Peralatan ini terutama digunakan untuk pengembangan dan produksi sirkuit terpadu berukuran kecil dan menengah, komponen semikonduktor, dan perangkat gelombang akustik permukaan. Karena mekanisme leveling yang canggih dan gaya leveling yang rendah, mesin ini tidak hanya cocok untuk pemaparan berbagai jenis substrat, namun juga untuk pemaparan substrat yang mudah terfragmentasi seperti kalium arsenida dan baja fosfat, serta pemaparan non- substrat melingkar dan kecil.
Spesifikasi
Utama teknis parameter
1. Jenis eksposur: eksposur satu sisi 2. Area paparan: 110X110mm; 3. Keseragaman paparan: ≥ 97%; 4. Intensitas paparan: 0-30mw/cm2 dapat disesuaikan; 5. Sudut sinar UV: ≤ 3° 6. Panjang gelombang pusat sinar ultraviolet: 365nm; 7. Umur sumber cahaya UV: ≥ 20000 jam; (garansi 2 tahun) 8. Mengadopsi rana elektronik; 9. Resolusi eksposur: 1 μM 10. Rentang tampilan kamera: ± 15mm Y: ± 15mm 11. Kisaran penjajaran: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q：±3°. 12. Akurasi penyelarasan: 1um (dalam kondisi lingkungan yang baik) 13. Kisaran jarak pemisahan: 0-50um dapat disesuaikan. 14. Metode pemaparan: pemaparan kontak. (sentuhan keras/lembut/mikro) 15. Metode keseimbangan: Flotasi udara. 16. Sistem mikroskopis: sistem CCD bidang pandang ganda, lensa objektif 1.6X~10X, sistem pemrosesan gambar komputer, monitor LCD 19 "; Perbesaran total 91-570x. Jarak objektif : 50-120mm. 17. Ukuran masker: 127*127mm;102*102mm 18. Ukuran substrat: Φ102mm；Φ76mm 19. Ketebalan substrat: ≤1mm 20. Waktu pemaparan: 0-999.9 detik dapat disesuaikan. 21. Daya: 220V 50Hz 1.5kw. 22. sumber udara? 0.4Mpa 23. Derajat vakum: -0.07MPa~-0.09Mpa
Pengepakan & pengiriman
Profil Perusahaan
Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberi Anda solusi profesional peralatan Jalur Paket Front-end dan Back-end Semikonduktor Satu Atap dari Tiongkok.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
TIDAK
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
