Af hverju er nauðsynlegt að fjarlægja photoresist?
Eins og kunnugt er er photoresist kjarnaefnið í framleiðslu á hálfleiðara oblátum. Í framleiðslu oblátaframleiðslu er ljóslitafræði um það bil 35% af heildarframleiðslukostnaði við oblátur og eyðir 40-50% af öllu oblátuferlinu, sem gerir það að mikilvægasta ferlinu í hálfleiðaraframleiðslu.
Ómissandi skref í ljóslitafræðiferlinu er að fjarlægja ljósþolið úr skúffunni. Eftir að hafa lokið ferli mynsturafritunar og flutnings þarf að fjarlægja ljósþolið sem eftir er á yfirborði skífunnar alveg.
ICP plasma fjarlæging ljósþols
ICP plasma photoresist flutningsvélin samþykkir háþéttni, lítinn skaða plasma uppsprettu hönnun og er búin þroskaðri fjarlægri ICP tækni til að ná háu stigi af photoresist fjarlægingarhraða og skaðabælingu; Samþykkja sjálfstæða hönnun hólfsbyggingar til að ná samræmdri dreifingu flæðisviðs og framúrskarandi einsleitni við að fjarlægja ljósþol.
Vöru kostir:
● Samhæft við almenna 4-8 tommu hringlaga diska
● Getur unnið tvær oblátur í einu og haldið lægra hitastigi meðan á vinnslu stendur
● Mikið sjálfvirkni, að ná fullkomlega sjálfvirkri hleðslu og affermingu obláta, hreinsunarferli
● Hár plasmaþéttleiki, góð fjarlægingaráhrif ljósþols
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Höfundarréttur © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Allur réttur áskilinn
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
Nei
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
