Aligner / Alignment Machine photolithography , Kína Aligner / Alignment Machine photolithography Framleiðendur, birgjar, verksmiðja

Vörulýsing

Mask Aligner Lithography Machine

Mask Aligner er aðallega notað í þróun og framleiðslu á smærri og meðalstórum samþættum hringrásum, hálfleiðaraíhlutum, ljósabúnaði, yfirborðshljóðbylgjubúnaði, þunnfilmurásum og rafeindabúnaði.
Mask Aligner Einnig þekktur sem: grímustillingarútsetningarvél, lýsingarkerfi, steinþrykkkerfi osfrv., Er kjarnabúnaðurinn til að framleiða flís. Það notar tækni sem líkist ljósmyndaprentun til að prenta fínu mynstrin á grímunni á sílikonskífuna með ljósi
Aðallega samsett úr: vinnubekk fyrir nákvæmni röðun, sjónauka aðskilið sjónsvið lóðrétt smásjá, sjónauka aðskilið sjónsvið lárétt smásjá, stafræn myndavél, tölvumyndaminniskerfi, fjölpunkta ljósgjafa (fluguauga) lýsingarhaus, PLC stjórnkerfi, pneumatic kerfi, lofttæmikerfi, beintengd lofttæmisdæla, auka titringsvörn vinnubekkur og aukabúnaðarbox

Aligner / Alignment Machine photolithography framleiðsla

Aligner / Alignment Machine photolithography verksmiðja

Einkennandi

1. Hár einsleitni flugu-auga útsetningarhaus / loftflotjöfnunarbúnaður / áreiðanleg lofttæmandi útsetning. hár upplausn.
2. Aðlaga aðferð með grímu halda stöðugri og undirlagsfóðrun, sem tryggir samkvæmni leiðarþyngdaraflsins og kraftsins.
3. Notaðu billausa beina leiðara, mikla nákvæmni, hraðan hraða.
4. Öll gerð sem hentar til að vinna með öllum venjulegum ljósþolnum. eins og AZ, Shipley, SU 8.
5. Öll gerð Mynsturgæðin sem kerfið flytur yfir á undirlag 5 grímunotkun ætti að vera sú sama og mynsturgæði eftir beitingu fyrstu grímunnar.
6. Lýsingartími stillanlegur á milli 1 sekúndu og 1 klst. Jöfnunarnákvæmni 1 µm

Aligner / Alignment Machine photolithography birgir

Aligner / Alignment Machine photolithography upplýsingar

Specification

Gerð	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Tegund útsetningar	Ein hlið			Tvöföld hliðarstilling og tvöföld hliðarútsetning
Lýsingarstilling	Hafðu samband við harða, mjúka og snertilausa nálægð
Magn lýsingarhöfuðs	1 Útsetningarhaus			2 Útsetningarhaus
Gerð ljósgjafa	GCQ350 kúlulaga kvikasilfurslampi						LED UV útsetningarhaus
kælingu aðferð	loft kælingu
Útsetningarsvæði	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm × 150mm
Lýsingarstilling	Samhæft við snertingu hart, mjúkt
Ójafnvægi í lýsingu	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Lýsingarupplausn	2μm	1 μm
Geislastyrkur (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0~30mw/cm2
Ójafnvægi geisla	≤ ± 4%	≤ ± 3%
UV ljós hámarks frávikshorn	4 °	3 °
Ljósasvið	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Framan og aftan ≥ Φ115mm
Fleygvillubótastilling	Hálfkúlulaga sjálfvirk jöfnun			Sjálfvirk brotthvarf		3 punkta sjálfvirk bætur
Ferðalag X og Y ásanna	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 mm
Ferðalag θ	± 3 °	≤5 °	≤±5º		≤0.5 °
XYZ undirlag tilfærslu upplausn	0.5μm	0.3μm	0.3μm		0.01μm
Smásjá kerfi	Tvær smá tunnu smásjár / Tvær CCD myndavélar
sýna stærð	15 cm
Upplausn myndkerfis	2μm	1.5μm	1.5μm		1.5μm
Gríma og mælingarfjarlægð undirlags	0.5 μm	0.3 μm
Skávídd CCD-markyfirborðs	1/3,（6mm）						40mm ~ 110mm
Stærð útsetningarborðs	≤ Ferningur 5*5 tommur (sérsniðnar upplýsingar)
Stærð undirlags	Φ 100mm eða 100*100mm ferningur	60*49.5mm ferningur	2 ”-4”		1"x1"-5"x5"
Þykkt undirlags	1-3mm	≤ 5 mm	1-3mm		≤ 5 mm
Tómarúm dæla	Olíulaus hljóðlaus (-0.07～－0.08MPα)
Hreint þjappað loft	≥0.4MPα
Power Supply	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Hrein herbergi einkunn	Class 100
Hreint stofuhita	25 ℃ ± 2 ℃
Hlutfallslegur raki í hreinu herbergi	≤60%
Titringsmagn hreins herbergis	≤4μm
Búnaður stærð	1300 × 720 × 1600mm				1500 × 800 × 1600mm
Búnaður þyngd	200kg				280kg

