MDXN-25D Mask aligner , China MDXN-25D Mask aligner Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

Peralatan ini adalah mesin litografi presisi yang dikembangkan oleh perusahaan kami secara khusus untuk karakteristik penggunaan mesin litografi di berbagai perguruan tinggi dan lembaga penelitian. Ini主要用于 digunakan untuk pengembangan dan produksi sirkuit terpadu kecil dan sedang, komponen semikonduktor, perangkat optoelektronik, dan perangkat gelombang akustik permukaan.
Dengan tetap mempertahankan indikator teknis utama peralatan, kami telah mengoptimalkan beberapa struktur dan komponen peralatan, mengurangi beberapa tindakan mekanis yang tidak perlu, dan memastikan bahwa titik kegagalan peralatan diminimalkan sebanyak mungkin, serta operasi peralatan sangat stabil dan andal.

Spesifikasi

Parameter teknis utama

1.Jenis paparan: satu sisi.
2.Area paparan: 110×110mm.
3.Ketidakteraturan pencahayaan paparan: ≤±3%.
4.Intensitas paparan: 0-30mw/cm2 dapat diatur.
5.Sudut sinar UV: ≤3°.
6.Gelombang pusat cahaya ultraviolet: 365nm.
7.Umur sumber cahaya UV: ≥500 jam.
8.Menggunakan rana elektronik.
9.Resolusi paparan: 1 μm;
10.Jangkauan pemindaian mikroskopik: X:±15mm Y:±15mm;
11.Jangkauan penyelarasan: penyesuaian X,Y ±4mm; penyesuaian arah Q ±3°;
12.Ketepatan pengukiran: 1 μ Ketepatan "versi" dan "chip" pengguna harus mematuhi peraturan nasional,
dan lingkungan, suhu, kelembapan, serta debu dapat dikendalikan secara ketat. Fotoresist positif impor digunakan, dan ketebalan fotoresist yang seragam dapat d ikendalikan secara ketat. Selain itu, proses awal dan akhirnya canggih;
13.Jumlah pemisahan; 0~50 μm dapat disesuaikan;
14.Metode paparan: paparan dekat, yang dapat mencapai kontak keras, kontak lembut, dan paparan kontak mikro; 15.Rumus pencarian kotak: udara

Packing & Pengiriman

Profil Perusahaan

Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberikan solusi profesional satu atap untuk Garis Paket Front-end dan Back-end Semikonduktor dari Tiongkok.