Sjálfvirk CMP Post Clean, Kína Sjálfvirk CMP Post Clean Framleiðendur, birgjar, verksmiðja

Vörulýsing

Hreinsibúnaður eftir Wafer Chemical Mechanical Polishing

CMP Post Chean

Vélbúnaður

Sterk vinnslugeta
Tveggja hólfa burstun, með fjölbreyttu vinnsluferli
Búnaðurinn tekur lítið svæði, með mál 2200 * 800 * 2200 (mm)

Umsóknarvellir

6-8 tommu CMP eftir burstun
Þrif eftir mala SIC eða önnur undirlag

Tæknilegar breytur

Þrif eftir 4 tommu og 6 tommu CMP
Tvö hólfa hönnun, sjálfstæð aðgerð í hólfinu. Bleytið inn og þurrkið eða þurrkið inn og þurrkið út
Háhraða snúningsþurrkur SRD

LoadPort eining, hleðslueining

LoadPort er hleðslueining þessa tækis

Fóðrun á blautum kassettum
Hefur úða rakagefandi virkni

Burstaeining, þvottahreinsieining

Tvöföld hólfa eining, fær um að styðja við tvær mismunandi hreinsilausnir
Burstunarstöðuna er hægt að stilla í samræmi við uppskriftina Belt færibandið

SRD eining, Wafer þurrkun eining

Snúningsþurrkun á vafraklemma, með hámarkshraða 4000 RPM
Getur framkvæmt AS hreinsun á fleti yfirborðs og úðað DIW

AFLAÐA eining, skurðareiningu

UnLoad einingin hefur sjálfstæða FFU til að tryggja hreinleika oblátaúttaks

FÃ

Blautsvæði er færiband

Þurrt svæði fyrir fjarflutning vélmenna

Lýsing á burstaeiningu

Eins og sést á myndinni til vinstri samanstendur burstaeining þessa tækis af tveimur burstaeiningum, nefnilega BU1 BU2.

Hægt er að stilla burstaþrýsting hverrar einingu sérstaklega (eins og tilgreint er í uppskriftinni), og hverja burstablaðseiningu er hægt að þvo með mismunandi efnahreinsilausnum sérstaklega.

Bursti vélarinnar samþykkir PVA bursta, sem er algeng tegund á markaðnum.
Flutningur milli holrúma er færiband. Það er DIW RINSE inni í holrúminu

SRD eining

SRD einingin er búin klemmu CHUCK og AS ARM, sem getur frekar líkamlega hreinsað og snúið þurrkað yfirborðið.

Specification

Stærð búnaðar:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Fermingar- og losunaraðferðir	þurrka inn/blauta inn/þurrka út
Fjöldi burstaeininga	2
Fjöldi SRD eininga	1
Flutningsaðferð	Flutningur á blautu svæði, vélmennaflutningur á þurru svæði
Stærð búnaðarins með burstahólfi 1 er 1850 * 800 * 2200

Pökkun og afhending

Company Profile

FAQ

1. Um verð:
Öll verð okkar eru samkeppnishæf og samningsatriði. Verðið er breytilegt eftir stillingum og aðlögunarflækjum tækisins þíns.

2. Um sýnishorn:
Við getum veitt sýnishorn framleiðsluþjónustu fyrir þig, en þú gætir veitt einhver gjöld.

3. Um greiðslu:
Eftir að áætlunin hefur verið staðfest þarftu að greiða okkur innborgun fyrst og verksmiðjan mun byrja að undirbúa vörurnar. Eftir að
búnaður er tilbúinn og þú borgar eftirstöðvar, við sendum það.

4. Um afhendingu:
Eftir að búnaðarframleiðslu er lokið munum við senda þér samþykkismyndbandið og þú getur líka komið á síðuna til að skoða búnaðinn.

5. Uppsetning og villuleit:
Eftir að búnaðurinn kemur í verksmiðjuna þína getum við sent verkfræðinga til að setja upp og kemba búnaðinn. Við munum veita þér sérstaka tilvitnun fyrir þetta þjónustugjald.

6. Um ábyrgð:

Búnaðurinn okkar er með 12 mánaða ábyrgðartíma. Eftir ábyrgðartímabilið, ef einhverjir hlutar eru skemmdir og þarf að skipta um, munum við aðeins rukka kostnaðarverðið.