Pembersihan Pasca CMP Otomatis, Produsen, Pemasok, Pabrik Pembersihan Pasca CMP Otomatis Cina

Deskripsi Produk

Peralatan Pembersihan Setelah Poles Mekanik Kimia Wafer

Pos CMP Chean

Fitur mesin

Kemampuan proses yang kuat
Penyikatan ruang ganda, dengan berbagai macam penerapan proses
Peralatan menempati area kecil, dengan dimensi 2200 * 800 * 2200 (mm)

Fields aplikasi

6-8 inci CMP setelah disikat
Pembersihan setelah penggilingan SIC atau substrat lainnya

Teknis parameter

Pembersihan setelah CMP 4 inci dan 6 inci
Desain ruang ganda, operasi ruang independen Basah masuk dan kering atau kering masuk dan kering
SRD putaran kering kecepatan tinggi

Unit LoadPort, unit pemuatan

LoadPort adalah unit pemuatan perangkat ini

Pemberian Kaset Basah
Memiliki fungsi pelembab semprot

Unit sikat, Unit pembersih wafer

Unit ruang ganda, mampu mendukung dua solusi pembersihan yang berbeda
Posisi menyikat dapat disesuaikan sesuai dengan resep Belt Conveyor

Unit SRD, Unit Pengering Wafer

Pengeringan putar tipe penjepit wafer, dengan kecepatan maksimum 4000RPM
Dapat melakukan pembersihan AS pada permukaan wafer dan menyemprotkan DIW

Unit UNLOAD, unit pemotongan

Unit UnLoad memiliki FFU independen untuk memastikan kebersihan keluaran wafer

pembawa

Area basah adalah konveyor sabuk

Area kering untuk teleportasi Robot

Deskripsi unit sikat

Seperti yang terlihat pada gambar sebelah kiri, unit sikat pada alat ini terdiri dari dua unit sikat, yaitu BU1 dan BU2.

Tekanan sikat setiap unit dapat disesuaikan secara terpisah (seperti yang ditentukan dalam resep), dan setiap unit bilah sikat dapat dicuci dengan larutan pembersih kimia yang berbeda secara terpisah.

Sikat mesin mengadopsi sikat PVA, yang merupakan jenis yang umum digunakan di pasaran.
Transmisi antar rongga adalah konveyor sabuk. Ada DIW RINSE di dalam rongga

Satuan SRD

Unit SRD dilengkapi dengan CHUCK penjepit dan AS ARM, yang selanjutnya dapat membersihkan dan mengeringkan permukaan wafer secara fisik.

Spesifikasi

Ukuran peralatan:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Metode bongkar muat	keringkan/basahi/keringkan
Jumlah unit penyikatan	2
Jumlah unit SRD	1
Metode transportasi	Transportasi sabuk zona basah, transportasi robot zona kering
Ukuran peralatan dengan ruang sikat 1 adalah 1850 * 800 * 2200

Pengepakan & pengiriman

Profil Perusahaan

FAQ

1. Tentang Harga:
Semua harga yang kami tawarkan kompetitif dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.

2. Tentang Sampel:
Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin mengenakan sejumlah biaya.

3. Tentang Pembayaran：
Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar deposit terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai menyiapkan barang. Setelah
Peralatan sudah siap dan Anda membayar sisanya, kami akan mengirimkannya.

4. Tentang Pengiriman:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan Anda video penerimaan, dan Anda juga dapat datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan.

5. Instalasi dan Debugging:
Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirimkan teknisi untuk memasang dan men-debug peralatan tersebut. Kami akan memberikan Anda penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.

6. Tentang Garansi:

Peralatan kami memiliki masa garansi 12 bulan. Setelah masa garansi, jika ada komponen yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan mengenakan biaya penggantian.