Mesin Litografi Tunggal Presisi Tinggi MDXN-25X , China Mesin Litografi Tunggal Presisi Tinggi MDXN-25X Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

Perangkat ini adalah mesin litografi presisi yang dikembangkan oleh perusahaan kami secara khusus untuk karakteristik penggunaan mesin litografi di berbagai perguruan tinggi dan lembaga penelitian. Ini terutama digunakan untuk pengembangan dan produksi sirkuit terpadu kecil dan sedang, komponen semikonduktor, perangkat optoelektronik, dan perangkat gelombang akustik permukaan.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Spesifikasi

Parameter teknis utama

1. Perangkat dapat menyedot masker persegi 5 "X5" dengan tidak ada persyaratan khusus untuk ketebalan papan (berkisar dari 1 hingga 3mm).
2. Perangkat dapat diterapkan pada substrat bulat berdiameter ф 100mm;
3. Ketebalan substrat ≤ 5mm;
4. Penerangan:
Sumber cahaya: Lampu merkuri tekanan ultra-tinggi GCQ350Z digunakan.
Jangkauan penerangan: ≤ ф 117mm Area paparan: ф 100mm
dalam jangkauan ф 100mm, ketidakteraturan paparan ≤ ± 3%, dan intensitas paparan >6mw/cm2 (indikator ini diukur menggunakan sumber cahaya UV I-line 365nm).
5. Perangkat ini menggunakan relay waktu impor untuk mengontrol tirai pneumatik, memastikan operasi yang akurat dan andal.
6. Mesin ini adalah mesin paparan kontak yang dapat mencapai:
7. Paparan kontak keras: Gunakan vakum pipa untuk mendapatkan kontak vakum tinggi, vakum ≤ -0.05MPa
8. Paparan kontak lembut: Tekanan kontak dapat meningkatkan vakum hingga antara -0,02MPa dan -0,05MPa.
9. Paparan kontak mikro: kurang dari kontak lembut, vakum ≥ -0,02MPa.
10. Resolusi paparan: Resolusi paparan kontak keras dari perangkat ini dapat mencapai 1 μm ke atas (keakuratan "papan" dan "cetakan" pengguna harus mematuhi peraturan nasional, serta lingkungan, suhu, kelembapan, dan debu dapat dikontrol secara ketat. Fotoresist positif impor digunakan, dan ketebalan fotoresist yang seragam dapat dikontrol secara ketat. Selain itu, proses sebelum dan sesudahnya canggih).
11. Penjajaran: Sistem pengamatan terdiri dari dua kamera CCD yang dipasang pada dua mikroskop tabung tunggal dan terhubung ke layar tampilan melalui kabel video.

Packing & Pengiriman

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Profil Perusahaan

Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberikan solusi profesional satu atap untuk Garis Paket Front-end dan Back-end Semikonduktor dari Tiongkok.