Վակուումային միկրոալիքային պլազմայի մաքրման մեքենա Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO փաթեթ , Չինաստան Վակուումային միկրոալիքային պլազմայի մաքրման մեքենա Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging լուծում IC TO փաթեթ Արտադրողներ, մատակարարներ, գործարան

Ապրանքի նկարագրությունը

Կիսահաղորդչային փաթեթավորման լուծույթ Միկրոալիքային պլազմային մաքրող միջոց

SPV-100MWR-ը ցածր լարման միկրոալիքային պլազմայի մաքրման համակարգ է կիսահաղորդիչների համար: Վակուումային խոռոչի պատի պատուհանին 2.45 ԳՀց հաճախականությամբ միկրոալիքային վառարան դնելով, առաջանում է մեծ քանակությամբ շարունակական պլազմա, և չիպը մաքրվում է՝ մտնելով խոռոչ։

Վակուումային միկրոալիքային պլազմայի մաքրման մեքենա Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging Solution IC TO փաթեթի մատակարար

Տեխնիկական պարամետրերը

Վակուումային պլազմային հյուրընկալող
Սարքավորման չափը	1230X1800X1100 մմ (լայնություն x բարձրություն x խորություն)
քաշ	450kg
Power պահանջարկը	AC380V, 50/60Hz, 5-wire, 30A
Պլազմային գեներատորի բնութագրերը
Միկրոալիքային էներգիայի մատակարարում	Ուժ	0 ~ 1250W
		Հաճախություն	2.45GHz
Վակուումային համակարգ
Տեսակ	Ալյումինե խառնուրդ (հարմարեցվող չժանգոտվող պողպատից խցիկ)
Հաստություն	25mm
Խոռոչի ներքին չափերը	480mmX470mmX480mm
Աշխատանքային տարածքներ	6 ամսագրի բաժին
ECR	Slotted Magazine-ն ապահովում է ECR ընդլայնված մշակման էֆեկտ
Պլազմային կարողություն
Մշակման ունակություն	35um Pitch 40 մկմ բախում 15X15 մմ Առավելագույն Die չափը