Peralatan industri semikonduktor MDLB-MC200 Pembersih Photomask , China Peralatan industri semikonduktor MDLB-MC200 Pembersih Photomask Manufacturers, Suppliers, Factory

MDLB-MC200

Pembersih photomask

Unit pembersihan:

Kamar pembersihan diproses dengan bahan tahan korosi, yang memiliki permukaan halus dan mudah dibersihkan. Terdapat lubang pembuangan limbah di bagian bawah rongga dalam, yang memanfaatkan gravitasi untuk memungkinkan cairan limbah dialirkan ke pipa pembuangan limbah pabrik. Ada port hisap di dalam rongga, yang dapat mengeluarkan udara dari rongga secara tepat waktu. Dilengkapi dengan 3 lengan ayunan otomatis, ia dapat mencapai pembersihan otomatis.

Tabel parameter konfigurasi:

Tidak.	Proyek	Spesifikasi	Catatan
1	Ikhtisar Peralatan	Nama Perangkat: Pembersih Photomask
		Model peralatan: MDLB-MC200
		Dimensi keseluruhan (sekitar): 1300mm (L) * 1000mm (D) * 1950mm (T)
		Berat mesin keseluruhan (sekitar): 300KG
		Tinggi meja operasi: 900 ± 50mm
		Spesifikasi ukuran substrat: cocok untuk masker persegi berukuran 2/4/5/6/8 inci
		Alur proses: penempatan wafer manual → pembersihan (sikat, larutan pembersih → air bertekanan tinggi → air megasonik → air deionisasi → pengeringan gas nitrogen) → pengambilan wafer manual
		Tipe peralatan: semi-otomatis, muat dan unggah manual
2	Konstruksi peralatan	Casing: stainless steel, halus, tahan korosi, mudah dibersihkan
		Kamar pembersihan: PP, halus, tahan korosi, mudah dibersihkan
		Pipa: pipa PU/PFA digunakan
		Pencahayaan kerja: pencahayaan lampu kuning anti-korosi
		Gaya pembukaan pintu: Pintu ganda dengan fungsi alarm pembukaan pintu
		Layar sentuh: layar sentuh warna penuh 10 inci * 1
		FFU: Kelas 100
		Penyangga dasar tahan kebocoran: tersedia
3	Motor servo presisi tinggi	Kuantitas: 1
		Kecepatan: -3000~3000rpm	Beban kosong
		Percepatan maksimal putaran poros: 3000rpm/S	Beban kosong
		Ketelitian kecepatan: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Resolusi kecepatan: 1rpm
4	Lengan ayun otomatis	Jumlah: 3
4	Lengan ayun otomatis	Kecepatan lengan ayun: 1~30 °/S
5	Unit pembersihan	Lengan pembersih: 1 saluran air deionisasi, 1 saluran gas nitrogen Lengan Megasonik: 1 Megasonik, 1 Air Tekanan Tinggi Lengan sikat: 1 sikat, 1 air, 1 larutan pembersih
		Metode pembersihan: pembersihan otomatis
		Fungsi hisap air deionisasi: tersedia
		Bilas balik (air deionisasi): 1 jalur
		Metode pasokan: Larutan pembersih: Pompa membran Air deionisasi: disuplai langsung oleh pabrik
		Tangki tekanan dengan deteksi tingkat cairan
6	Sikat bulu	Kuantitas: 1 (dengan fungsi pembersihan mandiri)
		Kecepatan: hingga 1000rpm, kecepatan dapat disesuaikan
		Tinggi dapat disesuaikan secara manual
7	Nampan muatan	Kuantitas: 5
		Bahan: PPS+baja tahan karat
		Ukuran: Sesuai untuk pelat masker persegi berukuran 2/4/5/6/8 inci
		Metode pemasangan substrat: Metode pemasangan cakar
8	Sistem Kontrol	Sistem kontrol: menggunakan kontrol PLC
		Program: 100 grup, setiap grup terdiri dari 100 langkah, dengan waktu langkah tunggal maksimum 3000,0 detik Resolusi: 0,1S
		Program dapat disimpan, dipanggil, dimodifikasi, dan dihapus
		Atur izin enkripsi: untuk operator perangkat, teknisi, administrator, dan produsen masing-masing
		Tipe menara sinyal: merah, kuning, hijau 3 warna