Mesin Litografi Sisi Tunggal Presisi Tinggi MDXN-25X, Produsen, Pemasok, Pabrik Mesin Litografi Sisi Tunggal Presisi Tinggi MDXN-25X Tiongkok

Deskripsi Produk

Peralatan ini merupakan mesin litografi presisi yang dikembangkan oleh perusahaan kami khusus untuk penggunaan karakteristik mesin litografi di berbagai perguruan tinggi dan lembaga penelitian. Hal ini terutama digunakan untuk pengembangan dan produksi sirkuit terpadu kecil dan menengah, komponen semikonduktor, perangkat optoelektronik, dan perangkat gelombang akustik permukaan.

Pabrik Mesin Litografi Sisi Tunggal Presisi Tinggi MDXN-25X

Spesifikasi

Utama teknis parameter

1. Perangkat dapat menyedot masker persegi berukuran 5 "X5", tanpa persyaratan khusus untuk ketebalan pelat (mulai dari 1 hingga 3 mm).
2. Perangkat dapat diterapkan pada substrat melingkar ф 100mm;
3. Ketebalan substrat ≤ 5mm;
4. Penerangan:
Sumber cahaya: lampu merkuri arus searah tekanan ultra-tinggi GCQ350Z digunakan.
Kisaran pencahayaan: ≤ ф 117mm Area pencahayaan: ф 100mm
tetap ф Dalam kisaran 100mm, ketidakrataan paparan adalah ≤ ± 3%, dan intensitas paparan>6mw/cm2 (indikator ini diukur menggunakan sumber cahaya UV I-line 365nm).
5. Perangkat ini mengadopsi relai waktu yang diimpor untuk mengontrol rana pneumatik, memastikan pengoperasian yang akurat dan andal.
6. Mesin ini adalah mesin pemaparan kontak yang dapat mencapai:
7. Paparan kontak keras: Gunakan vakum pipa untuk mendapatkan kontak vakum tinggi, vakum ≤ -0.05MPa
8. Paparan kontak lunak: Tekanan kontak dapat meningkatkan ruang hampa hingga antara -0.02MPa dan -0.05MPa.
9. Paparan kontak mikro: kurang dari kontak lunak, vakum ≥ -0.02MPa.
10. Resolusi paparan: Resolusi paparan kontak keras perangkat ini dapat mencapai 1 μ Di atas m (akurasi "pelat" dan "chip" pengguna harus mematuhi peraturan nasional, dan lingkungan, suhu, kelembapan, dan debu dapat dikontrol secara ketat. Fotoresist positif yang diimpor digunakan, dan ketebalan fotoresist seragam dapat dikontrol secara ketat. Selain itu, proses depan dan belakang ditingkatkan.
11. Penyelarasan: Sistem observasi terdiri dari dua kamera CCD yang dipasang pada dua mikroskop tabung tunggal dan dihubungkan ke tampilan layar melalui kabel video.

Pengepakan & pengiriman

Pemasok Mesin Litografi Sisi Tunggal Presisi Tinggi MDXN-25X

Detail Mesin Litografi Sisi Tunggal Presisi Tinggi MDXN-25X

Profil Perusahaan

Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberi Anda solusi profesional peralatan Jalur Paket Front-end dan Back-end Semikonduktor Satu Atap dari Tiongkok.