Միակ դեպի, երկու դեպի և չորս դեպի Կատարյալ գործընթացի հնարավորություն, կարող է աջակցել կիրառումներ, ինչպիսիք են Wafer Start և գործընթացի կLEANing Լավ համաձայնություն սարքերի միջև տեխնոլոգիայի միջոցներում
Դիմումի դաշտեր
4-8 դюյմային սիլիցիում և բազմակոմպոնենտ հիմնավորված վայրերի մակերևույթի մասնիկների հեռացում
Техничесկեան պարամետրերը
4 դյույմ, 6 դյույմ, 8 դյույմ շուրջական դեպի Սպինների արագություն մինչև 4000RPM Երկական հատուկ շուրջական սենյակ, կարող է օգտագործվել Brush, AS, JET, Megasonics կLEANing մեթոդներում Կարող է աջակցել հեղուկ կLEANing ֆունկցիան
LoadPort միավորը, բեռնում միավոր
LoadPort-ը այս սարքի բեռնման միավորն է
Կարող է կատարել Wafer Mapping Արտաքին կարգավորված է Wafer slide անալիզ
Փոխանցման ռոբոտի միավոր
Երկու սահքեր ունեցող ռոբոտ, ընտրապես հնարավոր է հոսողականով կամ տարի տիպի սահքերով.
Կոորդինացիայի և գլուխումների միավոր
Կարող է կոորդինացնել և գտնել հարթ կраտեր Վաֆերը կարող են գլուխվել, որպեսզի շուշափեն կրիստալի հետուկ մասը
1. Համարում է վաֆերի միաժամանակյալ մուտքի և ելքի, ինչպես նաև A մուտքի և B ելքի ռեժիմներ 2. Կարող է համագույնեցնել սանդղակի առջևի A սենյակի և B սենյակի հետումի սահմանումը 3. Կարող է համագույնեցնել երկու սենյակների զուգահեռ կLEANing-ը
Սագերդի միավորի նկարագրություն
Wie shown in the figure Վայֆերը անցկացվում է Spinner-ի գագաթում
Arm1&Arm2-ն կարող են օգտագործվել միասին տարբեր սանդղակի մեթոդներով նշված է առաջն պարունակվողը՝ կարան սահմանում։
Սանդղակից հետո, Spinner-ը պտտվում է բարձր արագությամբ՝ վայֆերը պտտելու և չափելու համար
Կոորդինացիայի և գլուխումների միավոր
Վայֆերը կարող է օգտագործվել ներկայացնելու և մակարդակի նպատակներով
Վայֆերը կարող է փոխվել
Ապարատի չափսերը՝ 160x150x220 (մմ) Բեռնում և արտաքին մեթոդներ՝ նույնը ներսում և նույնը դուրս&A ներսում և B դուրս Քանակը սարքող միավորներից: 2 Սարքման ռեժիմներ: Սարք, AS, JET, Megasonics լցումների մեթոդներ, պաշտպանության լցումների համար օգտագործելի
Պակետավորում և առաքելություն
Կոմպանիայի պրոֆիլ
Հաճախ տրամադրվող հարցեր
1. Գինի Մասին: Երբեմն մեր գիները համապատասխան են և կարող են քննարկվել: Գինը փոխվում է սարքի և ձեր սարքի պարամետրերի կամ անհրաժեշտ կայունության կախվածության.
2. Սամպլի Մասին: Կարող ենք ձեզ առաջարկել սամպլ սարքի սերվիս, բայց կարող է պահանջվել մի քանի վճարում։
3. Վճարման մասին: Պլանը հաստատելուց հետո, ձեզ պետք է առաջնային վճարում կատարել, և ապա գործ UsersController՝ սկսեն պատրաստել ապարատները։ Ապարատը պատրաստվելուց հետո, երբ դուք վճարում եք մնացորդը, մենք այն ուղարկում ենք։ ապարատը պատրաստվելուց հետո, երբ դուք վճարում եք մնացորդը, մենք այն ուղարկում ենք։
4. Դուրսագրման մասին: Ապարատականի ստեղծման վերջում, մենք կուղարկենք դուրսբերման տեսանյութը, դուք նաև կարող եք գալ դեպի կայան և ստուգել ապարատականը։
5. Ինստալյացիա և տեսականում: Երեք օրում սարքելու հաջողությունը ձեզ տալիս է հավանաբար դադարելու հնարավորություն, մենք կարող ենք ուղարկել ինժեներն սարքելու և դեբագ արելու համար։ Այս սպասարկման ծախսի համար մենք ձեզ կտանք առացկացված գնահատական։
6. Գարանտիայի մասին: Մեր սարքերը ունեն 12 ամիսանոց warranty period։ Warranty-ից հետո, եթե որևէ մասերն արդյոք վարդագրվեն և պետք է փոխվեն, մենք կավարտենք միայն արժեքի գնահատականը։
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
