Ավտոմատացված կիրակի համակարգը՝ RIE PLASMA PR քաղաքալի հեռացման մաքնինային սարքերի հեռացման համար , China Ավտոմատացված կիրակի համակարգը՝ RIE PLASMA PR քաղաքալի հեռացման մաքնինային սարքերի հեռացման համար Manufacturers, Suppliers, Factory

Ապարատի Նկարագրություն

RIE PLASMA Photoresist Remover

Սիլիցու կարբիդի հանգույց
Էտչինգից հետո մակերևույթի կLEANing
DESCUM
Հարդ մասքային շերտը, չափազանց հեռացում
Ետերական սիլիցու կամ սիլիցու նի트րիդի հանգույց
Optical resistance հեռացում մեջ մեդիա
Մակերևույթի մնացորդների հեռացում

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal details

գործընթաց

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Առավելություն:

Հիմնական առավելություն

Մեծ դեգումինգի արագություն. Բարձր խտությամբ պլազմա, արագ դեգումինգի արագություն
Ակտիվացում. Պլազմայի հետ աշխատելուց հետո, բարձր վարկածելիություն
Հեռավոր պլազմա. Հեռավոր պլազմա, փոքր իոնային վարունք վայրիկին
Ենթադրված սոֆտվեյր. Սոֆտվեյրի անկախ հետազոտություն և կազմակերպում, ինտուիտիվ գործընթացի անիմացիա, մանրամասներով տվյալներ և գրանցումներ
Հավասարաչափություն. Պլազման կարող է կառավարել ճնշումը և ջերմությունը տարածաշրջանային վալվով
Անվտանգության գործոն. Փոքր պլազմա նվազում է արտադրանքի վարունքին
Տեխնիկական հաջորդագրություն. Գրի՞ն պատասխան և բավարար գործակարգ
Կոնտրոլ ավանդներին. Կարող են բավարարել գործնականի պահանջներին
Կորի տեխնոլոգիա. Դեռ մոտ 40%-ով հետազոտություն և կազմակերպում կազմում են թիմի անդամները

Կասետային պլատֆորմ (MD-ST 6100/620)

1. 4 Վաֆերի տրանսպորտավոր համակարգ
2. Высокая совместимость: гибкость выбора размера вафли обеспечивает высокую эффективность затрат и решений
3. Высокая стабильность вакуумной передаточной камеры:
Зрелый и стабильный дизайн вакуумной передачи успешно применяется на рынке в течение многих лет и получил признание клиентов.
Дизайн турнирного стола, компактное пространство, значительно снижает риск ПАРТИКАЛ
4. Հումանացված ծրագրային գործառույթային ինտերֆեյս՝
Ինտուիտիվ հումանացված ծրագրային գործառույթային ինտերֆեյս՝ իրադարձությունների իրար կապումը մեքենայի աշխատանքի ստատուսին։
Ամբողջական ալարմացիաներ և անինչության ֆունկցիաներ՝ հանգումների հանգումներից խուսափում են։
Կարողացող տվյալների արտահանումի ֆունկցիա՝ տվյալների տարրական պարամետրերի գրանցումը և արտահանումը արտադրանքի արտադրության գրանցումներից։

Ռոբոտ

1. Երկու վաֆերի միաժամանակյան ընտրության և տեղադրման դիզայնը բերում է բարձր արդյունավետության։
2. Տարածության արդյունավետության բարձրացում:

Ջերմային պլատ

1. Հատուկ ճշգրիտ ջերմաստիճանի կառավարում արտադրանքի համար
Արտադրանքի ջերմացումը սեփական ջերմաստիճանից մինչև 250°C, ջերմաստիճանի ճշգրտությունը ±1°C
Արտադրանքի ջերմացումի սահմանափակումը մասնագիտական գործիքներով՝ հավասարակշռության միջակայքում ±3°C-ին մինչև, գլյուխի հանումը հավասարակշռապես
2. Միացական սենյակ՝ երկու արտադրանքների մշակում
Միացական սենյակ՝ երկու արտադրանքների դիզայն
Անկախ էլեկտրական դիսչարջ յուրահատուկ արտադրանքի համար՝ համոզված է յուրահատուկ շրջանակի PR հանումը
Համոզված UPH արդյունավետության դեպքում՝ արտադրանքի արժեքի նվազում: Բարձր համատեղելիություն
3. Արտադրողական հնարավորություն՝ երկու արտադրանքների դիզայնով ռեակցիայի սենյակ, բարձր արտադրողական արդյունավետություն

Տехնիկ 특성

PLASMA աղբյուր			RF
Էներգիա	ICP	_
Էներգիա		BIAS	1000W(option)
Օգտագործելու շրջակայք			4~8 դյույմ
Միայն մշակում սահմանափակություն			1
Արտահայտության չափեր			850մմx900մմx1850մմ
սիստեմային կառավարում			PLC
Ավտոմատացման մակարդակ			Հանձնարարություն

Հարդուայի հնարավորություն
Աշխատանքի ժամանակը / Դիսպոնելի ժամանակը	≧95%
Համարյալ ժամանակը դարձնելու համար (MTTC)	≦6 ժամ
Համարյալ ժամանակը վերանորոգման համար (MTTR)	≦4 ժամ
Համարյալ ժամանակը սխալների միջև (MTBF)	≧350 ժամ
Համարյալ ժամանակը օգնողի միջև (MTBA)	≧24 ժամ
Միջին գույնը կարևոր է դատարկել (MWBB)	≦1 10,000 գույներում
Տաք սահքի կառավարում	50-250°

Փորձարկման հաշվետվություն

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Fabrik View

Պակետավորում և առաքելություն

Կոմպանիայի պրոֆիլ

Մենք ունենք 16 տարի փորձ սարքավորման համարակալության վաճառում: Մենք կարող ենք առաջարկել ձեզ կինգրական լուծում Սեմիկոնդուկտորների առաջին և վերջնական փաթեթային սարքավորման համակարգերի համար!