Pengetsaan ion reaktif terdengar seperti istilah yang menakutkan, namun sebenarnya ini adalah metode yang digunakan orang untuk membuat potongan-potongan kecil teknologi menjadi seukuran brunch. Potongan-potongan kecil ini adalah bahan utama dalam berbagai perangkat yang digunakan sehari-hari seperti ponsel pintar, komputer, dll. Fungsi utama proses ini adalah menghilangkan bagian-bagian suatu bahan sehingga Anda dapat membuat potongan-potongan kecil dan akurat. Pada artikel ini, kita akan membahas apa itu etsa ion reaktif — sisi positif dan negatif dari bekerja dengan RIE dibandingkan dengan metode lain untuk pengolahan kimia plasma; peran kimia plasma dalam proses ini; bagaimana Anda dapat mencapai hasil berkualitas tinggi dengan menggunakan peralatan RIE dengan benar, dan akhirnya menempatkannya sebagai alat teknologireadcrh xvv.
Etsa ion reaktif adalah metode kompleks yang melibatkan ion-ion kecil dan gas untuk mengikis potongan material. Anggap saja sebagai semprotan berkekuatan tinggi yang secara selektif meledakkan material untuk membentuk bentuk yang tepat. Ini melibatkan peledakan ion-ion ini ke permukaan suatu material. Saat ion-ion tersebut mengenai material, mereka bereaksi dengannya dan pecah menjadi potongan-potongan kecil yang dapat terkikis. Bahan tersebut dimasukkan ke dalam semacam kotak yang tertutup rapat dan bebas udara yang disebut ruang vakum. Partikel kecil ini dihasilkan dengan energi frekuensi radio, yang kemudian menghasilkan ion.
Pengetsaan ion reaktif adalah salah satu yang terbaik dalam hal detail. Artinya, ia dapat menghasilkan fitur bersudut dan melengkung dengan presisi tinggi, namun hal ini dilakukan dengan menggunakan gas dibandingkan menggunakan cairan. Itu berarti bagian-bagian yang dibuat dengan metode ini benar-benar sesuai dengan tujuan teknologi [1]. Selain itu, ini adalah salah satu proses tercepat; lebih banyak jumlah suku cadang yang dapat diproduksi dalam waktu singkat. Karena proses ini sangat cepat, proses ini bisa sangat efisien bagi perusahaan dengan permintaan suku cadang tertentu yang besar.
Namun etsa ion reaktif juga mempunyai masalah. Ini tidak cocok untuk semua jenis bahan karena beberapa jenis bahan yang berbeda tidak dapat melakukan pemotongan laser ini. Dan hal ini memerlukan suhu dan tekanan yang sesuai untuk berada di lokasi. Kondisi yang benar juga harus ada jika tidak, proses baru mungkin tidak akan berjalan dengan baik. Satu-satunya kelemahan adalah biaya pembuatannya yang mahal dibandingkan dengan praktik etsa lainnya, yang mungkin menghalangi beberapa bisnis untuk memanfaatkan pelapisan bubuk.
Tempat penting ditempati oleh kimia plasma dalam proses etsa ion reaktif. Ion-ion yang dihasilkan oleh plasma ini menyebabkan ikatan kimia pada material terputus, sehingga menyebabkan pemotongan. Setelah ikatannya putus, material tersebut hancur menjadi potongan-potongan kecil yang kemudian terbang bersama aliran gas. Apa yang dihasilkan selama reaksi kimia dapat dipengaruhi oleh jenis gas yang digunakan. Misalnya, gas nitrogen dapat menghasilkan pengetsaan rapi yang memungkinkan penghilangan material tanpa meninggalkan sisa yang tidak diinginkan, sedangkan gas oksigen menyediakan jenis pengetsaan berbeda yang mungkin sesuai tergantung pada kebutuhan.
Kontrol proses yang kuat sangat penting untuk mencapai hasil yang baik dengan etsa ion reaktif. Hal ini memerlukan pengukuran banyak parameter termasuk suhu, tekanan, aliran gas, dan energi ion. Lingkungan yang stabil berkontribusi terhadap hasil garis etsa yang konsisten dan dapat diprediksi. Jika salah satu variabel ini tidak dikontrol secara efisien, hal ini dapat mempengaruhi produk akhir. Selain itu, pembersihan bahan dan persiapan yang tepat diperlukan sebelum Anda mulai mengetsa. Jika seluruh waktu telah dihabiskan di awal untuk mempersiapkan bahan yang akan digores, hal ini akan memberikan hasil yang lebih baik.
Contohnya adalah etsa ion reaktif yang biasa digunakan dalam industri pabrik mikro untuk membuat komponen yang sangat kecil untuk berbagai gadget teknologi. Salah satu kegunaan graphene adalah dalam pembuatan sirkuit elektronik kecil, sensor, dan perangkat mikrofluida yang penting bagi teknologi modern. Ia juga digunakan dalam pembuatan sistem mikro-elektromekanis (MEMS) yang merupakan perangkat kecil yang benar-benar dapat melihat, mendengar, merasakan, dan memindahkan benda satu molekul pada satu waktu. MEMS ini digunakan dalam banyak aplikasi: mulai dari perangkat kecil seperti ponsel pintar hingga peralatan yang lebih besar dan bahkan peralatan medis. Di antara proses-proses ini, etsa ion reaktif memainkan peran penting karena dapat membuat fitur-fitur kecil dan presisi diperlukan untuk teknologi canggih tersebut.
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi Undang-Undang