1.Jenis paparan: satu sisi.
2.Area paparan: 110×110mm.
3. Penerangan pencahayaan tidak merata: ≤±3%.
4. Intensitas paparan: 0-30mw/cm2 dapat disesuaikan.
5. Sudut sinar UV: ≤3°.
6. Panjang gelombang tengah sinar ultraviolet: 365nm.
7. Umur sumber cahaya UV: ≥500 jam.
8. Mengadopsi rana elektronik.
9. Resolusi eksposur: 1 μm;
10. Rentang pemindaian mikroskopis: X:±15mm Y:±15mm;
11. Kisaran keselarasan: penyesuaian X,Y±4mm;penyesuaian arah Q±3°;
12. Akurasi ukiran: 1 μ Keakuratan "versi" dan "chip" pengguna harus mematuhi peraturan nasional,
dan lingkungan, suhu, kelembaban, dan debu dapat dikontrol secara ketat. Fotoresist positif yang diimpor digunakan, dan ketebalan fotoresist seragam dapat disesuaikan.dikontrol secara ketat. Selain itu, proses depan dan belakang sudah maju;
13.Jumlah pemisahan; 0~50 μm dapat disesuaikan;
14. Metode pemaparan: paparan dekat, yang dapat mencapai kontak keras, kontak lunak, dan paparan kontak kekuatan mikro; 15. Rumus penemuan persegi:udara