1. Menggunakan laser UV 355nm, yang merupakan produk dengan hak kekayaan intelektual independen dan memiliki paten penemuan Amerika, memiliki kinerja stabil, pola titik yang baik, dan dapat bekerja secara stabil dalam waktu lama.
2. Konfigurasi CCD atas dan bawah, cocok untuk pemosisian wafer transparan dan setengah transparan.
3. Sinaran laser difokuskan pada titik yang halus, dengan maksimum 4 μm dan kedalaman ≥ 25 μ
4. Handal dan presisi tinggi X-Y - θ 5. Sistem operasi perangkat lunak yang efisien dan fleksibel, antarmuka intuitif, dan mudah
operasi.