ICP þurr plasma fjarlæging Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) vél fyrir hálfleiðara oblátu, Kína ICP þurr plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) vél fyrir hálfleiðara oblátu Framleiðendur, birgjar, verksmiðja

Vörulýsing

ICP PLASMA Fjarlægðu Photoresist vél

ÖSKUR
Fjarlæging fjölliða
Þurrt fjarlægt harða grímulagið
Fjarlæging ljósþols eftir jónaígræðslu
Fjarlæging ljósþols í BAW/SAW ferli
Fatahreinsun á and-reflektandi grafíkfilmulagi
Fjarlæging yfirborðsleifa
Yfirborðshreinsun eftir ætingu
DESCUM

ICP þurr plasma photoresist fjarlægingarvél er hentugur fyrir DESCUM (formeðferð, fjarlæging af photoresist leifum) Fjölliða fjarlæging (PI, BCB, PBO) Eftir jónaígræðslu, photoresist flutning osfrv., er hola hentugur fyrir 8 tommu sýni (4 -6 tommu samhæft)

ICP þurr plasmafjarlæging á Photoresist / Plasma Photoresist Removal (PR) vél fyrir smáatriði um hálfleiðara oblátur

ICP þurr Plasma Fjarlæging Photoresist / Plasma Photoresist Removal (PR) vél fyrir hálfleiðara oblátur birgir

ICP þurr plasmafjarlæging á Photoresist / Plasma Photoresist Removal (PR) vél fyrir framleiðslu á hálfleiðara oblátu

ICP þurr plasmafjarlæging á Photoresist / Plasma Photoresist Removal (PR) vél fyrir hálfleiðara oblátuverksmiðju

Specification

PLASMA			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		Hlutdrægni	600w (valkostur)	600w (valkostur)
Gildissvið			4 ~ 8 tommur	4 ~ 8 tommur
Fjöldi stakra vinnslu sneiða			1	2
Útlit mál			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Kerfisstjórnun			Iðnaðareftirlitskerfi	Iðnaðareftirlitskerfi
Sjálfvirknistig			Sjálfvirk	Sjálfvirk