Sumber PLASMA
|
RF
|
||
Daya
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W (opsi)
|
||
Lingkup yang berlaku
|
4 ~ 8 inci
|
||
Jumlah irisan pemrosesan tunggal
|
1
|
||
Dimensi penampilan
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Kontrol sistem
|
PLC
|
||
Tingkat otomatisasi
|
panduan
|
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi Undang-Undang