MDICP-5000F Mesin Etching ICP Otomatis Lengkap Peralatan Plasma Terkait Induktif , China MDICP-5000F Mesin Etching ICP Otomatis Lengkap Peralatan Plasma Terkait Induktif Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

MDICP-5000F Mesin etching ICP otomatis penuh

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Ringkasan eksekutif

Peralatan ini adalah sistem vakum dua kamar. Satu kamar adalah kamar penyampelan injeksi dan yang lainnya adalah kamar etching. Kunci vakum terpasang di antara kamar penyampelan injeksi dan kamar etching, dan penyampelan injeksi diangkut oleh manipulator.
Perangkat ini terutama terdiri dari sistem vakum, sistem sirkuit gas, sistem listrik, sistem kontrol, sistem pendinginan, mekanisme pemberian dan pengambilan film, sistem alarm, dll.

Sistem vakum

Sistem ini terdiri dari pompa molekuler dengan kecepatan penyedotan 600 L/detik + pompa vakum kering impor dengan kecepatan penyedotan L/detik untuk memompa ruang etching ke vakum tinggi. Katup tekanan dinamis listrik dipasang di antara pompa molekuler dan ruang etching. Pompa kering impor adalah pompa pra-penyedotan untuk ruang etching dan pompa tahap awal untuk pompa molekuler. Gunakan pompa mekanis lain dengan kecepatan penyedotan L/detik untuk membuat vakum pada ruang sampel. Bellow stainless steel digunakan untuk koneksi antara pompa mekanis dan ruang vakum serta pompa molekuler, dan katup blok pneumatik elektromagnetik dipasang.

Sistem kontrol tekanan konstan

Perangkat dilengkapi dengan sistem kontrol tekanan konstan downstream, dan katup penyesuaian listrik dipasang di saluran penghisapan udara. Melalui pengukuran jembatan film (komponen impor), katup penyesuaian dikendalikan untuk membuat ruang vakum mencapai tekanan konstan, sehingga meningkatkan stabilitas proses.

Sistem kontrol tekanan konstan

Perangkat dilengkapi dengan sistem kontrol tekanan konstan downstream, dan katup penyesuaian listrik dipasang di saluran penghisapan udara. Melalui pengukuran jembatan film (komponen impor), katup penyesuaian dikendalikan untuk membuat ruang vakum mencapai tekanan konstan, sehingga meningkatkan stabilitas proses.

Sistem sirkuit gas

Dua set suplai daya RF dengan pencocokan otomatis.

sistem alarm

Persyaratan keamanan untuk peralatan.

Spesifikasi

Nama	RSP	Merek	Nomor.\/Set	Catatan
Kamar etching, saluran penghisapan udara, jendela pengamatan, antarmuka cadangan, dll	Standar	JSWN	1	Tahan korosi
Bingkai, kabinet listrik, segel, bagian standar, dll	Standar	JSWN	1
Sistem pengangkatan penutup kamar etching	Standar	JSWN	1	Tahan korosi
Elektroda pengikisan dan sistem pendingin	Standar	JSWN	1	Tahan korosi
Pompa molekuler (kecepatan pompa 600 L/detik)	FF620/150	KYKY	1	Tahan korosi
Pompa kering inlet (kecepatan pompa 9 L/detik)	XDS-35I	Edwards	1	Tahan korosi
Pompa mekanis (kecepatan pompa 9 L/detik)	TRP-36	BWVAC	1
Klep gerbang pengatur listrik	DCQ-150	JSWN	1	Tahan korosi
Kran pneumatik bertipe kantong udara	KF40	JSWN	3	Tahan korosi
Gauge film	KF16	INFICON	1	Tahan korosi
Kontrol aliran massa	D07	Sevenstar	4	Tahan korosi
Katup diafragma pneumatik	1/4" VCR	-	4	Tahan korosi
Pipa stainless steel, sambungan pipa, dll	1/4" VCR	-	4	Tahan korosi
Pasokan daya RF / pencocok otomatis	-	China(OptionalCROWN1310)	1
Pasokan daya RF / pencocok otomatis	-	China(OptionalCROWN1310)	1
Gauge vakum komposit	ZDF	RB	1
IPC	2U	China	1
Layar sentuh LCD	17 inci	China	1
sistem kontrol plc	S7-200	Siemens	1
Sistem kontrol penggerak listrik	Standar	JSWN	1
Pendeteksi dan sistem pipa air pendingin	Standar	JSWN	1
Pendeteksi dan sistem pipa udara terkompresi	Standar	JSWN	1
Mesin pendingin air sirkulasi	Hx	China	1
Kamar injeksi pengikisan	Standar	JSWN	1
Kunci vakum	SMC	SMC	1
Sistem kontrol manipulator	SMC	SMC	1

Parameter teknis surat

1. Vakum batas: Kamar pengikisan 9.0×10-5Pa (Kelembapan ruangan≤55%)
Kamar sampel injeksi 6.0×10-1Pa
2. Bahan pengikisan: Material Ⅲ、Ⅴ, Si, SiO2, dll
3. Tingkat pengikisan: ~ 1μ/menit
4. Keseragaman pengikisan: ≤±5％(rentang φ125mm)
6. Ukuran elektroda: φ200mm

Packing & Pengiriman

Untuk lebih memastikan keamanan barang Anda, layanan kemasan yang profesional, ramah lingkungan, praktis, dan efisien akan diberikan.

Profil Perusahaan

Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberikan solusi profesional satu atap untuk Garis Paket Front-end dan Back-end Semikonduktor dari Tiongkok.