Unit host plasma vakum (60) | ||||
Ukuran peralatan | L 950×L 900×T 1650mm | |||
berat | 350Kg | |||
Permintaan pasokan listrik | AC380V, 50 / 60Hz, 5 baris, 16A (total tipe terbuka di atas C) | |||
Spesifikasi generator plasma | ||||
kekuasaan | frekuensi radio | frekuensi menengah | ||
0 ~ 600W | 0-1000W | |||
frekuensi pasokan | 13.56MHz | 40KHz | ||
Sistem vakum | ||||
pompa vakum | Pompa putar dua tahap (pompa minyak): 40m3/jam | |||
pipa vakum | Semua saluran baja tahan karat, serta bellow vakum berkekuatan tinggi | |||
kualitas bahan | Paduan aluminium (rongga baja tahan karat yang dapat disesuaikan) | |||
ketebalan | 25mm | |||
keketatan | Segel las kelas militer | |||
Dimensi internal rongga | 375*375*430mm(Lebar* tinggi * kedalaman) | |||
Ukuran efektif plat listrik | 247*281mm (lebar* kedalaman) | |||
Jarak ruang yang tersedia | 22mm | |||
Susunan lempeng listrik | Tata letak horizontal, dapat berupa ekstraksi aktif | |||
nampan | Set standar, bahan opsional (aluminium, wire mesh baja) | |||
ruang kerja | lapisan 6 | |||
gas proses | ||||
Rentang aliran | 0~300SCCM | |||
Proses gas rute gas | Standar dengan dua cara, dapat disesuaikan. Pipa gas proses terbuat dari ferrofllon | |||
navigasikan | ||||
SC | PLC | |||
mode interaktif | Layar sentuh 7 inci |
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi Undang-Undang