Mesin penghapus PLASMA PR ICP industri semikonduktor, Penghilang Residu Fotoresist, Cina Mesin penghapus PLASMA PR ICP industri semikonduktor, Produsen, Pemasok, Pabrik

Deskripsi Produk

Penghilang Fotoresist ICP PLASMA

ABU
Penghapusan polimer
Penghapusan kering lapisan masker keras
Penghapusan fotoresistensi setelah implantasi ion
Penghapusan fotoresistensi dalam proses BAW/SAW
Pembersihan kering lapisan film grafis anti reflektif
Penghapusan residu permukaan
Pembersihan permukaan setelah etsa
DESKUM

Industri semikonduktor Mesin penghilang ICP PLASMA PR Pembuatan Penghapusan Residu Photoresist

Proses

Industri semikonduktor Mesin penghapus ICP PLASMA PR Pabrik Penghilang Residu Photoresist

Keuntungan:

Keunggulan Inti

Tingkat degumming tinggi: Plasma densitas tinggi, tingkat degumming cepat
Stabilitas: Setelah perawatan plasma, reproduktifitas tinggi
Plasma jarak jauh: Plasma jarak jauh, kerusakan ion rendah pada wafer
Perangkat lunak unggulan: penelitian independen dan pengembangan perangkat lunak, animasi proses intuitif, data dan catatan terperinci
Keseragaman: Plasma dapat mengontrol tekanan dan suhu melalui katup kupu-kupu
Faktor keamanan: Plasma rendah mengurangi kerusakan pada pembuangan produk.
Layanan purna jual: Respon cepat dan inventaris yang cukup
Pengendalian debu: Memenuhi kebutuhan pelanggan.
Teknologi inti: Dengan hampir 40% anggota tim R&D

Platform Kaset (MD-ST 6100/620)

1. 4 Pembawa Wafer
2. Kompatibilitas tinggi: fleksibilitas pemilihan ukuran wafer menghasilkan efisiensi biaya dan solusi yang tinggi
3. Ruang transfer vakum stabilitas tinggi:
Desain transmisi vakum yang matang dan stabil telah diterapkan secara matang di pasar selama bertahun-tahun dan diakui dengan baik oleh pelanggan.
Desain meja putar, ruang kompak, secara signifikan mengurangi risiko PARTICAL
4. Antarmuka operasi perangkat lunak yang dimanusiakan:
Antarmuka operasi perangkat lunak manusiawi yang intuitif, pemantauan status mesin yang berjalan secara real-time;
Alarm komprehensif dan fungsi anti-bodoh untuk menghindari kesalahan pengoperasian.
Fungsi ekspor data yang kuat, catatan berbagai parameter proses, dan ekspor catatan produksi produk.

Industri semikonduktor Mesin penghapus ICP PLASMA PR Pemasok Penghilang Residu Photoresist

Industri semikonduktor Mesin penghilang ICP PLASMA PR Detail Penghapusan Residu Photoresist

Robot

1. Desain pengambilan dan tempat wafer ganda satu kali menghadirkan produktivitas tinggi
2. Meningkatkan efisiensi ruang.

Pelat Pemanas

1. Pelat wafer kontrol suhu presisi tinggi
Pelat pemanas wafer dari suhu kamar hingga 250°C, akurasi kontrol suhu ±1°C
Pelat pemanas wafer telah dikalibrasi oleh instrumen profesional, dan keseragamannya. Dalam ±3°C, pastikan keseragaman penghilangan lem
2. Pemrosesan wafer ganda ruang tunggal
Desain wafer ganda ruang tunggal;
Desain pelepasan daya independen untuk setiap wafer, memastikan bahwa setiap wafer. Efek penghapusan PR bulat;
Dengan alasan memastikan efisiensi UPH, mengurangi biaya produk. Kompatibilitas yang kuat
3. Kapasitas produksi: ruang reaksi desain dua bagian, efisiensi produksi tinggi.

Spesifikasi

PLASMA			RF	RF
Daya	ICP	1000w	1000w
Daya		BIAS	600w (opsi)	600w (opsi)
Lingkup yang berlaku			4 ~ 8 inci	4 ~ 8 inci
Jumlah irisan pemrosesan tunggal			1	2
Dimensi penampilan			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Kontrol sistem			Sistem kontrol industri	Sistem kontrol industri
Tingkat otomatisasi			otomatis	otomatis

Kemampuan Perangkat Keras
Waktu Aktif/Waktu yang tersedia	≧ 95%
Waktu yang berarti untuk membersihkan （MTTC）	≦6 jam
Waktu yang berarti untuk memperbaiki（MTTR）	≦4 jam
Waktu rata-rata antar kegagalan（MTBF）	≧350 jam
Waktu rata-rata antar asisten（MTBA）	≧24 jam
Berarti wafer antara rusak （MWBB）	≦1 dalam 10,000 wafer
Kontrol pelat pemanas	50-250 °

Laporan pengujian

pabrik View

Pengepakan & pengiriman

Profil Perusahaan

Kami memiliki 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami dapat memberi Anda solusi Peralatan Jalur Paket frontend dan back end semikonduktor terpadu dari Tiongkok!