Mesin Pembersih Wafer Chip Tunggal Otomatis Lengkap Pembersih Wafer
Fitur mesin
Kavitas tunggal, dua kavitas, dan empat kavitas Kemampuan proses yang kuat, mampu mendukung aplikasi seperti Wafer Start dan pembersihan proses Konsistensi baik dari teknologi antar chip peralatan
Bidang Aplikasi
Penghilangan partikel permukaan pada wafer berbasis silikon dan senyawa berbasis 4-8 inci
Parameter Teknis
kavitas sikat ukuran 4 inci, 6 inci, 8 inci Kecepatan Spinner hingga 4000RPM Kamar sikat Dual Arm, tersedia dalam metode Brush, AS, JET, Megasonics cleaning Dapat mendukung fungsi pembersihan cair
Unit LoadPort, unit pemuatan
LoadPort adalah unit pemuatan dari perangkat ini
Mampu melakukan Wafer Mapping Dilengkapi dengan deteksi Wafer slide
Unit Transfer Robot
Robot Dual Blade, opsional dengan jenis mata pisaunya vacuum atau tray.
Unit Penyelarasan dan Pembalikan
Dapat menyelaraskan dan menemukan tepi datar Wafer dapat dibalik untuk membersihkan bagian belakang kristal
Unit Sikat
Jumlah Lengan Sikat * 2 Penanganan Wafer: Tipe Chuck clamp atau tipe hisap Sikat, mode pembersihan AS, JET, Megasonics, mendukung pembersihan farmasi
1. Mendukung input dan output Wafer secara simultan, serta mode input A dan output B 2. Dapat mendukung menyikat bagian depan kamar A dan bagian belakang kamar B 3. Dapat mendukung pembersihan paralel dua kamar
Deskripsi unit sikat
Seperti yang ditunjukkan pada gambar Wafer tetap terpasang di atas Spinner
Lengan1&Lengan2 dapat digunakan bersamaan dengan berbagai metode menyikat yang telah dijelaskan sebelumnya untuk membersihkan wafer.
Setelah dibersihkan, Spinner berotasi pada kecepatan tinggi untuk memutar dan mengeringkan wafer
Unit Penyelarasan dan Pembalikan
Wafer dapat digunakan untuk tujuan perumahan dan leveling
Wafer dapat dibalik
Ukuran peralatan: 160x150x220 (mm) Metode muat dan lepas: masuk dan keluar sama & A masuk dan B keluar Jumlah unit sikat: 2 Mode sikat: Sikat, AS, JET, Metode pembersihan Megasonics, mendukung pembersihan farmasi
Packing & Pengiriman
Profil Perusahaan
FAQ
1. Tentang Harga: Semua harga kami bersaing dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.
2. Tentang Sampel: Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin perlu membayar beberapa biaya.
3. Tentang Pembayaran： Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar uang muka kepada kami terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai menyiapkan barang. Setelah peralatan siap dan Anda membayar sisa pembayaran, kami akan mengirimkannya.
4. Tentang Pengiriman: Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan video penerimaan kepada Anda, dan Anda juga bisa datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.
5. Pemasangan dan Penyesuaian: Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirim insinyur untuk memasang dan menyesuaikan peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.
6. Tentang Garansi: Peralatan kami memiliki periode jaminan selama 12 bulan. Setelah periode jaminan berakhir, jika ada suku cadang yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan memungut harga pokok.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
