1. Mengadopsi laser UV 355nm, yang merupakan produk dengan hak kekayaan intelektual independen dan memegang paten penemuan Amerika, memiliki kinerja yang stabil, mode titik yang baik, dan dapat bekerja secara stabil untuk waktu yang lama.
2. Konfigurasi CCD atas dan bawah, cocok untuk posisi wafer transparan dan semi transparan.
3. Sinar laser terfokus pada titik halus, dengan maksimum 4 μm dan kedalaman ≥ 25 μ
4. XY yang andal dan presisi tinggi - θ 5. Sistem operasi perangkat lunak yang efisien dan fleksibel, antarmuka intuitif, dan mudah
operasi.