Unit host plasma vakum(150) | ||||
Ukuran peralatan | L 1100×L 940×T 1755mm | |||
berat | 600Kg | |||
Permintaan pasokan listrik | AC380V, 50 / 60Hz, 5 baris, 25A (total tipe terbuka di atas C) | |||
Spesifikasi generator plasma | ||||
kekuasaan | frekuensi radio | frekuensi menengah | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
frekuensi pasokan | 13.56MHz | 40KHz | ||
Sistem vakum | ||||
pompa vakum | Pompa Leap Monopole VSV 65 + Pompa Bowse Lot BSJ 70 | |||
pipa vakum | Semua saluran baja tahan karat, serta bellow vakum berkekuatan tinggi | |||
kualitas bahan | alufer | |||
ketebalan | 25mm | |||
keketatan | Segel las kelas militer | |||
Dimensi internal rongga | 500*500*600mm (Lebar* tinggi * kedalaman) | |||
Ukuran efektif plat listrik | 372(L) X 451(T)mm | |||
Jarak ruang yang tersedia | 24mm | |||
Susunan lempeng listrik | Pelat elektroda horizontal | |||
nampan | Set standar, bahan opsional (aluminium, wire mesh baja) | |||
ruang kerja | lapisan 8 | |||
Proses gas | ||||
Rentang aliran | 0~300SCCM | |||
Proses gas rute gas | Standar dengan dua cara, dapat disesuaikan. Pipa gas proses terbuat dari ferrofllon | |||
Control System | ||||
SC | kontrol PC | |||
mode interaktif | Antarmuka Windows |
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi Undang-Undang