Mesin litografi satu sisi otomatis penuh MDHS-AL8 8", Produsen, Pemasok, Pabrik Mesin litografi satu sisi otomatis penuh MDHS-AL8 8" China

Deskripsi Produk

MDHS-AL8 8" Mesin litografi satu sisi yang sepenuhnya otomatis

1. Mode kerja: Robot pemuatan secara otomatis memuat wafer dari kotak wafer AB (dapat didaur ulang) ke posisi awal

meja kerja, dan melalui penyesuaian wafer pemosisian kamera dan sistem rotasi otomatis, pemosisian awal wafer tercapai; Robot pemuatan kemudian memuat wafer yang telah ditempatkan sebelumnya ke meja kerja penyelarasan. Melalui pengenalan gambar komputer dan penyesuaian sistem penyelarasan otomatis, penyelarasan otomatis gambar pada masker dan wafer dapat dicapai. Dimungkinkan juga untuk menyelesaikan satu eksposur tanpa menyelaraskan grafik. Setelah pemaparan otomatis oleh sistem pemaparan berlebih, robot pembongkaran secara otomatis menempatkan wafer ke dalam kotak wafer CD (yang dapat didaur ulang).
2. Area paparan: 160 × 160mm;
3. Pencahayaan pencahayaan tidak merata: ≤ 3%;
4. Intensitas paparan: 0~≥ 40mw/cm2 dapat disesuaikan (sudut sinar 2 °);
5. Sudut sinar UV: ≤ 3 °;
6. Panjang gelombang tengah sinar ultraviolet: 365nm;
7. Umur sumber cahaya UV: ≥ 20000 jam;
8. Kapasitas pemisahan: 0~≥ 1000um dapat disesuaikan;
9. Akurasi penyelarasan: ≤ ± 1.5 μM;
10. Akurasi pemaparan: Paparan kontak ± 1 μm. Pemisahan paparan dekat 20 μM sudut pancaran 2° ≤ ± 2 μM
11. Metode pemaparan: kontak keras, kontak lunak, dan paparan jarak dekat;
12. Mode eksposur: Anda dapat memilih antara eksposur satu kali atau eksposur offset
13. Pengenalan gambar pra pemosisian dan sistem rotasi otomatis (termasuk meja kerja pra pemosisian): sudut rotasi Q ≥ ± 180 °, akurasi rotasi Q ≤ 0.01 °;
14. Pengenalan gambar dan sistem penyelarasan otomatis (termasuk meja kerja penyelarasan UVW): rentang penyelarasan XY ≥ ± 5mm, sudut rotasi Q ≥ ± 3 °, dan dua lensa mikroskop dikendalikan oleh dua platform listrik XYZ.
15. Ukuran masker: 5" × 5" dan 7" × 7";
16. Ukuran wafer: 4" dan 6";
17. Stasiun kerja kotak film atas dan bawah: stasiun kerja ganda;
18. Kantung udara bantalan kaki
19. Bongkar muat lengan robot lengan ganda: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Jumlah wafer dalam kotak wafer: ditentukan berdasarkan jumlah wafer dalam kotak wafer pelanggan;
21. Pengangkatan meja posisi: Z ≥ ± 25mm;
22. Waktu pencahayaan: dapat disesuaikan dari 0 hingga 999.9 detik;
23. Ritme produksi:>120 buah per jam;
24. Catu daya: AC220V fase tunggal 50Hz, konsumsi daya ≤ 3KW;
25. Tekanan udara bersih: ≥ 0.4MPa;
26. Derajat vakum: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Ukuran: 1400*1000*2100mm;
28. Berat: Sekitar 400kg

Pemasok mesin litografi satu sisi otomatis penuh MDHS-AL8 8

Mesin ini terdiri dari kepala paparan ultraviolet LED, pengenalan gambar dan sistem rotasi otomatis, meja kerja yang telah diposisikan sebelumnya, dan sistem pengenalan gambar dan penyelarasan otomatis, meja kerja penyelarasan, robot pemuatan, robot pembongkaran, rak, dan kontrol listrik Terdiri dari peralatan , aksesoris cadangan, dll.

Spesifikasi

1. Kepala paparan: Satu kepala paparan ultraviolet LED (365nm);
2. Pengenalan gambar dan meja kerja pra penyelarasan:
1) 1 kamera (1.3 juta piksel)
2) Perlengkapan pemosisian tengah
3) 1 set platform berputar (menggunakan motor servo)
4) 1 set sistem penentuan posisi
3. Pengenalan gambar dan sistem penyelarasan otomatis:
1) 2 kamera (kecepatan bingkai tinggi 5 juta piksel)
2) 2 lensa (4x lensa definisi tinggi)
3) Satu komputer industri
4) Satu pengontrol (dikendalikan oleh PLC)
5) Satu set platform penyelarasan (menggunakan motor stepper 5 fase)
6) Seperangkat sistem olahraga
7) Perangkat pelat atas mengadopsi motor untuk mengangkat dan menurunkan
7) Perangkat lunak ini mengadopsi versi terbaru LabVIEW Professional Edition
4. Bongkar muat lengan mekanik:
1) X Y. Satu set mekanisme pergerakan otomatis Z
2) Lengan robot lengan ganda (lengan bongkar muat)
5. Mekanisme pemasangan kotak wafer:
1) AB adalah posisi tetap dari kotak film pengumpanan
2) CD adalah posisi tetap dari kotak pemotongan film
3) G adalah posisi tetap kotak film posisi NG
6. Platform tetap kamera:
7. Dua set mekanisme penyesuaian listrik YZ (dikendalikan oleh motor servo)
8. Rak dan konsol kendali listrik:
1) 1 komputer industri
2) Satu set PLC;
3) Satu set katup solenoid dan sistem kontrol
4) Satu set instrumen pneumatik digital
5) Satu set konsol kontrol
8. Lampiran cadangan:
1) Trakea: 15 meter
2) 2 katup solenoid
3) Pompa vakum: 1 unit
9. Data teknis:
1) Satu panduan pengguna
2) Satu sertifikat kesesuaian
10. Tambahan
Perangkat lunak peralatan perlu dilengkapi dengan protokol komunikasi SECS, dan pembeli menyediakan perpustakaan dinamis dengan fungsi docking dengan sistem MES pembeli, secara otomatis mencatat nomor batch produk, nomor pekerjaan, dan status operasi serta mengunggahnya. Pada saat yang sama, ia memiliki fungsi untuk mengidentifikasi kode QR pelat masker, membandingkannya dengan kode QR pelat masker sistem MES, dan mencegah pengambilan pelat masker yang salah.

Pengepakan & pengiriman