Peralatan ini terutama digunakan untuk pengembangan dan produksi sirkuit terpadu berukuran kecil dan menengah, komponen semikonduktor, dan perangkat gelombang akustik permukaan. Karena mekanisme leveling yang canggih dan gaya leveling yang rendah, mesin ini tidak hanya cocok untuk pemaparan berbagai jenis substrat, namun juga untuk pemaparan substrat yang mudah terfragmentasi seperti kalium arsenida dan baja fosfat, serta pemaparan non- substrat melingkar dan kecil.
Spesifikasi
Utama teknis parameter
1. Jenis paparan: jenis kontak, penyelarasan pelat, paparan tunggal dua sisi 2. Area paparan: 110X110mm; 3. Keseragaman paparan: ≥ 97%; 4. Intensitas paparan: 0-30mw/cm2 dapat disesuaikan; 5. Sudut sinar UV: ≤ 3° 6. Panjang gelombang pusat sinar ultraviolet: 365nm; 7. Umur sumber cahaya UV: ≥ 20000 jam;; 8. Suhu permukaan kerja: ≤ 30 ℃ 9. Mengadopsi rana elektronik; 10. Resolusi pencahayaan: 1 μM (kedalaman pencahayaan sekitar 10 kali lebar garis) 11. Mode eksposur: Eksposur simultan dua sisi 12. Rentang penjajaran: x: ± 5mm Y: ± 5mm 13. Akurasi penyelarasan pelat: 2 m 14. Rentang rotasi: Penyesuaian rotasi arah Q ≤ ± 5 ° 15. Sistem mikroskopis: sistem CCD bidang pandang ganda, lensa objektif 1.6X~10X, sistem pemrosesan gambar komputer, monitor LCD 19 "; Pembesaran total 91-570x 16. Ukuran masker: Mampu menyerap vakum masker persegi 5", tanpa persyaratan khusus untuk ketebalan masker (berkisar antara 1 hingga 3mm). 17. Ukuran substrat: Cocok untuk substrat 4", dengan ketebalan substrat berkisar antara 0.1 hingga 2 mm. 18. Saat memesan, tidak ada persyaratan khusus, dan rak 5" X5 adalah standar; Anda dapat menyesuaikan rak di bawah 5" X5:
Pengepakan & pengiriman
Profil Perusahaan
Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberi Anda solusi profesional peralatan Jalur Paket Front-end dan Back-end Semikonduktor Satu Atap dari Tiongkok.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
TIDAK
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
