Sistem Etching Ion Reaktif (RIE) Mesin Industri Semikonduktor , China Sistem Etching Ion Reaktif (RIE) Mesin Industri Semikonduktor Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

Bahan yang diterapkan:

Lapisan pasivasi: SiO2, SiNx
Belakang silikon
Lapisan perekat: TaN
Lubang tembus: W

Fitur:

1. Etching lapisan pasivasi dengan atau tanpa lubang;

2. Pengikisan lapisan perekat;

3. Pengikisan silikon belakang

Reactive ion etching system ( RIE ) Seminconductor industry machine supplier

Reactive ion etching system ( RIE ) Seminconductor industry machine details

Reactive ion etching system ( RIE ) Seminconductor industry machine factory

Spesifikasi

Konfigurasi proyek dan diagram struktur mesin

Item	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Ukuran Produk	≤6 inci	≤8 inci	≤8 inci
Sumber daya RF	0-300W/500W/1000W Adjustable, cocok otomatis
Pompa Molekuler	-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom			Antiseptik620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom
Foreline pompa	Pompa mekanis\/pompa kering			Pompa Kering
Tekanan proses	Tekanan tidak terkendali\/0-1Torr tekanan terkendali
Jenis gas	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Hingga 9 saluran, tanpa gas korosif & toksik)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Hingga 9 saluran)
rentang gas	0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/custom
LoadLock	Ya/Tidak			Ya
Kontrol tem sampel	10°C~Tem Ruangan/-30°C~100°C/Custom			-30°C~100°C/Custom
Pendinginan helium belakang	Ya/Tidak			Ya
Lapisan rongga proses	Ya/Tidak			Ya
Kontrol tem dinding rongga	Tidak/Tem Ruangan~60/120°C			Tem Ruangan-60/120°C
Sistem Kontrol	Otomatis/kustom
Bahan pengikisan	Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au..... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Organik lapisan......			Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx...... III-V (catatan 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (catatan 3): CdTe...... Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au...... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS /film organik...

Hasil proses

Pengetchan bahan berbasis silikon

Bahan berbasis silikon, pola nano-imprint, array
pola dan pengikisan pola lensa

Reactive ion etching system ( RIE ) Seminconductor industry machine manufacture

Pengikisan suhu normal InP

Pengikisan pola dari perangkat berbasis InP yang digunakan dalam komunikasi optik, termasuk struktur pandu gelombang, struktur rongga resonansi, struktur ridge dll

Pengikisan bahan SiC

Sesuai untuk perangkat mikrogelombang, perangkat daya, dll

Penyemprotan fisik, pengikisan materi organik

Digunakan untuk pengikisan bahan yang sulit diikis seperti beberapa logam (seperti Ni/Cr) dan keramik, dan
pola pengikisan bahan diwujudkan melalui bombardean fisik.

Digunakan untuk pengikisan dan penghapusan senyawa organik seperti resist foto (PR)/PMMA/HDMS/polimer

Packing & Pengiriman

Profil Perusahaan

Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberikan solusi profesional satu atap untuk Garis Paket Front-end dan Back-end Semikonduktor dari Tiongkok.