Sjálfvirkur einn platan Wafer kemisk mekanisk pólser Planarization CMP , China Sjálfvirkur einn platan Wafer kemisk mekanisk pólser Planarization CMP Manufacturers, Suppliers, Factory

Vöruskýring

ATOM Single Platen CMP

Eiginleikar tækisins

Skipulagið er flexibelt og getur stutt við margar höfuðskiptingar.
Ferilgæði tæknunarinnar er nálægt þroskoli gæðis af sama stærð sem samkvæmur vöru.
Góð samræmdni á milli ferla á tækjum.

Notkunarsvið

4-8 tumma STI, ILD/IMD, TSV, TGV fagningur og oppervísafagningur af samsetum eins og SiC, LT, LN, GaAs o.s.frv.

Teknisk niðurstöður

4-tummur, 6-tummur, 8-tummur höfuð, fjölbenda stjórnun
Gerð Φ20 tumma 508MM Platen
Hæfni í höfuðstýringu <0.05PSI
Hraðastjórnun fyrir höfuð og Platen <2RPM

1. LoadPort eining

Gátt er hægt að snúa til að sæja Cassette í Qtank, með því að forða myndun Slurry krystalla á
fagnuðu flöt við Wafer. Með Cassette Mapping virkni.

2. Robótamaterialasamningureining

Með 4-ásarroboti, getur sjálfvirkt flytt við flatna frá Cassette yfir í fagningareininguna.

3. Fínmyndunarstofa

Þessi stofa er úrustuð með Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, og EPD endapunktamæling.
hún getur náð sjálfvirkri hleðslu og afhleðslu á wafers, fjölbreyttum head-þjónustu, slurry-
lendingarpunkti breytt eftir reiturstillingum, endapunktamælingu og öðrum aðgerðum.

CMP Fínmyndunarhead

Fínmyndunarheads sem eru settir á þetta tækifæri eru allar óháðlega þekktar, útfærðar og framleiddar af fyrirtækinu okkar.
Í þeim talningum er 4-tolli 3-hólfis head einstaka vörumerki sem fyrirtæki okkar skapaði, með því að fylla bil á Íslensku markaði fyrir engan fjölbreyttan 4-tolli head. Fyrirtæki okkar getur fljótlega breytt eða sérstaklega gerð head eftir eiginleikum vöru viðskiptavinanna. Á þróunartímabili TGV þunnfimmavörublaðs (200um) var innri rúmstilling head breytt til að uppfylla kröfur þunnskera myndunar. Á þróunarleið LN ytra OX myndunartekninar, fyrirtæki okkar djúplega uppruðstígði 6-toll-head og náði fullkomlega uppvið kröfur vöru viðskiptavinanna.

Tilvik

Þættur planaröfungsferli;

TGV/TSV ferli;

Smart Cut og Pre bonding CMP;

SIC grunnþjálfun/gallíumarsenid þjálfun.

Stafrænir

Höfn	Fjöldi * 1, með Q-þanki
Robot	Fjöldi * 1, fyrir skifta af plötum
HCLU	Fjöldi * 1, fyrir sjálfvirk inn- og úthleifingu plötanna
Þjálfunarhöfuð	Fjöldi * 13 hólustjórnun, stýringarhríð nákvæmni á 0.1PSI, getur stuðlað vöndunum á 400-1200 UM plötum.
Hraði afsláningarshöfuðs	5-150RPM
Afsláningardiskur	Fjöldi * 1 Afsláningardiskur Stærð 508mm, Afsláningarpad Hraða 10-150rpm.
Sniðarmúr	Fjöldi * 1 afsláningarpad. Afsláningarpadið getur verið sníðið á línu (samtimis) eða frá línu (eftir afsláningu). Sniðarmúrinn er með sniðarspil, sem getur snúið og fært sér upp og niður, og hraðan og niðurstýringu er hægt að stjóra. Sniðarferillinn er settur á sniðarspilið og er hægt að fjarlægja honum hratt fjarlægð. Eftir því hvaða tegund afsláningarpaða eru, eru mismunandi tegundir dressings ferla stilltar, þar á meðal dressings bür, diamantahringir og diamantadiskar.
UPA pólunargæði flækjastjórnunar eining	Fjöldi * 13Svið stillanlegt fyrir betri flatninguarkáttara á virkisborði
Pólunarvætulíkan pumpi	Fjöldi * 2. Peristaltískar pumpar eru notuð til að bjóða upp á vætu, með tveimur peristaltískum pumpum stillt til að bera ólík tungl til pólunarhrings. Hver pumpa má nota í hvaða skrefi sem er af ferli. flæði Árm
Fjöldi * 1 getur stjórnað landsetningupunktinn á slurry og getur hreinsað pólunarpad.	Virkja stjórnarskráin gætir náð notendalagi stjórnun, eins og starfsmaðurhamur, viðhaldshamur og teknishamur, og hver hamur er stjórnaður með lykilorðum. Kerfisþjónustuvörpunin getur breytt ferlifærslum fyrir hvert ferlistig og flatnar og
Pólunar þunnfilmanns á chipsborði eftir forrit. Það getur skoðað virkjunartilstand kerfa, skoðað various modes are controlled by passwords. The system software can edit the process parameters of each process step and flatten and pólunar þunnfilmanns á chipsborði eftir forrit. Það getur skoðað virkjunartilstand kerfa, skoðað ferlissetningar í rauntíma, og hugbúnaður getur sjálfkrafa geymt ýmislegt ferlagarupplýsingar. Með auðveldum hættuknapp sem er notaður til að stöðva tengsl á rannsóknarefni því miður sem afbrot hefur verið gerst í stjórnunarmát.

Pakking & Afhentun

Fyrirtækisupplýsingar

Algengar spurningar

1. Um verð:
Allt voru verð eru einkenni og samþætta. Verðið breytist eftir því hvað konfigúrúnin er og hvernig flóknari sé sjálfstætt fyrir tækið.

2. Um úrtak:
Við getum boðið úrtaksframleiðsluþjónustur fyrir þig, en þú ætlar að greiða einhverja gjaldmiður.

3. Um greiðslu:
Eftir að planið er staðfest, þarftu fyrst að greiða ábyrgð og þá byrjar viðskiptavinurinn á að forða vöru. Eftir að
verkfangið er klárað og þú hefur greiðið eftirlögum, sendum við það.

4. Um sendingu:
Eftir að framleiding tækisins er lokið, sendum við þér athugunarmyndsband, og þú getur líka farið á staðsetninguna til að skoða tækið.

5. Uppsetning og ferning:
Eftir að tækjaskipulag er komið í verkstæðina þína getum við send haustverkamenn til að setja upp og athuga tækið. Við munum bera ykkur til áskrift fyrir þessaþjónustukostnað.

6. Um vöruverja:
Tækjam okra 12 mánaða tryggingartímabil. Eftir tryggingartímabilið, ef einhver hluti er brotinn og þarf að skipta út, munum við aðeins kenngjá kostprísið.

Forsíða

Um okkur

MH Equipment

Lausn

Notendur í erlendum

Myndband

Hafa samband

Sjálfvirkur einn platan Wafer kemisk mekanisk pólser Planarization CMP

Eiginleikar tækisins

Notkunarsvið

Teknisk niðurstöður

1. LoadPort eining

2. Robótamaterialasamningureining

3. Fínmyndunarstofa

Aðrar vöruútskriftir

MD-FS röð kapparvélar

MD-FDS röð sjálfvirku kapparvélar

MD-EFS röð kapparvélar

MD-EDFS röð plím kapparvélar

Fyrirspurn

Articles

Products

Get In Touch