MDLB-MC200 Photomask cleaner , China MDLB-MC200 Photomask cleaner Manufacturers, Suppliers, Factory

MDLB-MC200

Ljósmyndaskerðingarklárarstofnun

Cleaning eining:

Þversnúðarhólf er ferst með rjúfubrestaustum efnum, sem hafa slættara vellir og eru auðveldar að stofna. Þar er leitarslit á botninu af innri hólfi, sem notar grafgildi til að leyta út óskiljanlega líki í rafsrýni leitarleitarslóða. Í innri hólfinu er uppsugningarslit, sem getur fengið úr hólfinu þann hlut sem er þarna inni. Með 3 sjálfvirkum svangahöndum er hægt að nálgast sjálfvirk stofnun.

Uppsetningaráttferðatöfla:

- Nei, ekki.	Verkefni	Sérstöðu	Athugasemdir
1	Yfirlit yfir tæki	Tækjaheiti: Ljósþungu stofnari
		Tækipróf: MDLB-MC200
		Almenningar stærðir (þekkt): 1300mm (B) * 1000mm (L) * 1950mm (H)
		Heildarvegur tækkisins (þekkt): 300KG
		Staðsetningartöflur: 900 ± 50mm
		Grundstæður stærðir: viðeigandi fyrir 2/4/5/6/8 colli ferninga maska plötur
		Verkfæri flæði: handvirkt setja upp wafers → stofnun (børð, stofnunarlausn → hátryggt vatn → megasona vatn → afionized vatn → kólníll gas drafning) → handvirkt fjarlægja wafers
		Tækjategund: hálfátt, handvirkt hlaða og úthlaða
2	Tækjagerð	Skál: rústalaus stál, slættur, mótvaranlegur, auðvelt að þykkja
		Þykkingarherbergi: PP, slættur, mótvaranlegur, auðvelt að þykkja
		Vatnslína: notuð er PU/PFA vatnslína
		Vinna ljósi: mótvaranlegt gult ljós
		Opnunargát: tvöfaldar durum með varp á opnun
		Rýringarskjár: 10 töflu fullt litagett rýringarskjár * 1
		FFU: Flokki 100
		Lækka botnstöðva: tiltæk
3	Há stöðugur servo-móturr	Fjöldi: 1
		Hraði: -3000~3000rpm	Tóm fyrir hlaup
		Hæsta hröðun á spindlum: 3000rpm/S	Tóm fyrir hlaup
		Hraðanauðkynning: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Hraðulysing: 1rpm
4	Svæfnumari sjálfvirkur	Fjöldi: 3
4	Svæfnumari sjálfvirkur	Hraði svæfnums: 1~30 °/S
5	Þyðingaraðil	Þyðingarsvæfn: 1 slefi af ójónaðsvatni, 1 slefi af kúlþungahiti Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 háþrýst vatn Borðslefa: 1 borð, 1 vatn, 1 þyðingalausn
		Þyðingaraðferð: sjálfvirki þyðing
		Ójónaðsvatnsdráttargerð: tiltæk
		Úfisk (ójónaðsvatn): 1 leið
		Forsendugerð: Þyðingalausn: Membránpumpe Ójónaðsvatn: birt beint af verkfanginu
		Þrýstingartankur með líkvamstjái
6	Borðabursta	Magn: 1 (með sjálfvirkri hreinsunargervi)
		Hraði: upp á 1000rpm, víxlhraða
		Hæð handvirkt víxlbara
7	Bætur fyrir hlutana	Magn: 5
		Efni: PPS + rjúpastaður stál
		Stærð: Svið fyrir 2/4/5/6/8 tomma ferningsskygguborð
		Gervi til að fastsetja grunnþéttina: Klóagervi
8	Stjórnkerfi	Stjórnkerfi: notar PLC stjórnun
		Forrit: 100 hópar, hverur hópur bestið af 100 skrefum, með hámarksskrefatíma á 3000.0 sekúndur Upplausn: 0.1S
		Það er hægt að vista forritið, kalla það fram, breyta því og eyða því
		Stilltu afslóðarréttindi: fyrir tímarafærismenn, verktakendur, stjórnenda og gerðara á sama tíma
		Távutökuþýsti: rauður, gulur, grænn 3 litir