Framleiðsla á hárnákvæmni jöfnunarkerfi þarf að hafa næstum fullkomið nákvæmni vélrænt ferli. Annað tæknilegt vandamál við jöfnunarkerfi er jöfnunarsmásjá. Til að auka sjónsvið smásjár nota margar hágæða steinþrykkjavélar LED lýsingu. Það eru tvö sett af jöfnunarkerfi með fókusaðgerð. Það er aðallega samsett úr tveimur augum og tveimur sjónsviðum sem miða að meginhluta smásjánnar, einu pari af augngleri og einu pari af hlutlinsu (lithography vél gefur venjulega augngler og hlutlæg linsu með mismunandi stækkun fyrir notendur). Hlutverk CCD jöfnunarkerfis er að stækka jöfnunarmerki grímu og sýnishorns og mynda þau á skjánum.

Vinnuhlutastigið er lykilhluti steinþrykksvélarinnar, sem samanstendur af heildarhreyfingarstigi grímusýnisins (XY), hlutfallshreyfingarþrepinu fyrir grímusýni (XY), snúningsstiginu, sýnijöfnunarbúnaðinum, sýnisfókusbúnaðinum. , oblátastigið, grímuklemman og útdraganleg grímustigið. Sýnisjöfnunarbúnaðurinn samanstendur af kúlusæti og hálfkúlu. Í jöfnunarferlinu er í fyrsta lagi þrýstilofti sett á kúlusætið og hálfhvelið og síðan færast kúlusætið, hálfhvelið og sýnishornið upp í gegnum fókushandhjólið, þannig að hægt sé að jafna sýnishornið á móti grímunni og síðan þriggja staða segulloka loki skiptir kúlusætinu og hálfhvelinu yfir í lofttæmi til að læsa til að viðhalda jöfnunarstöðunni.

Minder-Hightech færir þér háþróaða tækni fyrir ljóslithography í gegnum Aligner/Alignment Machine.

Ertu í erfiðleikum með að vera ekki nógu nákvæmur þegar þú prentar rafrásir á rafrænum vörum þínum? Með Minder-Hightech's Aligner/Alignment Machine geturðu hvílt þig með því að vita að þú munt ná hágæða nákvæmni í framleiðslu á prentuðu rafrásunum þínum.

Með þessum byltingarkennda hlut er hægt að flytja háupplausn mynd á vöru með því að nota ljóslithögg óaðfinnanlega. Þessi vél tryggir nákvæmni með því að stilla efnið við myndina.

Eftir að myndirnar voru prentaðar og hlaðið upp reiknar vélin út hversu mikið magn af lýsingu þarf og hvernig efnið er stillt saman við að nefna myndirnar. Þessi útreikningur er gerður með því að nota nýjasta tölvuhugbúnaðinn sem hægt er að uppfæra til að mæta tækniþróun í framleiðsluiðnaði.

Það gerir þér kleift að búa til breitt úrval, þar á meðal örrásir, útvarpsbylgjur (RF) og innbyggðar hringrásir. Einingin getur framleitt bestu ætingardýpt, sporbreidd og lag á lag með því að bæta við ýmsum viðbótaraðferðum, svo sem efnaætingu og rafhúðun.

Kostur vörunnar okkar liggur í getu hennar til að framleiða mikla jöfnun, sem tryggir að mynstur eru staðsett af mikilli nákvæmni á efninu. Þú getur á þægilegan hátt prentað margar flóknar hönnun án nokkurra aflaga.

Það er notendavænt, fyrirferðarlítið og skilvirkt, sem gerir það hentugur fyrir ýmsar framleiðslustöðvar eða stærð fyrirtækis. Að auki fylgir tækinu okkar handvirkt viðhald og þjálfun á staðnum með teymi okkar tækniaðstoðarfólks.

Aligner/Alignment Machine frá Minder-Hightech notar ljóslitatækni til að hjálpa þér að ná sem bestum árangri á meðan þú prentar hringrásina þína. Upplifðu nýtt tæknistig sem býður þér mikla nákvæmni og nákvæmni sem ekki jafnast á við hefðbundnar prentaðferðir. Aligner/Alignment Machine Minder-Hightech er það sem framleiðslufyrirtækið þitt þarf til að vera skrefi á undan samkeppnisaðilum. Hafðu samband við okkur í dag til að njóta góðs af bestu Aligner/Alignment Machine tækni á markaðnum.