Item |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Ukuran Produk |
≤6 inci |
≤8 inci |
≤8 inci |
||
Sumber daya RF |
0-300W/500W/1000W Adjustable, cocok otomatis |
||||
Pompa Molekuler |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
Antiseptik620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
|||
Foreline pompa |
Pompa mekanis\/pompa kering |
Pompa Kering |
|||
Tekanan proses |
Tekanan tidak terkendali\/0-1Torr tekanan terkendali |
||||
Jenis gas |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Hingga 9 saluran, tanpa gas korosif & toksik) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Hingga 9 saluran) |
|||
rentang gas |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/custom |
||||
LoadLock |
Ya/Tidak |
Ya |
|||
Kontrol tem sampel |
10°C~Tem Ruangan/-30°C~100°C/Custom |
-30°C~100°C/Custom |
|||
Pendinginan helium belakang |
Ya/Tidak |
Ya |
|||
Lapisan rongga proses |
Ya/Tidak |
Ya |
|||
Kontrol tem dinding rongga |
Tidak/Tem Ruangan~60/120°C |
Tem Ruangan-60/120°C |
|||
Sistem Kontrol |
Otomatis/kustom |
||||
Bahan pengikisan |
Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au. Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Film organik. |
Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx. III-V (catatan 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (catatan 3): CdTe. Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au. Bahan organik: PR/PMMA/HDMS /film organik. |
Cocok untuk perangkat mikrogelombang, perangkat daya, dll.
Mesin Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) adalah teknologi terkini yang dapat mengukir dan menganalisis berbagai jenis bahan dengan presisi luar biasa. Mesin ini dirancang untuk digunakan di berbagai industri di mana mikrofabrikasi atau pengukiran diperlukan secara rutin. Terbuat dari bahan berkualitas tinggi yang membuatnya tahan lama, andal, dan mampu menghasilkan hasil yang sangat baik.
Dilengkapi dengan generator plasma RF yang efektif. Sistem RIE menggunakan koneksi induktif untuk menghasilkan plasma dari bahan bakar masukan. Teknik ini menciptakan plasma dengan densitas tinggi yang meningkatkan laju pengukiran terkait produk. Proses pengukiran mesin RIE efektif, akurat, dan sangat terkendali, memungkinkan kedalaman tertentu untuk dicapai. Fitur ini menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk penelitian atau pekerjaan industri.
Mesin ini memiliki rentang aplikasi yang luas, termasuk mikroelektronik, fabrikasi MEMS, dan fabrikasi semikonduktor. Mesin ini memainkan peran penting dalam proses etching dan mikromekanik bahan semikonduktor seperti silikon, arsenida galium, dan germanium dalam industri semikonduktor. Perangkat RIE Minder-High-tech juga telah diadopsi dalam industri MEMS untuk membuat bahan lunak dan keras seperti poliiamida, oksida silikon, dan nitrida silikon. Selain itu, mesin ini juga tersedia untuk analisis kegagalan dalam industri yang terkait dengan layanan dan produk elektronik.
Mencakup fitur-fitur yang beragam sehingga memudahkan penggunaannya. Ini adalah perangkat lunak yang ramah pengguna dan memberikan operator kendali penuh atas parameter etching yang digunakan dalam mesin. Pengaturan mesin disimpan ke memori internalnya, yang dapat menyimpan lebih dari 100 set pengaturan. Mesin ini memiliki layar sentuh yang memungkinkan operator menetapkan parameter seperti aliran gas, kepadatan daya, dan tekanan. Mesin Minder-High-tech RIE juga memiliki fitur kontrol suhu yang memastikan bahan-bahan dietching pada suhu yang tepat dan mencegah kerusakan terhadap mereka.
Sempurna untuk perusahaan yang membutuhkan mesin yang andal dan efisien yang dapat memberikan hasil yang akurat dan presisi. Perangkat ini dirancang dengan teknologi kelas atas dan tingkat yang sangat tinggi. Kemampuan fleksibilitas dan fitur ramah pengguna membuatnya menjadi pilihan yang sangat baik untuk aplikasi penelitian dan industri di berbagai sektor.
Sistem juga memiliki analisis kegagalan yang efisien yang memungkinkan mesin mendeteksi dan mengoreksi masalah mekanis secepat mungkin. Sistem ini menjamin bahwa mesin RIE Minder-High-tech mempertahankan kualitas tinggi dan keandalan sepanjang siklus hidupnya. Untuk setiap industri yang membutuhkan pengikisan atau mikrofabrikasi yang tepat dan efisien, mesin RIE Minder-High-tech adalah solusi yang sempurna.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved