MDHS-AL8 Mesin Litografi Otomatis Tunggal 8" , China MDHS-AL8 Mesin Litografi Otomatis Tunggal 8" Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

MDHS-AL8 Mesin Litografi Otomatis Tunggal 8"

1. Mode kerja: Robot pemuatan secara otomatis memuat wafer dari kotak wafer A-B (dapat didaur ulang) ke meja pra-pemosisian

meja kerja, dan melalui penyesuaian posisi kamera wafer dan sistem rotasi otomatis, pre-pemosisian wafer tercapai; robot pemuatan kemudian memuat wafer yang telah diposisikan sebelumnya ke meja penyelarasan. Melalui pengenalan gambar komputer dan penyesuaian sistem penyelarasan otomatis, penyelarasan otomatis dari grafik pada masker dan wafer dapat dicapai. Juga dimungkinkan untuk menyelesaikan satu paparan tanpa menyelaraskan grafik. Setelah paparan otomatis oleh sistem overexposure, robot unloading secara otomatis menempatkan wafer ke dalam kotak wafer C-D (dapat didaur ulang).
2. Area paparan: 160 × 160mm;
3. Ketidakteraturan iluminasi paparan: ≤ 3%;
4. Intensitas paparan: 0~≥ 40mw/cm2 dapat disesuaikan (sudut sinar 2 °);
5. Sudut sinar UV: ≤ 3 °;
6. Panjang gelombang pusat cahaya ultraviolet: 365nm;
7. Umur sumber cahaya UV: ≥ 20000 jam;
8. Kapasitas pemisahan: 0~≥ 1000um dapat disesuaikan;
9. Ketepatan penyelarasan: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Ketepatan paparan: Paparan kontak ± 1 μ m. Pemisahan paparan dekat 20 μ M sudut sinar 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Metode paparan: kontak keras, kontak lembut, dan paparan dekat;
12. Mode paparan: Anda dapat memilih antara paparan satu kali atau paparan offset
13. Sistem pengenalan gambar dan rotasi pra-posisi (termasuk meja pra-posisi): sudut rotasi Q ≥ ± 180 °, ketepatan rotasi Q ≤ 0,01 °;
14. Sistem pengenalan gambar dan penjajaran otomatis (termasuk meja penjajaran UVW): jangkauan penjajaran X Y ≥ ± 5mm, sudut rotasi Q ≥ ± 3 °, dan dua lensa mikroskop dikontrol oleh dua platform listrik XYZ.
15. Ukuran masker: 5 "× 5" dan 7" × 7 ";
16. Ukuran wafer: 4 "dan 6";
17. Stasiun kerja kotak film atas dan bawah: dual stasiun;
18. Kaki bantalan udara
19. Lengan robotik ganda untuk muat turun: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Jumlah wafer di kotak wafer: ditentukan berdasarkan jumlah wafer di kotak wafer pelanggan;
21. Pengangkatan meja posisi: Z ≥ ± 25mm;
22. Waktu paparan: dapat disesuaikan dari 0 hingga 999,9 detik;
23. Ritme produksi: >120 potong per jam;
24. Sumber daya: AC satu fase 220V 50Hz, konsumsi daya ≤ 3KW;
25. Tekanan udara bersih: ≥ 0,4MPa;
26. Derajat vakum: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Ukuran: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Berat: Sekitar 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Mesin ini terdiri dari kepala paparan ultraviolet LED, sistem pengenalan gambar dan rotasi otomatis, meja kerja pra-posisi, serta sistem pengenalan gambar seperti foto dan penjajaran otomatis, meja kerja penjajaran, robot pemuatan, robot pembongkaran, rak, dan peralatan kontrol listrik yang terdiri dari aksesori cadangan, dll.

Spesifikasi

1. Kepala eksposur: Satu kepala eksposur ultraviolet LED (365nm);
2. Meja kerja pengenalan gambar dan pra penjajaran:
1) 1 kamera (1,3 juta piksel)
2) Fiksator pemosisian pusat
3) 1 set platform rotasi (menggunakan motor servo)
4) 1 set sistem pemosisian
3. Sistem pengenalan gambar dan penjajaran otomatis:
1) 2 kamera (5 juta piksel dengan frame rate tinggi)
2) 2 lensa (lensa definisi tinggi 4x)
3) Satu komputer industri
4) Satu kontroler (dikontrol oleh PLC)
5) Satu set platform penjajaran (menggunakan motor stepper 5-fase)
6) Sebuah sistem gerak
7) Perangkat papan atas menggunakan motor untuk mengangkat dan menurunkan
7) Perangkat lunak menggunakan versi terbaru LabVIEW Professional Edition
4. Lengan mekanis untuk memuat dan membongkar:
1) X Y. Sebuah mekanisme pergerakan otomatis Z
2) Lengan robot dual (lengan untuk memuat dan membongkar)
5. Mekanisme tetap kotak wafer:
1) AB adalah pemosisian tetap kotak film pemberi makan
2) CD adalah posisi tetap kotak film pemotongan
3) G adalah posisi tetap kotak film posisi NG
6. Platform kamera tetap:
7. Dua set mekanisme penyesuaian Y.Z listrik (dikendalikan oleh motor servo)
8. Rangka dan konsol kontrol listrik:
1) 1 komputer industri
2) Satu set PLC;
3) Satu set katup elektromagnetik dan sistem kontrol
4) Satu set alat pneumatik digital
5) Satu set konsol kontrol
8. Lampiran cadangan:
1) Trakea: 15 meter
2) 2 katup solenoid
3) Pompa vakum: 1 unit
9. Data teknis:
1) Satu buku panduan pengguna
2) Satu sertifikat kesesuaian
10. Tambahan
Perangkat lunak peralatan harus dilengkapi dengan protokol komunikasi SECS, dan pembeli menyediakan perpustakaan dinamis dengan fungsi untuk melakukan penyambungan dengan sistem MES pembeli, secara otomatis mencatat nomor batch produk, nomor pekerjaan, dan status operasi serta mengunggahnya. Pada saat yang sama, memiliki fungsi untuk mengenali kode QR pelat topeng, membandingkannya dengan kode QR pelat topeng dari sistem MES, dan mencegah pengambilan pelat topeng yang salah.

Packing & Pengiriman