Jöfnunarverk fyrir myndlitografíu , China Jöfnunarverk fyrir myndlitografíu Manufacturers, Suppliers, Factory

Vörumerking

Mask Jöfnandi Lithography Vél

Mask Jöfnandi er aðallega notuð í þróun og framleiddingu af smám og miðlum samsettu hringum, rafmagnsþættum, ljósrafmagns tækjum, yfirborðs hljóðtækjum, þinnfilmshringum og völdrafrænum tækjum
Mask Aligner Kennarheiti: mask alignment exposure machine, exposure system, lithography system o.s.f., er grunnvöruverkfæri fyrir framleiddingu af kjapum. Það notar tekník sem lýkur myndprentun á að prenta smá mönun á maskann á silíciumplötuna með ljósi.
Fornæmislega sett saman af: háþróaðri stillingarbordi, tvíblikar fráskilin skoðunarummör vertikalur mikroskop, tvíblikar fráskilin skoðunarummör horisontalur mikroskop, tölfræði kamera, tölvu myndgagnasafn kerfi, margföld punkt ljóðlys (fly eye) ljósprentunarköpp, PLC stjórnunarkerfi, flugkerfi, vacuum kerfi, beint tengt vacuum púmpe, annarri þraut viðdjarrabord og viðbótarskrá.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Eiginleiki

1. Há jafnaflækja fly-eye ljósprentunarköpp / loftflutningur stillingarmechanismus / treystileg vacuum fastening ljósprentun. há upplausn.
2. Samskiptamáti með maska til að halda stöðugt og efni innflutning, sem vistar samstöðu leiðarþyngd og Kraft.
3. Notkun á billausum réttri leið, háþróað, hraðarhast.
4. Allar gerðir hentar að vinna með öllum stöndum fotoresists. Skaða AZ, Shipley, SU 8.
5. Allar gerðir. Gæði myndar sem flytt er af kerfi í grunnþátt 5 masku notkun skyldi vera sama og gæði myndar eftir notkun fyrstu masku.
6. Ljósstundin er breytanleg milli 1 sekúndu og 1 klukkustund. Jafna nákvæmni 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Stafrænir

Líkan	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Ljósvísir tegund	Eina hlið			Tveggja hliðir jafning og tveggja hliðir ljósvísir
Ljósnefnismóður	Hart, mjúkt og ekki hart nálægt
Fjöldi ljósnefningarhöfuða	1 Ljósnefningarhöfuð			2 Ljósnefningarhöfuð
Gerð ljóssólar	GCQ350 kúluleg kviksilampa						LED UV ljósnefningarhöfuð
Kælingaraðferð	Loftkæling
Ljósnefningsvöruð	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
Ljósnefnismóður	Samhæfislegt með aukin hárð, mjúk
Újafna í ljósstyrk	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
Lausn á ljósi	2μm	1 μm
Ströngd stráls (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Ójafnvægi straumar	≤±4%	≤±3%
Stærsta frávik horn UV líða	4°	3°
Ljósframsenda	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Frami og bak ≥ Φ115mm
Útgæfuskipting á skekkju	Hálfsfæra sjálfvirkt samþætting			Sjálfvirkt fjarlægning		3 punktar sjálfvirkt samþætting
Færsla á X og Y ásnum	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
Ferð θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
Upplausn færslu XYZ-bunana	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Mikroskópkerfi	Tvö enni mikroskópar / Tvær CCD myndavélar
Sjónvarpastærð	15 tomma
Myndgerðarkerfi upplausn	2µm	1,5µm	1,5µm		1,5µm
Mælingarafstandur máskar og grunnþvers	0,5 µm	0,3 µm
Lágvídd CCD-maðursflötus	1/3,（6mm）						40mm～110mm
Stilling stærðar viðborðs	≤ Ferkassi 5*5 tommu (Tillagbarar stærðir)
Stærð snúða	Φ 100mm eða 100*100mm ferkassi	60*49.5mm ferkassi	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Þykkleiki snúða	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
tómavafur	Olli laus hljóðlaus (-0.07～－0.08MPα)
Hrein þrýstingarloft	≥0.4MPα
Virkjunarsupply	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Hraða hús klasa	Klasi 100
Hitastig í hraða húsi	25℃±2℃
Samanhengur fjarvistur í hraða húsi	≤60%
Þrengsluamplitúð í hraða húsi	≤4μm
Stærð tækja	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Vigt búnaðarins	200kg				280kg

