Model |
MDTS-WT2200 |
Jumlah poros pemipihan |
2 |
Jumlah meja kerja |
3, Metode indeks |
Poros roda penggilingan |
Jumlah poros udara: 2 Motor poros: motor frekuensi variabel 7.5kW Kecepatan: 0~6000rpm, dapat diatur tanpa tingkat Spesifikasi batu gerinda: Φ203mm Tipe batu gerinda: batu gerinda berlian |
Sistem pemberian batu gerinda |
Kuantitas: 2 set Metode kontrol sistem pemberian: rel panduan LM dan baut ball kombinasi Motor penggerak: motor servo Kecepatan pemberian minimum: 0.1um/sec Kecepatan pemberian maksimum: 50mm/sec |
Meja Kerja |
Jumlah: 3, mode indeks Motor poros utama: Motor servo Kecepatan: 0~300rpm, dapat diatur tanpa tingkat Metode adsorpsi: Adsorpsi vakum |
Meja kerja putar |
Mode penggerak: motor servo Rentang rotasi: 0~240° Bentuk pemosisian: pemosisian bantu sensor |
Ketebalan otomatis Sistem pengukuran |
Metode pengukuran: pengukuran online waktu-nyata dengan kontak IPG Jumlah kepala pengukur: 2 Sensor pengukur: sensor tingkat 0.1um |
Pemuatan otomatis/ sistem pembongkaran |
Tipe kotak: Cassette 6-8inch, 25 lapis Metode pemuatan/pembongkaran otomatis: manipulator wafer digunakan untuk memastikan wafer tipis diangkut tanpa kerusakan Ketebalan wafer: 150um-1000um |
Fungsi pembersihan meja kerja |
Metode pembersihan: Pemolesan Oilstone & pelacakan dua-fluida air DI+udara |
Pembersihan otomatis/ Sistem pengeringan |
Pembersihan: Pembersihan nozzle air DI Metode pengeringan: Meniup + mengeringkan Kecepatan: maksimal 1000rpm dapat disesuaikan tanpa langkah |
Sistem Penghapusan Statik |
Ion bar atau kipas orion |
Pendingin poros |
Suhu: 18-22°C Debit aliran: 4~8L/menit |
Sistem Kontrol |
Sistem kontrol: Sistem kontrol PC, layar sentuh dengan lampu alarm 3-warna Antarmuka manusia-mesin Tiongkok/Inggris |
Ukuran wafer maksimum |
Maksimum kompatibel dengan ukuran 8 inci |
Rentang kecepatan |
0~6000 RPM |
Perjalanan sumbu Z |
160mm |
Kecepatan umpan sumbu-Z |
0.1~100um/detik |
Kecepatan tarik cepat sumbu-Z |
50mm/detik |
Resolusi sumbu Z |
0.1um |
Rentang pengukuran ketebalan online |
0~1800um |
Resolusi pengukuran ketebalan online |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved