MDLB-MC200 Pembersih Photomask

Tidak.

Proyek

Spesifikasi

Catatan

1

Ikhtisar Peralatan

Nama Perangkat: Pembersih Photomask

Model peralatan: MDLB-MC200

Dimensi keseluruhan (sekitar): 1300mm (L) * 1000mm (D) * 1950mm (T)

Berat mesin keseluruhan (sekitar): 300KG

Tinggi meja operasi: 900 ± 50mm

Spesifikasi ukuran substrat: cocok untuk masker persegi berukuran 2/4/5/6/8 inci

Alur proses: penempatan wafer manual → pembersihan (sikat, larutan pembersih → air bertekanan tinggi → air megasonik → air deionisasi → pengeringan gas nitrogen) → pengambilan wafer manual

Tipe peralatan: semi-otomatis, muat dan unggah manual

2

Konstruksi peralatan

Casing: stainless steel, halus, tahan korosi, mudah dibersihkan

Kamar pembersihan: PP, halus, tahan korosi, mudah dibersihkan

Pipa: pipa PU/PFA digunakan

Pencahayaan kerja: pencahayaan lampu kuning anti-korosi

Gaya pembukaan pintu: Pintu ganda dengan fungsi alarm pembukaan pintu

Layar sentuh: layar sentuh warna penuh 10 inci * 1

FFU: Kelas 100

Penyangga dasar tahan kebocoran: tersedia

3

Motor servo presisi tinggi

Kuantitas: 1

Kecepatan: -3000~3000rpm

Beban kosong

Percepatan maksimal putaran poros: 3000rpm/S

Beban kosong

Ketelitian kecepatan: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Resolusi kecepatan: 1rpm

4

Lengan ayun otomatis

Jumlah: 3

Kecepatan lengan ayun: 1~30 °/S

5

Unit pembersihan

Lengan pembersih: 1 saluran air deionisasi, 1 saluran gas nitrogen

Lengan Megasonik: 1 Megasonik, 1 Air Tekanan Tinggi

Lengan sikat: 1 sikat, 1 air, 1 larutan pembersih

Metode pembersihan: pembersihan otomatis

Fungsi hisap air deionisasi: tersedia

Bilas balik (air deionisasi): 1 jalur

Metode pasokan: Larutan pembersih: Pompa membran

Air deionisasi: disuplai langsung oleh pabrik

Tangki tekanan dengan deteksi tingkat cairan

6

Sikat bulu

Kuantitas: 1 (dengan fungsi pembersihan mandiri)

Kecepatan: hingga 1000rpm, kecepatan dapat disesuaikan

Tinggi dapat disesuaikan secara manual

7

Nampan muatan

Kuantitas: 5

Bahan: PPS+baja tahan karat

Ukuran: Sesuai untuk pelat masker persegi berukuran 2/4/5/6/8 inci

Metode pemasangan substrat: Metode pemasangan cakar

8

Sistem Kontrol

Sistem kontrol: menggunakan kontrol PLC

Program: 100 grup, setiap grup terdiri dari 100 langkah, dengan waktu langkah tunggal maksimum 3000,0 detik

Resolusi: 0,1S

Program dapat disimpan, dipanggil, dimodifikasi, dan dihapus

Atur izin enkripsi: untuk operator perangkat, teknisi, administrator, dan produsen masing-masing

Tipe menara sinyal: merah, kuning, hijau 3 warna