Framleiðsla háþróaðra samstillunarkerfa krefst aðeins næst fullkomin rafræn fjármálshandfæri. Annar tekninn vandamál samstillunarkerfa er samstillunarmikroskop. Til að bæta yfirhorpunargildi mikroskop, notast margir háendur prentamöður við LED ljósi. Það eru tvö samstillunarakerfi með fókusfalli. Það bestendur hluti af tveimur augum og tveimur yfirhorpunargildum sem marka mikroskopkhryssann, eitt par skoðanarglasas og eitt par hlutglasas (prentamöður býður oft skoðanarglasi og hlutglasum með mismunandi stærðfjölda fyrir notendur). Verkmennt CCD samstillunarakerfa er að stækka samstillunarmörk máls og sýna þau á skjánum.

Vinnsluborðið er nýkur hluti lithography-verksins, sem bestar í máskuborði fyrir heildarhreyfingu (XY), másku-prófstika-relatíva hreyfingu (XY), snúningaborði, jafnborði prófstikunnar, fókusborgunni prófstikunnar, vafra-borði, másku-fæðingunni og útfluttu máskuborðinu. Jafnborðið bestar af kúluseði og hálfhring. Á meðan að jafna verður, er fyrst ýtt luft á kúluseðið og hálfhringinn, svo hreyra kúluseðið, hálfhringurinn og prófstikillinn upp með fókushjólum, svo að prófstikillinn mæti jafnaður við máskuna, og síðan skiptir tvær staðsetningar þrífjarlögsluvalsin um í töpu til að læsa kúluseðið og hálfhringinn til að halda jafnunarstöðu.

Minder-Hightech býður þér fremri teknologi fyrir ljósgrafíu með því að nota samstillara/samstillingarverk.

Er þér erfitt að fá nægilega nákvæmni við að prenta hringslóð á elektrónskum völlum? Með Minder-Hightech's Aligner/Alignment Machine geturðu komist að háttæku nákvæmni í framleiðslu prenttraða.

Með þessari uppruni eruðu í staðbundið að flytja yfirstæð mynd upp á vörulagið með félagi. Þessi vél varlar nákvæmni með stýringarkerfi sem samstillir stofnviðmyndina við myndina.

Eftir að myndirnar hafa verið prentar og hlaðið upp, reiknar vélin út hversu mikið afbrigð er kraftrið og hvernig stofnlagið er samstillt við myndirnar. Þessi reikningur er gerður með nýjustu tölvuverkefnum sem má uppfæra til að halda fram með teknologyrðum framtíðarframleiðslu.

Það mun leyfa þér að gera breið fágafla, meðal annars mikravirkja, radiofrekvens (RF) víttir og innbyggðar líkanir. Einheitin getur útbúið besta skurðdjupið, sporbreiddina og jöfnun milli laganna með því að bæta við mörgum samfylgjandi aðgerðum, eins og keðjuhræðslu og rafræna platingu.

Forsóknarverkjamál okkar er í því að það getur búið til há hraða jöfnun, sem vísar á að snið eru staðsett með mikið af nákvæmni á efnum. Þú getur auðveldlega prentað margar flækjustu útlitseffektivt án einhvers afsmáta.

Það er notendaveitt, smjörugt og nýtsælt, sem gerir það eignlegt fyrir mörg tegundir af framleiðslusmiðum eða stærð firmannar. Auk þess kemur tækjan okkar með handvirka viðhald og staðbundið kennslu með lið okkar af rannsóknarstarfsmönnum.

Minder-Hightech's Jöfnunarverkfræði notar ljóðrænntækni til að hjálpa þér að ná bestu niðurstöðum við að prenta hríðarnar. Njótaðu nýs skemmtilegri teknologi sem býður þér hárþekkingu og nákvæmni sem ekki er hægt að samanstotta við traðar prentunaraðferðir. Minder-Hightech's Jöfnunarverkfræði er það sem framleiðslufyrirtækið þitt þarf til að vera á framan við viðskiptavinana. Hafðu samband með okkur í dag til að njóta góðinga frá bestu jöfnunarverkfræðiteknologunni á markaðinum.