uppbygging |
lýsing |
Upplýsingar um uppsprettara |
Upplýsingar um uppsprettara: uppsprettara, staður fyrir setingu af gerðum |
Ljóskeppanakerfi |
Laser útsendun gerðarvölu |
Kerf virkja umhverfis |
Virkjar innri hitastig og jákvæð þrýsting á tólatæki |
Plattaforma kerfi |
Virkjar færslu af skiptiborði til að ljúka við ljósleiðarferli |
Stjórnkerfi |
Virkjarkerfi alls tækisins |
- Nei, ekki. |
Umhverfi |
Krefja |
1 |
Ljóskerfi umhverfis |
Gulur ljós |
2 |
Hitastig |
22℃±2℃ |
3 |
Húðrúm |
50%±10% |
4 |
Reinlæti |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, törstugt, reynt loft |
6 |
Virkjunarsupply |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Jörðarás mun verða jörðaður, |
7 |
Kulda vatn |
Hitastig: 10℃~ 20℃ Tryggð: 0.3MPa ~ 0.5MPa Rafsmagn: 20L/min Tryggðargaman: 0.3MPa eða meira Undirfangargerð: Rc3/8 |
8 |
Staður |
hæð: ±3mm/3000mm skjálft: VC-B Beaðing: 750kg/㎡ |
10 |
Netinu |
Einn netgreinaportur |
11 |
Stærð vélar |
1300*1100*2100mm |
12 |
Gerðavætt |
1500 kg |
- Nei, ekki. |
Verkefni |
-Skilgreining. |
Athugasemd |
1 |
Upplausn |
0.6um/eða önnur kröfur |
AZ703、AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Þykkleiki snúða |
0.2mm~4mm |
|
4 |
Dagsgríð nákvæmni |
60nm |
|
5 |
Láguhópur |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Tækifærra nákvæmni |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Hámarkshljóðargerðarstærð |
190X190mm |
|
8 |
Framkvæmdarflokkur |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm2; |
9 |
ljósgjafi |
LD 375nm |
|
10 |
ljóðýn |
6V |
|
11 |
Orðulækni |
≥95% |
|
12 |
ljós lífið |
10000tím |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved