Sistem Litografi Tanpa Masker MCXJ-MLS8 , China Sistem Litografi Tanpa Masker MCXJ-MLS8 Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

Contoh:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Diagram struktur peralatan

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Spesifikasi

Diagram struktur host eksposur

struktur	menjelaskan
Mengungkapkan meja	Area eksposur: meja, area penempatan substrat
Sistem optik	Area pemodelan emisi laser
Sistem kontrol lingkungan	Kontrol suhu dan tekanan positif di dalam perangkat
Sistem platform	Mengontrol pergerakan meja paparan untuk menyelesaikan operasi jalur paparan
Sistem Kontrol	Sistem kontrol untuk seluruh peralatan

Catatan: Karena peningkatan mesin dapat mengubah penampilan sebenarnya, subjek spesifik mengikuti produk sebenarnya.

Tidak.	Lingkungan	Permintaan
1	Lingkungan sumber cahaya	Cahaya kuning
2	Suhu	22℃±2℃
3	Kelembaban	50%±10%
4	Kebersihan	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, udara kering dan bersih
6	Pasokan daya	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Kabel tanah harus dihubungkan ke tanah,
7	Air Pendingin	Suhu：10℃~ 20℃ Tekanan：0.3MPa ~ 0.5MPa Debit：20L/min Perbedaan tekanan：0.3MPa atau lebih Kaliber penerima：Rc3/8
8	Tempat	tingkat：±3mm/3000mm getaran：VC-B Poros：750kg/㎡
10	Internet	Satu port jaringan
11	Ukuran Mesin	130011002100mm
12	Berat perangkat	1500kg

Tidak.	Proyek	Spesifikasi.	Keterangan
1	Resolusi	0.6um/atau persyaratan lainnya	AZ703、AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Ketebalan substrat	0.2mm～4mm
4	Kesakitan grid tanggal	60nm
5	Overlay	±500nm	130mmx130mm
6	Kesakitan penyambungan	±200nm	AZ703
7	Ukuran paparan maksimal	190X190mm
8	Kapasitas Produksi	≥300mm2/min	≤50mj/cm2;
9	sumber cahaya	LD 375nm
10	kekuatan cahaya	6W
11	Keseragaman energi	≥ 95%
12	umur lampu	10000jam

Packing & Pengiriman

Profil Perusahaan

Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberikan solusi profesional satu atap untuk Garis Paket Front-end dan Back-end Semikonduktor dari Tiongkok.