Líkan |
MDTS-WT2200 |
Fjöldi þunnumargaks |
2 |
Fjöldi vinnaflata |
3, Vísamáti |
Grindargerðir spindill |
Fjöldi loftspindla: 2 Spinnulófa: 7,5kW breytileg spinnulófa Hraða: 0~6000rpm, ótakmarkaður Grindarspefji stærð: Φ203mm Grindartegund: diamantgrindari |
Grindaraðgerðarkerfi |
Magn: 2 sett Stjórnun afurkerfis: LM leiðarband og fótsskrúva samsetningar Hringfermót: servomótur Lágmest afurhast: 0.1um\/sec Hæstmest afurhast: 50mm\/sec |
Vinnumynd |
Magn: 3, Vísingarmót Spindelmótur: Servomótur Hraði: 0~300rpm, óskiptanlega stillanlegur Festunarhverfi: Vakuumskammst |
Vélborðs snúningstöfla |
Hrýmið: servomoður Snúningur: 0~240° Staðsetning: staðsetning með hjálp sennu |
Sjálfvirkur þykkt mælingarkerfi |
Mælingaraðferð: IPG tengd raun tíma mæling Fjöldi mælarásar: 2 Mælasennur: 0,1um stig sennur |
Sjálfvirkt hlaða á/ afhlaða kerfi |
Tegund skráa: 6-8 tomma kassett, 25 lag Sjálfvir hlutaför: notuð er vafer manipulator til að varga á þunnum vafum við ferðina Vafer tjækking: 150um-1000um |
Hreinsun arkvöruskipuleiðs |
Hreinsunar aðferð: Ölsteini pólústur &DI vatn+loft tveggja flæði skylting |
Sjálfvir hreinsun/ þurrkunarkerfi |
Hreinsun: DIV slökugrindar hreinsun Þurrkun aðferð: Blásing +þurrkun Hraði: hámark 1000 sv. ótakmörkuður |
Kerf fyrir óvirkjun stilla |
Jónabjallar eða Orion vafri |
Huldarefur fyrir spindlum |
Hitastig: 18-22°C Framkvæmdarrás: 4~8L/min |
Stjórnkerfi |
Stjórnkerfi: PC-stjórnkerfi, rýringarskíminn með 3 litatengingarljósi Kínversk/enska notendaviðmót |
Stærsta gluggustærð |
Stærsta samvinnuupplýsing 8 colli |
Hraðabil |
0~6000 RPM |
Ferð á Z-ás |
160mm |
Hraði fyrir gefur á Z-ásu |
0.1~100um\/sec |
Hraði fyrir fljótt afturröð á Z-ásu |
50mm\/sec |
Upplausn á Z-ás |
0.1um |
Mælingarsvið af þykkleika á netinu |
0~1800um |
Upplausn mælinga af þykkleika á netinu |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved