտրության ճկունությունը բերում է բարձր գնի և լուծման արդյունավետության
3. Բարձր կայունության վակուումային փոխանցման պալատ.
Հասուն և կայուն վակուումային փոխանցման դիզայնը երկար տարիներ կիրառվել է շուկայում և լավ ճանաչված է հաճախորդների կողմից:
Պտտվող սեղանի ձևավորում, կոմպակտ տարածություն, զգալիորեն նվազեցնում է ՄԱՍՆԱԿԻՑ վտանգը
4. Մարդկային ծրագրային գործառնական ինտերֆեյս.
Ինտուիտիվ հումանիզացված ծրագրային ապահովման գործառնական ինտերֆեյս, իրական ժամանակում աշխատող մեքենայի կարգավիճակի մոնիտորինգ;
Համապարփակ ազդանշանային և անխոհեմ գործառույթներ՝ սխալ շահագործումից խուսափելու համար:
Տվյալների արտահանման հզոր գործառույթ, գործընթացի տարբեր պարամետրերի գրառումներ և արտադրանքի արտադրության գրառումների արտահանում:

Մարդու վարքը

1. Մեկանգամյա կրկնակի վաֆլի ընտրության և տեղադրման ձևավորումը բերում է բարձր արտադրողականության
2. Բարելավել տարածության արդյունավետությունը:

Heեռուցման ափսե

1. Բարձր ճշգրտության ջերմաստիճանի վերահսկման վաֆլի ափսե
Վաֆլի տաքացնող ափսե սենյակային ջերմաստիճանից մինչև 250°C, ջերմաստիճանի վերահսկման ճշգրտություն ±1°C
Վաֆլի տաքացման ափսեը տրամաչափվել է պրոֆեսիոնալ գործիքների միջոցով և միատեսակությունը: ±3°C-ի սահմաններում ապահովել սոսինձի հեռացման միատեսակությունը
2. Մեկ խցիկ երկվաֆլի մշակում
Մեկ պալատի երկակի վաֆլի դիզայն;
Անկախ էներգիայի լիցքաթափման ձևավորում յուրաքանչյուր վաֆլի համար՝ ապահովելով, որ յուրաքանչյուր վաֆլի: Կլոր PR հեռացման էֆեկտ;
UPH-ի արդյունավետությունն ապահովելու նախադրյալների ներքո նվազեցնել արտադրանքի արժեքը: Ուժեղ համատեղելիություն
3. Արտադրական հզորություն՝ կրկնակի կտոր դիզայնի ռեակցիայի պալատ, բարձր արտադրական արդյունավետություն:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության ICP լաբորատոր տիպի PR հեռացման մեքենա Photoresist Residual Removal արտադրություն

մասնագիր

ՊԼԱԶՄԱ աղբյուր			ՌԴ + BIAS
Ուժ	1000W	1000W
Ուժ		600W	600W
Կիրառելի շրջանակ			4-8 դյույմ
Մեկ մշակման կտորների հաշվարկ			մեկ
Արտաքին տեսքի չափերը			1140mm x 1050mm x 1620mm
Համակարգի կառավարում			Արդյունաբերական հսկողության համակարգ
Ավտոմատացման մակարդակ			ձեռնարկ

Սարքավորման հնարավորություն
Uptime/Հասանելի ժամանակ	≧ 95%
Մաքրելու միջին ժամանակը (MTTC)	≦6 ժամ
Վերանորոգման միջին ժամանակը (MTTR)	≦4 ժամ
Միջին ժամանակը ձախողումների միջև (MTBF)	≧350 ժամ
Միջին ժամանակը օգնականի միջև (MTBA)	≧24 ժամ
Միջին վաֆլի կոտրված (MWBB) միջև	≦ 1-ը 10,000 վաֆլիից
Ջեռուցման ափսեի հսկողություն	50-250 °

Test հաշվետվություն

Factory Դիտել

Փաթեթավորում և առաքում

Կազմակերպության ինֆորմացիա անձնագիրը

Մենք ունենք սարքավորումների վաճառքի 16 տարվա փորձ։ Մենք կարող ենք ձեզ տրամադրել կիսահաղորդչային առջևի և հետևի փաթեթային սարքավորումների լուծում Չինաստանից: