Barang | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Ukuran produk | ≤6 inci | ≤8 inci | ≤8 inci | ||
Sumber listrik RF | 0-300W/500W/1000W Dapat disesuaikan, pencocokan otomatis | ||||
Pompa molekuler | -/620(L/dtk)/1300(L/dtk)/Kustom | Antiseptik620(L/dtk)/1300(L/dtk)/Khusus | |||
Pompa garis depan | Pompa mekanis/pompa kering | Pompa kering | |||
Tekanan proses | Tekanan tidak terkendali/tekanan terkontrol 0-1Torr | ||||
Jenis gas | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Kustom (Hingga 9 saluran, tidak ada gas korosif & beracun) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Kisaran gas | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
Kunci Beban | Ya Tidak | Yes | |||
Kontrol suhu sampel | 10°C~Suhu ruangan/-30°C~100°C/Khusus | -30°C~100°C /Khusus | |||
Kembali pendinginan helium | Ya Tidak | Yes | |||
Memproses lapisan rongga | Ya Tidak | Yes | |||
Kontrol suhu dinding rongga | Tidak/Suhu Ruangan~60/120°C | Suhu ruangan-60/120°C | |||
Control System | Otomatis/kustom | ||||
Bahan etsa | Berbasis silikon:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au. Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Film organik. | Berbasis silikon: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au. Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/film organik. |
Cocok untuk perangkat microwave, perangkat listrik, dll.
Mesin Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) adalah teknologi tercanggih yang dapat mengetsa dan menganalisis berbagai jenis bahan dengan presisi luar biasa. Mesin ini dirancang untuk digunakan di berbagai industri yang memerlukan mikrofabrikasi atau etsa secara rutin. Terbuat dari bahan berkualitas tinggi sehingga tahan lama, andal dan mampu memberikan hasil yang sangat baik.
Dilengkapi dengan generator plasma RF yang efektif. Sistem RIE menggunakan kopling bersifat induktif untuk menghasilkan plasma dari umpan bensin. Teknik ini menghasilkan plasma berkepadatan tinggi yang meningkatkan laju etsa yang terkait dengan produk. Proses etsa pada mesin RIE efektif, akurat, dan sangat terkendali, memungkinkan kedalaman tertentu yang ingin dicapai. Fitur ini unik dan merupakan pilihan tepat untuk penelitian atau pekerjaan industri.
Mesin tersebut memiliki jangkauan yang luas, antara lain mikroelektronika, fabrikasi MEMS, dan fabrikasi semikonduktor. Mesin ini berperan penting dalam etsa dan pemesinan mikro bahan semikonduktor seperti silikon, galium arsenida, dan germanium di industri semikonduktor. Perangkat RIE berteknologi tinggi Minder juga telah dikembangkan di industri MEMS untuk membuat bahan lunak dan keras seperti polimida, silikon dioksida, dan silikon nitrida. Selain itu, tersedia untuk analisis kegagalan dalam industri yang terkait dengan layanan dan produk elektronik.
Dilengkapi fitur-fitur yang beragam sehingga mudah digunakan. Ini adalah perangkat lunak yang ramah pengguna yang memberi operator kendali penuh atas parameter etsa yang digunakan dalam perangkat. Pengaturan mesin disimpan ke memori internalnya sehingga dapat menyimpan lebih dari 100 set pengaturan. Layarnya memiliki sentuhan yang memungkinkan operator mengatur parameter seperti pergerakan gas, ketebalan daya, dan tekanan. Mesin RIE berteknologi tinggi Minder juga memiliki fitur pengatur suhu yang memastikan bahan tergores pada suhu yang tepat dan menghentikan kerusakan.
Sangat cocok bagi perusahaan yang membutuhkan mesin yang handal dan efisien yang dapat memberikan hasil yang akurat dan tepat. Perangkat ini telah dirancang dengan teknologi terbaik dan tingkatannya banyak. Keserbagunaan dan fitur-fiturnya yang mudah digunakan menjadikannya pilihan penelitian dan aplikasi industri yang sangat baik di berbagai sektor.
Ia juga memiliki sistem analisis kegagalan efisien yang memungkinkan alat berat mendeteksi dan memperbaiki masalah mekanis apa pun sesegera mungkin. Sistem ini memastikan bahwa mesin RIE mempertahankan kualitas dan keandalan yang tinggi sepanjang siklus hidupnya. Untuk industri apa pun yang membutuhkan etsa atau fabrikasi mikro yang presisi dan efisien, mesin RIE Minder-High-tech adalah solusi sempurna.
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi Undang-Undang