Model |
MDTS-WT2200 |
Jumlah sumbu penipisan |
2 |
Jumlah meja kerja |
3, Metode indeks |
Poros roda gerinda |
Jumlah spindel udara: 2 Motor spindel: motor frekuensi variabel 7.5 kW Kecepatan: 0~6000rpm, dapat disesuaikan secara bertahap Spesifikasi roda gerinda: Φ203mm Jenis roda gerinda: roda gerinda berlian |
Sistem pengumpanan roda gerinda |
Kuantitas: 2 set Metode kontrol sistem umpan: rel pemandu LM dan sekrup bola kombinasi Motor penggerak: motor servo Kecepatan umpan minimum: 0.1um/detik Kecepatan umpan maksimum: 50mm/detik |
Workbench |
Jumlah: 3, Mode indeks Motor spindel: Motor servo Kecepatan: 0~300rpm, dapat disesuaikan secara bertahap Metode penyerapan: Penyerapan vakum |
Meja putar meja kerja |
Mode penggerak: motor servo Rentang rotasi: 0~240° Bentuk pemosisian: pemosisian berbantuan sensor |
Ketebalan otomatis sistem pengukuran |
Metode pengukuran: pengukuran online kontak IPG secara real-time Jumlah kepala pengukur: 2 Sensor pengukur: sensor level 0.1um |
Pemuatan otomatis/ sistem pembongkaran |
Tipe kotak: Kaset 6-8 inci, 25 lapisan Metode pemuatan/pembongkaran otomatis: manipulator wafer digunakan untuk memastikan wafer tipis diangkut tanpa kerusakan Ketebalan wafer: 150um-1000um |
Fungsi pembersihan meja kerja |
Metode pembersihan: Pemolesan batu minyak & pembilasan dua cairan air + udara |
Pembersihan otomatis/ sistem pengeringan |
Pembersihan: Pembersihan nosel DIW Metode pengeringan: Peniupan + pengeringan Kecepatan: maks 1000rpm dapat disesuaikan secara bertahap |
Sistem eliminasi statis |
Kipas orion batang ion |
Pendingin spindel |
Suhu: 18-22 ° C Laju aliran: 4~8L/menit |
Sistem pengaturan |
Sistem kontrol: sistem kontrol PC, layar sentuh, lampu alarm 3 warna Antarmuka manusia-mesin bahasa Mandarin/Inggris |
Ukuran wafer maksimum |
Kompatibel maksimal dengan 8 inci |
Kisaran kecepatan |
0 ~ 6000 RPM |
Perjalanan sumbu Z. |
160mm |
Kecepatan umpan sumbu Z |
0.1~100um/detik |
Kecepatan penarikan cepat sumbu Z |
50mm / dtk |
Resolusi sumbu Z |
0.1um |
Rentang pengukuran ketebalan online |
0 ~ 1800um |
Resolusi pengukuran ketebalan online |
0.1um |
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi Undang-Undang