Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Beranda
Tentang Kami
Peralatan MH
Solusi
Pengguna Luar Negeri
Video
Contact Us
Beranda> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE

Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE Indonesia

Deskripsi Produk 
Sistem etsa ion reaktif
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pemasok analisis kegagalan RIE
Aplikasi
Lapisan pasif: SiO2, SiNx
silikon belakang
Lapisan perekat: TaN
Melalui lubang: W
Fitur
1. Pengetsaan lapisan pasivasi dengan atau tanpa lubang;  
2. Etsa lapisan perekat;  
3. Kembali etsa silikon
Spesifikasi
Konfigurasi proyek dan diagram struktur mesin
Barang
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Ukuran produk
≤6 inci
≤8 inci
≤8 inci


Sumber listrik RF
0-300W/500W/1000W Dapat disesuaikan, pencocokan otomatis


Pompa molekuler
-/620(L/dtk)/1300(L/dtk)/Kustom

Antiseptik620(L/dtk)/1300(L/dtk)/Khusus

Pompa garis depan
Pompa mekanis/pompa kering

Pompa kering

Tekanan proses
Tekanan tidak terkendali/tekanan terkontrol 0-1Torr


Jenis gas
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Kustom
(Hingga 9 saluran, tidak ada gas korosif & beracun) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Kisaran gas
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


Kunci Beban
Ya Tidak

Yes

Kontrol suhu sampel
10°C~Suhu ruangan/-30°C~100°C/Khusus

-30°C~100°C /Khusus

Kembali pendinginan helium
Ya Tidak

Yes

Memproses lapisan rongga
Ya Tidak

Yes

Kontrol suhu dinding rongga
Tidak/Suhu Ruangan~60/120°C

Suhu ruangan-60/120°C

Control System
Otomatis/kustom


Bahan etsa
Berbasis silikon:Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Bahan magnetik/bahan paduan
Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au. 
Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Film organik. 

Berbasis silikon: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Bahan magnetik/bahan paduan
Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au. 
Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/film organik. 

1. Mencegah chip beterbangan
2. Node minimum yang dapat diproses: 14nm:
3. Laju etsa SiO2/SiNx: 50~150 nm/menit;
4. Kekasaran permukaan tergores:5. Mendukung lapisan pasivasi, lapisan adhesi, dan etsa silikon belakang;
6. Rasio seleksi Cu/Al:>50
7. Mesin serba guna PxLxT: 1300mmX750mmX950mm
8. Mendukung eksekusi satu klik
Hasil proses

Etsa bahan berbasis silikon

Bahan berbasis silikon, pola cetak nano, susunan
pola dan etsa pola lensa
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pabrik analisis kegagalan RIE

Pengetsaan suhu normal InP

Pengetsaan pola perangkat berbasis InP yang digunakan dalam komunikasi optik, termasuk struktur pandu gelombang, struktur rongga resonansi.
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pemasok analisis kegagalan RIE

Pengetsaan bahan SiC

Cocok untuk perangkat microwave, perangkat listrik, dll.


Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Detail analisis kegagalan RIE

Sputtering fisik, etsa Bahan organik

Ini diterapkan pada pengetsaan bahan yang sulit tergores seperti beberapa logam (seperti Ni / Cr) dan keramik, dan
berpola tching.
Ini digunakan untuk mengetsa dan menghilangkan senyawa organik seperti photoresist (PR)/ PMMA / HDMS / polimer
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pabrik analisis kegagalan RIE
Tampilan hasil analisis kegagalan
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pembuatan analisis kegagalan RIE
Produk rincian 
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Detail analisis kegagalan RIE
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pembuatan analisis kegagalan RIE
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pemasok analisis kegagalan RIE
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pabrik analisis kegagalan RIE
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pembuatan analisis kegagalan RIE
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pabrik analisis kegagalan RIE
Pengepakan & pengiriman 
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Pabrik analisis kegagalan RIE
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Detail analisis kegagalan RIE
mesin solder
Profil Perusahaan

Mesin Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) adalah teknologi tercanggih yang dapat mengetsa dan menganalisis berbagai jenis bahan dengan presisi luar biasa. Mesin ini dirancang untuk digunakan di berbagai industri yang memerlukan mikrofabrikasi atau etsa secara rutin. Terbuat dari bahan berkualitas tinggi sehingga tahan lama, andal dan mampu memberikan hasil yang sangat baik. 

 

Dilengkapi dengan generator plasma RF yang efektif. Sistem RIE menggunakan kopling bersifat induktif untuk menghasilkan plasma dari umpan bensin. Teknik ini menghasilkan plasma berkepadatan tinggi yang meningkatkan laju etsa yang terkait dengan produk. Proses etsa pada mesin RIE efektif, akurat, dan sangat terkendali, memungkinkan kedalaman tertentu yang ingin dicapai. Fitur ini unik dan merupakan pilihan tepat untuk penelitian atau pekerjaan industri. 

 

Mesin tersebut memiliki jangkauan yang luas, antara lain mikroelektronika, fabrikasi MEMS, dan fabrikasi semikonduktor. Mesin ini berperan penting dalam etsa dan pemesinan mikro bahan semikonduktor seperti silikon, galium arsenida, dan germanium di industri semikonduktor. Perangkat RIE berteknologi tinggi Minder juga telah dikembangkan di industri MEMS untuk membuat bahan lunak dan keras seperti polimida, silikon dioksida, dan silikon nitrida. Selain itu, tersedia untuk analisis kegagalan dalam industri yang terkait dengan layanan dan produk elektronik. 

 

Dilengkapi fitur-fitur yang beragam sehingga mudah digunakan. Ini adalah perangkat lunak yang ramah pengguna yang memberi operator kendali penuh atas parameter etsa yang digunakan dalam perangkat. Pengaturan mesin disimpan ke memori internalnya sehingga dapat menyimpan lebih dari 100 set pengaturan. Layarnya memiliki sentuhan yang memungkinkan operator mengatur parameter seperti pergerakan gas, ketebalan daya, dan tekanan. Mesin RIE berteknologi tinggi Minder juga memiliki fitur pengatur suhu yang memastikan bahan tergores pada suhu yang tepat dan menghentikan kerusakan. 

 

Sangat cocok bagi perusahaan yang membutuhkan mesin yang handal dan efisien yang dapat memberikan hasil yang akurat dan tepat. Perangkat ini telah dirancang dengan teknologi terbaik dan tingkatannya banyak. Keserbagunaan dan fitur-fiturnya yang mudah digunakan menjadikannya pilihan penelitian dan aplikasi industri yang sangat baik di berbagai sektor. 

 

Ia juga memiliki sistem analisis kegagalan efisien yang memungkinkan alat berat mendeteksi dan memperbaiki masalah mekanis apa pun sesegera mungkin. Sistem ini memastikan bahwa mesin RIE mempertahankan kualitas dan keandalan yang tinggi sepanjang siklus hidupnya. Untuk industri apa pun yang membutuhkan etsa atau fabrikasi mikro yang presisi dan efisien, mesin RIE Minder-High-tech adalah solusi sempurna.


Enquiry

Enquiry Email WhatsApp Wechat
Atasan
×

Hubungi kami