Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Dapatkan Penawaran

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Halaman Utama
Tentang Kami
MH Equipment
Solusi
Pengguna Luar Negeri
Video
Hubungi Kami
Beranda> Wafer Grinder
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer
  • Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer

Pemoles Kimia Mekanis Otomatis Tunggal Platen untuk Wafer

Dapatkan Penawaran Gratis
Deskripsi Produk
ATOM Single Platen CMP

Fitur mesin

Perangkat ini fleksibel dan dapat mendukung beberapa kepala.
Kemampuan proses peralatan ini mendekati level model mainstream produk sejenis ukuran.
Konsistensi proses antar-perangkat yang baik.

Bidang Aplikasi

pemolesan STI, ILD/IMD, TSV, TGV 4-8 inci, dan pemolesan permukaan dari senyawa seperti SiC, LT, LN, GaAs, dll

Parameter Teknis

kepala 4 inci, 6 inci, 8 inci, kontrol multi zona
Tipe Platen Φ20 inci 508MM
Ketelitian kontrol tekanan kepala <0.05PSI
Ketelitian kontrol kecepatan rotasi Kepala dan Platen <2RPM

1. Unit LoadPort

Pelabuhan dapat dibalik untuk merendam Cassette di Qtank, menghindari pembentukan kristal Slurry pada
permukaan yang telah dipoles dari Wafer. Dilengkapi dengan fungsi Cassette Mapping.

2. Unit pengambilan material Robot

Dilengkapi dengan robot 4-akses, dapat mentransfer wafer secara otomatis dari Cassette ke unit pemolesan.

3. Unit Polisher

Unit ini dilengkapi dengan Platen * 1, Kepala * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, dan titik akhir EPD
deteksi. Ini dapat mencapai otomatis wafer loading dan unloading, multi zona kontrol kepala, Slurry
perubahan titik pendaratan dengan pengaturan Resep, deteksi titik akhir dan fungsi lainnya.
Kepala Polisher CMP
Kepala Polisher yang dikonfigurasi pada perangkat ini semuanya dikembangkan secara independen, dirancang, dan diproduksi oleh perusahaan kami.
Di antara mereka, 4-inci 3-ruang Kepala adalah produk unik yang dibuat oleh perusahaan kami, mengisi kesenjangan tidak multi-ruang 4-inci Kepala di Cina. Perusahaan kami dapat dengan cepat memodifikasi atau menyesuaikan Kepala sesuai dengan karakteristik produk pelanggan. Dalam pengembangan produk TGV film tipis (200um), struktur internal kepala dimodifikasi untuk memenuhi persyaratan polishing film tipis. Selama proses pengembangan teknologi polishing permukaan LN OX, perusahaan kami secara mendalam meningkatkan Kepala 6 inci dan berhasil memenuhi persyaratan produk pelanggan.
Aplikasi
Proses penggerindaan pemipihkan IC tradisional;
Proses TGV/TSV;
Smart Cut dan Pre bonding CMP;
Penggerindaan substrat SIC/penggerindaan arsenida galium.
Spesifikasi
Pelabuhan
Kuantitas * 1, dengan tangki Q
Robot
Kuantitas * 1, untuk transfer wafer
HCLU
Kuantitas * 1, untuk pemuatan dan unloading otomatis wafer
Kepala penggerindaan
Kuantitas * 13 kontrol rongga, akurasi kontrol 0.1PSI, dapat mendukung operasi wafer 400-1200 UM.
Kecepatan kepala poles
5-150RPM
Cakram Poles
Jumlah * 1 Ukuran Disc Poles 508mm, Kecepatan Pad Poles 10-150rpm.
Lengan pemotong
Jumlah * 1 pad poles. Pad poles dapat digunakan untuk poles online (serentak) atau offline (setelah poles). Pemotongan
lengan dilengkapi dengan poros pemotong, yang dapat berputar dan bergerak naik turun, serta kecepatan dan tekanan dapat dikontrol. Alat
pemotong terpasang pada poros pemotong dan dapat dilepas dengan cepat
dengan mudah. Menurut jenis pad poles yang berbeda, alat penyamak yang berbeda juga dikonfigurasikan, termasuk sikat penyamak, cincin berlian, dan piringan berlian.
sikat penyamak, cincin berlian, dan piringan berlian.
Unit kontrol tekanan udara kepala poles UPA
Kuantitas * 13 zona penyesuaian untuk efek perataan permukaan yang lebih baik
Pompa penyedia cairan poles
Kuantitas * 2. Pompa peristaltik digunakan untuk penyediaan cairan, dengan 2 pompa peristaltik dikonfigurasi untuk memberikan jenis polesan yang berbeda
cairan ke cakram poles. Setiap pompa dapat digunakan pada langkah apa pun dari proses.
Lengan Slurry
Kuantitas * 1 dapat mengontrol titik pendaratan slurry dan dapat membersihkan pad poles.
Sistem kontrol operasi dapat mencapai kontrol tingkat pengguna, seperti mode operator, mode pemeliharaan, dan mode teknis, serta var
ious mode dikendalikan oleh kata sandi. Perangkat lunak sistem dapat mengedit parameter proses setiap langkah proses dan meratakan serta
mempoles lapisan tipis di permukaan chip sesuai dengan program. Sistem ini dapat memantau status operasi peralatan, memantau
parameter proses secara real-time, dan perangkat lunak dapat secara otomatis menyimpan berbagai data proses. Dilengkapi dengan tombol berhenti darurat
tombol, digunakan untuk menghentikan operasi peralatan secara langsung dan memutus daya kontrol.
Packing & Pengiriman
Profil Perusahaan
FAQ
1. Tentang Harga:
Semua harga kami bersaing dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.

2. Tentang Sampel:
Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin perlu membayar beberapa biaya.

3. Tentang Pembayaran：
Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar uang muka kepada kami terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai menyiapkan barang. Setelah
peralatan siap dan Anda membayar sisa pembayaran, kami akan mengirimkannya.

4. Tentang Pengiriman:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan video penerimaan kepada Anda, dan Anda juga bisa datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyesuaian:
Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirim insinyur untuk memasang dan menyesuaikan peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.

6. Tentang Garansi:
Peralatan kami memiliki periode jaminan selama 12 bulan. Setelah periode jaminan berakhir, jika ada suku cadang yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan memungut harga pokok.

Lebih Banyak Produk

Inquiry

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Kebijakan Privasi

Inquiry Email Whatsapp WeChat
Top
×

Hubungi Kami