Ukuran wafer
|
4”~ 8” wafer
|
Ketebalan wafer
|
100~750 mikron
|
Tipe wafer
|
Si, SiC, GaN, atau bahan lainnya
|
Jenis film
|
Film biru, film UV
Lebar: 230 ~ 300 mm Panjang: 100 m Tebal: 0.05 ~ 0.2 mm |
Lingkaran pengangkut wafer
|
6”, 8” DISCO
|
Metode pemuatan dan pembongkaran
|
Penempatan dan pengangkatan manual wafer/lingkaran pengangkut
|
Ketepatan posisi film
|
± 0,5 mm
Piring wafer standar 6" dan 8" untuk wafer 6" dan 8" |
Pompa Vakum
|
Minder-Hightech
|
Kontrol antistatik
|
Kipas deionisasi
|
Unit kontrol
|
Berdasarkan kontrol PLC, dengan layar sentuh 10"
|
Perlindungan Keamanan
|
Dilengkapi dengan perlindungan kurtain cahaya dan tombol darurat berhenti
|
tegangan catu daya
|
Fasa tunggal AC 220V, 16A
|
Udara Terkompresi
|
0.45~0.6MPa, debit aliran 70L/menit
|
Casing mesin
|
Casing logam berplastik putih
|
Volume
|
850mm (lebar)*1750mm (kedalaman)*1970mm (tinggi)
|
Berat bersih
|
480kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved