Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Haldafræði tækifæri , China Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Haldafræði tækifæri Manufacturers, Suppliers, Factory

Vöruskýring

Tökuhlutplasmarískur (icp) kerfi

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Umslagna niðurstöður

Quartz \/ silíkon \/ grating rískur

Nota BR maska til að rískja quartz eða silíkon hluti, grating fylki mönnum hefur þunnustu línu upp á 300nm og hliðveggjarhallið mönnunar er nálægt > 89° , sem getur verið notað til 3D skjár, mikilvæg óptísk tækifæri, optoelektrónskt samþætting o.s.frv.

Samsettur \/ hlutmálsrískur

Nákvæm stjórnun yfir hitastig yfirborðs prufu getur vel stjórnað ettingarformlega af GaN-ásamt, GaAs, InP og metálum. Hún er viðeignuð fyrir blárósaleg fyrirbæri, leysur, röskunargreiningu og fleiri notkunum.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Etting á silís-basiðum efni

hún er viðeignuð fyrir etting silíkonabasisstofa eins og Si, SiO2 og SiNx. Hægt er að gera etting á silíkonslóðum yfir 50nm og djúp etting á silíkongrögum fyrir neðan 100um.

Stafrænir

Verkefni stilling og vélar gerðarskÿringur

item	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Vöru Stærð	≤6 þyngdi	≤8 þyngdi	≤6 þyngdi	≤8 þyngdi	Sérsniðið ≥12petra
SRF Varmur	0~1000W/2000W/3000W/5000Vílík, sjálfvirkt samstill\,13.56MHz/27MHz
BRF Varmur	0~300W/0~500W/0~1000Vílík, sjálfvirkt samstill,2MHz/13.56MHz
Sameindar pumpe	Ófroskleitt: 600/1300 (L/s)/Sérsniðið			Froskleyst: 600/1300 (L/s)/Sérsniðið		600/1300(L/s)/Sérsniðið
Forspánpumpe	Vélpumpe / þurrapumpe			Efnaskapaður þurrapumpe		Vélpumpe / þurrapumpe
Forskoðupumpe	Vélpumpe / þurrapumpe			Vélpumpe / þurrapumpe
Ferliþrýsting	Óstjórnandi þrýsting/0-0.1/1/10Torr stjórnaður þrýsting
Gástegund	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Sérsniðin (Upp á 12 slemborð, enginn efnafræðilegur & giftig gás)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Sérsniðin (upp í 12 röður)
gássvið	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Sérsniðin
Hleðslulæsi	Já/Nei			Já
Hitastjórnun prufu	10°C~Herbergis hiti / -30°C~150°C / Sérsniðin			-30°C~200°C/Sérsniðin
Bakvið heliumkyling	Já/Nei			Já
Línun á ferlihólunni	Já/Nei			Já
Hitastjórnun veggja hólunnar	Engin/Stofa tem-60/120°C			Stofa tem~60/120°C
Stjórnkerfi	Sjálfvirkt/sérsniðið
Ettingarmaterial	Silíkons-basi: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Frumstofu stofur:PR/Orgán þynning......			Silíkons-basi: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magnethefjarverkfræðiþáttur \/ sambandsþáttur Metallhefjarverkfræðiþáttir: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Fjölnýr þáttar: PR\/fjölnýrt breiðslu...... Silísíngar djúpgræðsla