Reactive ion etsing Framleiðandi og birgir í Kína - Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hvarfandi jónaæting

Reactive ion etsing hljómar eins og ógnvekjandi hugtak, en það er í raun aðferðin sem fólk notar til að búa til litla bita fyrir tækni í brunch-stærð. Þessir smáhlutir eru lykilefni í fjölmörgum tækjum sem notuð eru daglega eins og snjallsíma, tölvur o.s.frv. Meginhlutverk þessa ferlis er að fjarlægja hluta af efni svo hægt sé að búa til örsmáa og nákvæma bita. Í þessari grein ætlum við að ræða hvað er viðbragðsjónaæting - jákvæðar og neikvæðar hliðar á því að vinna með RIE samanborið við aðrar aðferðir við plasma-efnameðferð; hlutverk plasma efnafræði í þessu ferli; hvernig hægt er að ná hágæða árangri með því að nota RIE búnað á réttan hátt og að lokum hvar hann tekur sinn stað sem tæknitólreadcrh xvv.

Reactive ion etsing er flókin aðferð sem felur í sér örsmáar jónir og gas til að flísa burt efnisbúta. Hugsaðu um það sem kraftmikinn úða sem valdi að sprengja efni í burtu til að mynda nákvæma lögun. Það felur í sér að sprengja þessar jónir á yfirborð efnis. Þegar jónirnar snerta efnið bregðast þær við því og brotna í litla bita sem hægt er að fjarlægja. Þú setur efnið í eins konar kassa sem er alveg lokaður og laus við loft, kallað tómarúmhólf. Þessar litlu agnir verða til með útvarpsbylgjuorku, þar sem þær búa til jónir.

Kostir og takmarkanir þess að nota hvarfgjarna jónaætingu umfram aðrar ætingaraðferðir

Viðbragðsjónaæting er ein sú besta þegar kemur að smáatriðum. Þetta þýðir að það getur framleitt horn- og bogadregna eiginleika með mikilli nákvæmni, en það er gert með gasi frekar en að nota vökva. Það þýðir að hlutarnir sem búnir eru til með þessari aðferð eru bókstaflega hæfir í tækninni [1]. Einnig er þetta einn af fljótustu ferlunum; hægt er að framleiða fleiri hluta á stuttum tíma. Þar sem þetta ferli er svo hratt getur það verið mjög skilvirkt fyrir fyrirtæki með mikla eftirspurn eftir tilteknum hluta.

En viðbragðsjónaæting hefur líka vandamál. Það er ekki hentugur fyrir allar tegundir af efnum þar sem sumar mismunandi tegundir munu ekki geta fengið þessar leysirskurðir. Og það krefst þess að viðeigandi hitastig og þrýstingur sé á staðnum. Rétt skilyrði þurfa líka að vera til staðar, annars gæti nýja ferlið ekki skilað sér eins vel. Eini gallinn er sá að það getur verið kostnaðarsamt að koma á því miðað við aðrar ætingaraðferðir, sem geta hindrað sum fyrirtæki frá því að nýta sér dufthúð.

Hlutverk plasmaefnafræði í hvarfgjörnu jónaætu

Mikilvægur staður er upptekinn af plasma efnafræði í ferli hvarfgjarnra jóna ets. Þessar jónir sem myndast af plasma valda því að efnatengi efnisins brotna í sundur, sem leiðir til skurðar. Þegar tengslin hafa rofnað sundrast efnið í smáhluta sem fljúga svo í burtu með gasstraumi. Það sem verður til við efnahvörf getur haft áhrif á tegund gass sem notuð er. Til dæmis getur köfnunarefnisgas veitt snyrtilega ætingu sem gerir kleift að fjarlægja efni án þess að skilja eftir óæskilegar leifar á meðan súrefnisgas veitir mismunandi tegund af ætingu sem gæti hentað eftir þörfum.
Aðferðir til að ná hágæða ætarárangri með því að nota hvarfgjörn jónaætingu

Öflug ferlistýring er mikilvæg til að ná góðum árangri með viðbragðsjónaætingu. Þetta krefst þess að mæla margar breytur, þar á meðal hitastig, þrýsting, gasflæði og jónaorku. Stöðugt umhverfi stuðlar að stöðugum, fyrirsjáanlegum niðurstöðum í ætingarlínu. Ef einni af þessum breytum er ekki stjórnað á skilvirkan hátt gæti það haft áhrif á lokaafurðina. Þar að auki er nauðsynlegt að þrífa efnið og rétta undirbúninginn áður en þú byrjar að æta. Ef allur tíminn hefur farið í að undirbúa efnið sem á að etsa ætti það að skila betri árangri.
Notkun hvarfgjarnra jónaætinga í örframleiðsluiðnaðinum

Dæmi er viðbragðsjónaæting sem almennt er notuð í örfabreiðsluiðnaðinum til að búa til mjög litla hluta fyrir ýmsar tæknigræjur. Eitt af því sem grafen er gagnlegt fyrir er að framleiða örsmá rafrásir, skynjara og örflæðistæki sem eru nauðsynleg nútímatækni. Það er einnig notað til að búa til ör-rafmagnskerfi (MEMS) sem eru lítil tæki sem geta bókstaflega séð, heyrt, fundið og hreyft hluti eina sameind í einu. Þessi ng MEMS eru notuð í mörgum forritum: allt frá litlum tækjum eins og snjallsímum til stærri verkfæra og jafnvel lækningatækja. Meðal þessara ferla gegnir viðbragðsjónaæting mikilvægu hlutverki þar sem það getur búið til örsmáa og nákvæma eiginleika sem þarf fyrir svo háþróaða tækni.