Wafer yang dapat digiling |
Ukuran |
Inci |
4,5,6,8 |
Cetakan wafer |
Nomor |
- |
2 |
Cara menggosok |
- |
Metode penggilingan penyelaman vertikal |
|
Poros roda penggilingan |
Jenis |
- |
Landasan udara |
Kuantitas |
- |
2 |
|
Kecepatan |
menit |
0~5000 |
|
Daya Output |
KW |
5.5/7.5 |
|
Langkah |
mm |
150 |
|
Kecepatan umpan |
um/s |
0.01~100 |
|
Kecepatan maju cepat |
mm/menit |
300 |
|
Resolusi |
um |
0.1 |
|
Sumbu benda kerja |
TIPE |
- |
Ball bearings |
Kuantitas |
- |
3 |
|
Tipe cangkir hisap |
- |
Keramik mikroporus |
|
Metode hisap wafer |
- |
Penyerapan vakum |
|
Kecepatan |
menit |
0~300 |
|
Pemindahan wafer |
- |
Lengan Robot |
|
- |
Cakram berputar |
||
Fungsi lainnya |
Pemusatan wafer |
- |
Penjajaran pin mobile |
Pembersihan wafer |
- |
Pembersihan air dan udara, pengeringan putar |
|
Pembersihan cangkir hisap |
- |
Pembersihan oilstone |
|
RODA PENGGILING |
mm |
φ200 |
|
ONLINE pengukuran |
Rentang Pengukuran |
um |
0~1800 |
Resolusi |
um |
0.1 |
|
Akurasi pengulangan |
um |
±0,5 |
|
Mesin akurasi |
Ketepatan intra-wafer (TTV) |
um |
≤2 |
Ketepatan inter-wafer (WTW) |
um |
±3 |
|
Kasar permukaan (Ry) |
um |
0.13(2000#selesai) |
|
Penampilan |
Pewarnaan penampilan |
um |
Polanya Jingga |
Dimensi(W×D×H) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Berat |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved