1.Energi yang dibutuhkan untuk peralatan: Catu daya mainframe: 220V, 50HZ, konsumsi daya≤1.5KW;
2. Dilengkapi dengan pompa vakum dengan catu daya 220V;
3.Ukuran dan berat: Ukuran: 1200(panjang)×720(lebar)×1500(tinggi). Berat ≤170kg;
4. Tempatkan badan mesin di meja kerja khusus;
5.Jenis paparan: jenis kontak, penyelarasan pelat, paparan dua sisi;
6. Area paparan: φ100mm;
7. Paparan tidak merata: ≤±3%;
8. Intensitas paparan: ≥5mw/cm2;
9. Resolusi eksposur: 2μm;
10. Mode eksposur: Eksposur simultan dua sisi;
11. Kisaran keselarasan: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Akurasi ukiran: 2μm;
13. Rentang rotasi: Penyesuaian rotasi arah Q≤±5°;
14. Sistem mikroskopis: sistem CCD bidang pandang ganda, lensa objektif 1.6X~10X, sistem pemrosesan gambar komputer, monitor LCD 19",
15. Ukuran masker: Mampu melakukan adsorpsi vakum