Minder-Hightech adalah produsen semikonduktor. Semikonduktor merupakan komponen penting dalam banyak hal yang membentuk kehidupan modern, seperti ponsel dan komputer. Kini, ada beberapa langkah dalam pembuatan semikonduktor, tetapi langkah pertama adalah membuat pola pada permukaan datar yang dikenal sebagai wafer.
Untuk membuat pola ini, kami melapisi bahan khusus pada wafer. Zat ini dikenal sebagai photoresist. Setelah kami melapisi photoresist, kami memaparkannya ke cahaya. Di bawah cahaya, area photoresist mengeras dan menjadi kuat. Area yang berada dalam bayangan tetap lembut dan dapat dibersihkan.
Setelah memperoleh pola yang diinginkan pada wafer, photoresist harus dilepaskan dari area tempat kita akan melakukan pemrosesan lebih lanjut. Di sinilah Pembersih Plasma ikut berperan, secara harfiah.
Metode berbasis plasma untuk menghilangkan photoresist
Plasma adalah gas dengan tingkat energi tinggi, karena muatan listrik tinggi yang diberikan padanya. Gas aktif ini sangat berguna untuk melucuti photoresist pada permukaan wafer. Melalui plasma, photoresist dapat menjadi rapuh dan membersihkannya menjadi jauh lebih mudah.
Kami memiliki dua teknik berbeda yang menggunakan plasma untuk menghilangkan photoresist: etsa kering dan pengabuan.
Pengetsaan kering: Dalam teknik ini, plasma sebenarnya berinteraksi dengan photoresist. Plasma bereaksi dengan photoresist saat bersentuhan. Reaksi ini menguraikan photoresist dan mengubahnya menjadi gas. Zat gas ini selanjutnya dapat dibersihkan dari permukaan wafer, sehingga area yang kita butuhkan untuk dibersihkan dan tersedia untuk proses selanjutnya terbuka.
Pengabuan — Ini adalah cara lain untuk melakukannya, dalam metode ini plasma non-reaktif digunakan untuk photoresist. Plasma menghancurkan photoresist menjadi potongan-potongan kecil. Kemudian potongan-potongan kecil ini dapat dibersihkan dari wafer. Pendekatan ini cocok dan melindungi wafer sambil membuang photoresist yang tidak diperlukan.
Menggunakan plasma reaktif untuk pengupasan photoresist
Perawatan Permukaan Plasma adalah alat yang sangat ampuh yang membantu kita melucuti photoresist terkuat dari wafer. Plasma sangat luar biasa, tetapi bagian terbaiknya adalah kita dapat mengubahnya menjadi agen super selektif. Itu berarti plasma dapat disetel untuk hanya bereaksi secara spesifik dengan photoresist, bukan dengan material lain di bawahnya.
Misalnya: Jika kita memiliki pola pada wafer tempat logam ditempatkan di bawah photoresist, kita dapat menggunakan jenis plasma yang bereaksi hanya dengan photoresist. Dengan demikian, kita dapat mengetsa photoresist tanpa merusak logam di bawahnya. Nah, ini sangat penting karena kita memerlukan semua bagian wafer untuk menjaga integritasnya selama proses berlangsung.
Teknik Plasma untuk Pelepasan Photoresist
Minder-Hightech menggunakan teknologi plasma mutakhir dalam memisahkan photoresist dari wafer kami. Hal ini memungkinkan kami untuk membuat semikonduktor bebas kesalahan, yang berkualitas tinggi.
Cepat, dapat disesuaikan dengan kebutuhan Anda Sistem kami dirancang untuk terintegrasi dengan lancar ke dalam alur kerja Anda. Ini menunjukkan bahwa kami dapat melepaskan photoresist dalam waktu singkat. Dan karena kami cepat, kami memenuhi semua permintaan pelanggan kami, memberikan produk hebat saat mereka membutuhkannya.
Namun, sistem plasma kami juga sangat akurat, selain efisiensinya. Ketepatan ini memberi kami kemampuan untuk menghilangkan photoresist itu sendiri. Teknologi kami mencegah semua bagian wafer lainnya rusak akibat proses kami, dan kami tidak mampu melakukan itu. Praktik metodis ini menjadi semakin penting untuk kualitas semikonduktor yang kami produksi di luar sana.
Penghapusan Fotoresist yang Diinduksi Plasma pada Semikonduktor
Jadi, singkatnya, plasma adalah kekuatan super yang memungkinkan kita untuk melepaskan beberapa photoresist dari permukaan wafer dengan cara yang sangat efektif. Kami, di Minder-Hightech, menerapkan teknologi plasma terbaru dan terbaik untuk menghasilkan semikonduktor berkualitas tanpa cacat. Dalam hal sistem plasma, solusi kami diproduksi untuk menyeimbangkan kecepatan dengan akurasi, sekaligus tetap sangat efisien. Artinya, kami mampu memenuhi permintaan pelanggan kami serta memberikan produk berkualitas tanpa gagal. Hal itu diharapkan dapat meningkatkan proses semikonduktor saat kami menggunakan penghapusan plasma teknologi yang membuat semikonduktor kami sebaik mungkin untuk semua jenis perangkat elektronik agar menjadi gadget yang andal.