Háður fíngrannsóknarferli á meðan Chemical Mechanical Planarization CMP ferli , China Háður fíngrannsóknarferli á meðan Chemical Mechanical Planarization CMP ferli Manufacturers, Suppliers, Factory

Vöruskýring

Mikil nákvæmni Tæki fyrir kjemiþverkvæði (CMP)

Nákvæmt CMP-tæki nálgast hraðan aftekning óþarfa efna á ytra flötum plötublástaka og alheims planaður á nanóskala með samvirkni kjemíska úrrosnar og þverkvæða grindunar.

Margliðugt kjemisk skipulagstæki, sérstaklega útfært fyrir CMP- og skírsluafgerðir sem krefjast strengs rúmfræðilegri nákvæmni og flötugleika, getur náð niðrstöðum á undir-nanómetrarstigi Ra.

Þessi tæki getur framkvæmt nákvæma pólsingarferli á nanometerstigi fyrir einstaka mölur, og líka pólst þunnum blaðum með þvermál upp að 8 colíma. Aðgerðin er líka hentug fyrir óvenjuleg pólsingarnotkun eins og harða grunnþéttapólsingu, Epi ytra forystu og bættingu í atvinnu af krúsum.

Á móti því að viðbúa CDP runan til mismunandi efna og ferlaforlaga, snúast teknikar um að snúst við og rita samsvarað pólsingarmynd eftir notandaefni til að nálgast nákvæma CMP ferlag. Vinstri mynd sýnir umbreiðslu ennar enigar plötunar með þvermál 8 colíma.

Á móti því að ganga úr skugga um nákvæma mælingu og stjórnun plötanna eða tækja sem eru pólst á CDP tækinu, höfum við rannsakað EPD kerfi, sem notkunarmyndin sem var viðbúin til CDP skenningargrafíkur ferillar á netborðum. Þessi forritvirking athugar og lýsir grafískt pólsingarferlinu og stoppar sjálfkrafa þegar endipunktur hefur verið náður.

Forða ofþjálflegt fagning. CDP skenning getur líka virkað sem tryggingaratriði. Ef breytingar eru uppgötvanar í einhverjum yfirvakaða ferli, mun CDP Scan lækka hljóðværingu til að forða ofþjálflegt fagning. Dæmi um þetta eru breytingar á hraða bæjarins frá forsenta gildinu. EPD kerfið mun athuga þessa stöðu því smásævarstiginn milli padarinnar og fagnunarmaterialins verður að breytast við breytingar á hraðu bæjarins, sem gæti áhrifð þeirra á fullnægjandi planarkynningu platanar/C. Í þessari punkti mun EPD kerfið lækka hljóðværingu áður en fjarlægja tengilinn af flatarmyndarskinni, eða hann getur verið stilltur á sjálfvirka slökkingu.

ACP kerfið getur betur verið notið í breitt vöru af rökum, og myndin sýnir niðurstöður prófa CMP ferils fyrir silísóxíð, koppar, silín nitrið, alúmín-koppar, silín-germaní, og túngsten.
Myndin sýnir að eftir CMP ferli getur WTWNU náð 2,82%.

Tölvufyrirlestur

Planarkynning silísplata
II-V samskeytt planarkynning
Jafning oxíða
Jafning af eftirliggjandi hlutaf gerðar frá fjarsýnarmateriali
Jafning safír, gallíum nitrið og silís karbid eftirliggjandi hluta, EPI eftirliggjandi hlut jafning
Þunðun SOS og SOI plötur til neðan 20 mykrometrar
Hlutgerður ummyndun eða FA forsendur

Stafrænir

Virkjunarsupply	220v 10A
Wafer stærð	4”/100mm 6”/150mm 8”/200mm 12”/300mm
Virkandi skiver þvermál	520mm, 780mm
Virkandi skiver hraði	0-120snm
Hraða fæstils	0-120snm
Sveifluþéttleiki fæstils	0-30spm
Bakdráttur á wafri	0-150psi
Dráttur við miðpunkt wafers	0-50psi
Tímasett tími	0-10 k
Framkvæmislína	≥2
Framkvæmdahrað	0-150ml/min

Pakking & Afhentun

Fyrirtækisupplýsingar

Minder-Hightech er sölu- og þjónustufræði fyrir tækifæri í rafmagns- og elektróníusviðfanginu. Áður en 2014, var fyrirtækið áhugavert við að borga viðskiptavinum bestu, fullyrðilegu og einnig alls konar lausnir fyrir tækin.

Algengar spurningar

1. Um verð:
Allt voru verð eru einkenni og samþætta. Verðið breytist eftir því hvað konfigúrúnin er og hvernig flóknari sé sjálfstætt fyrir tækið.

2. Um úrtak:
Við getum boðið úrtaksframleiðsluþjónustur fyrir þig, en þú ætlar að greiða einhverja gjaldmiður.

3. Um greiðslu:
Eftir að planið er staðfest, þarftu fyrst að greiða ábyrgð og þá byrjar viðskiptavinurinn á að forða vöru. Eftir að
verkfangið er klárað og þú hefur greiðið eftirlögum, sendum við það.

4. Um sendingu:
Eftir að framleiding tækisins er lokið, sendum við þér athugunarmyndsband, og þú getur líka farið á staðsetninguna til að skoða tækið.

5. Uppsetning og ferning:
Eftir að tækjaskipulag er komið í verkstæðina þína getum við send haustverkamenn til að setja upp og athuga tækið. Við munum bera ykkur til áskrift fyrir þessaþjónustukostnað.

6. Um vöruverja:
Tækjam okra 12 mánaða tryggingartímabil. Eftir tryggingartímabilið, ef einhver hluti er brotinn og þarf að skipta út, munum við aðeins kenngjá kostprísið.