Sistem etsa ion reaktif (RIE) Mesin industri semikonduktor, Cina Sistem etsa ion reaktif (RIE) Mesin industri semikonduktor Produsen, Pemasok, Pabrik

Deskripsi Produk

Bahan terapan:

Lapisan pasif: SiO2, SiNx
silikon belakang
Lapisan perekat: TaN
Melalui lubang: W

fitur:

1. Pengetsaan lapisan pasivasi dengan atau tanpa lubang;

2. Etsa lapisan perekat;

3. Kembali etsa silikon

Sistem etsa ion reaktif ( RIE ) Pemasok mesin industri semikonduktor

Detail mesin industri semikonduktor sistem etsa ion reaktif (RIE).

Sistem etsa ion reaktif ( RIE ) Pabrik mesin industri semikonduktor

Spesifikasi

Konfigurasi proyek dan diagram struktur mesin

Barang	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Ukuran produk	≤6 inci	≤8 inci	≤8 inci
Sumber listrik RF	0-300W/500W/1000W Dapat disesuaikan, pencocokan otomatis
Pompa molekuler	-/620(L/dtk)/1300(L/dtk)/Kustom			Antiseptik620(L/dtk)/1300(L/dtk)/Khusus
Pompa garis depan	Pompa mekanis/pompa kering			Pompa kering
Tekanan proses	Tekanan tidak terkendali/tekanan terkontrol 0-1Torr
Jenis gas	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Kustom (Hingga 9 saluran, tidak ada gas korosif & beracun)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels)
Kisaran gas	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom
Kunci Beban	Ya Tidak			Yes
Kontrol suhu sampel	10°C~Suhu ruangan/-30°C~100°C/Khusus			-30°C~100°C /Khusus
Kembali pendinginan helium	Ya Tidak			Yes
Memproses lapisan rongga	Ya Tidak			Yes
Kontrol suhu dinding rongga	Tidak/Suhu Ruangan~60/120°C			Suhu ruangan-60/120°C
Control System	Otomatis/kustom
Bahan etsa	Berbasis silikon:Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au..... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Organik film......			Berbasis silikon: Si/SiO2/SiNx...... III-V(注3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe…… Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au...... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/film organik...

Hasil Proses

Etsa bahan berbasis silikon

Bahan berbasis silikon, pola cetak nano, susunan
pola dan etsa pola lensa

Sistem etsa ion reaktif ( RIE ) Pembuatan mesin industri semikonduktor

Pengetsaan suhu normal InP

Pengetsaan pola perangkat berbasis InP yang digunakan dalam komunikasi optik, termasuk struktur pandu gelombang, struktur punggungan struktur rongga resonansi, dll

Pengetsaan bahan SiC

Cocok untuk perangkat microwave, perangkat listrik, dll

Sputtering fisik, etsa, etsa bahan organik

Ini diterapkan pada pengetsaan bahan yang sulit tergores seperti beberapa logam (seperti Ni / Cr) dan keramik, dan
pemilihan material yang berpola diwujudkan dengan pemboman fisik.

Ini digunakan untuk mengetsa dan menghilangkan senyawa organik seperti photoresist (PR)/ PMMA / HDMS / polimer

Pengepakan & pengiriman

Profil Perusahaan

Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberi Anda solusi profesional peralatan Jalur Paket Front-end dan Back-end Semikonduktor Satu Atap dari Tiongkok.