Teknis parameter | Mode pengukuran | PSI/VSI/kedalaman bidang super/bidang terang |
Bidang pandang pengukuran tunggal (lensa objektif 20×) | 500*350μm (jahitan otomatis) | |
Penyesuaian sudut | Panduan ±12° | |
Penyesuaian sumbu Z | 20mm listrik + 50mm manual (mekanisme penyesuaian kasar dan halus) | |
Rentang pemindaian longitudinal | 0-10mm | |
Resolusi longitudinal | <0.2nm | |
Pengulangan pengukuran kekasaran longitudinal | 0.01nm (modus PSI) | |
kesalahan indikasi tinggi langkah pengukuran | <0.75% (modus VSI) | |
Resolusi lateral: @550nm | 0.69μm (lensa objektif 20×) | |
Reflektivitas sampel yang dapat diukur | 0.1%-100% | |
Waktu pengukuran | <5 detik (modus PSI) | |
Fungsi analisis | Fungsi analisis | Pengukuran tinggi 3D, analisis kekasaran 3D, pengukuran dimensi 2D |
Keluaran data 3D | Data titik awan 3D, data gambar skala abu-abu, laporan khusus |
Pembesaran objektif | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Bukaan numerik | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Resolusi optik @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Kedalaman fokus (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Jarak kerja (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi Undang-Undang