Host plasma vakum(200) |
||||
Ukuran Peralatan |
1050×1700×1050mm(lebar, tinggi dan kedalaman) |
|||
berat |
800kg |
|||
daya yang dibutuhkan |
AC380V,50/60Hz,5kabel, 30A |
|||
Spesifikasi Generator Plasma |
||||
daya listrik utama |
radio Frequency |
IF |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Frekuensi daya |
13.56MHZ |
40 KHz |
||
Sistem vakum |
||||
pompa Vakum |
Pompa unipolar Feiyue VSV100+Dua Pompa Roots BSJ70 |
|||
garis vakum |
Semua pipa baja tahan karat, dan selang vakum berkekuatan tinggi |
|||
bahan |
Paduan Aluminium |
|||
ketebalan |
25mm |
|||
ketatnya |
Segel las kelas militer |
|||
Dimensi Internal Rongga |
600×600×600mm(W×H×D) |
|||
Ukuran efektif piringan elektroda |
472 X 451mm (W×D) |
|||
ruang tersedia |
ukuran 35mm |
|||
Tata letak piringan elektroda |
Plat elektroda horizontal |
|||
bak kerja |
Satu set adalah standar, dan bahan opsional (aluminium, kawat baja) |
|||
Ruang kerja |
8 lantai |
|||
Gas proses |
||||
Rentang aliran |
0~300SCCM |
|||
Sirkuit gas proses |
Dilengkapi dengan gas tiga arah O2, Ar, N2 |
|||
Sistem Kontrol |
||||
kontrol sistem |
Kontrol PC |
|||
mode interaktif |
Antarmuka Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved