MDHS-AL8 8" Fullvísleg einhluti lithography vél , China MDHS-AL8 8" Fullvísleg einhluti lithography vél Manufacturers, Suppliers, Factory

Vöruskýring

MDHS-AL8 8" Fullvísleg einhluti lithography vél

1. Vinnumáti: Láðingarroboturinn láðir sjálfvirkt vafra úr A-B (endurnýjanleg) vafraboxinu á fyrri stillingarbordið

vinnaflötur, og með stillingu myndavélarvælisins á vinnaflötunni og sjálfvirri snúningarkerfi, er fyrri stilling á vinnaflötunni náð; Láðunarrobotinn lætur síðan fyrri stilltu vinnaflötunni á jöfnustillingarflokki. Með tölvu-myndgreiningu og stillingu sjálfvirkra jafnstillingskerfisins er mögulegt að ná sjálfvirkri jöfnun mynda á máskanum og vinnaflötunum. Er einnig hægt að lokið einkum útskeiði án þess að jafna myndirnar. Eftir sjálfvirk útskeið af yfirútskeiðakerfinu setur útláðunarrobotinn sjálfvirkt vinnaflötuna í C-D (endurtekjara) vinnaflötubakka.
2. Útskeiðargerð: 160 × 160mm;
3. Ojávnt útskeiðargljósi: ≤ 3%;
4. Styrkur útskeiðs: 0~≥ 40mw/cm2 stillanlegur (hlutbroddurhorn 2 °);
5. UV broddurhorn: ≤ 3 °;
6. Miðlengd UV ljóss: 365nm;
7. Lífslengd UV ljóss: ≥ 20000 klukkustundir;
8. Skiptingarþægindi: 0~≥ 1000um stillanlegt;
9. Jafnstillunarþau: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Nákvæmni viðbótar: Aðfaro viðbótar ± 1 μ m. Nær viðbótardiskillingur af 20 μ M stralahorn 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Viðbótaraðferðir: harða aðfari, blandað aðfari og nágrennandi viðbót
12. Viðbótarmóði: Þú getur valið á milli einu sinni viðbótar eða hliðrað viðbótar
13. Fyrri stilling myndkenningar og sjálfvirka snúningarkerfi (með fyrri stillingarbord): snúningurleiki Q ≥ ± 180 °, snúningarnákvæmni Q ≤ 0.01 °;
14. Myndkenning og sjálfvirk stillingarkerfi (með UVW stillingarbord): stillingarummál X Y ≥ ± 5mm, snúningurhorn Q ≥ ± 3 °, og tvö mikroskóparlensarnir eru stjórnaðir af tveimur XYZ rafrænum pöntum.
15. Stærð maskannar: 5 "× 5" og 7" × 7 ";
16. Skífstærð: 4 "og 6";
17. Efri og neðri filmboksastofnanir: tvö stofnanir;
18. Fótupús airbag
19. Hlaða- og hlaða úr tvöfjarms robótararmur: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Fjöldi plata í platabóx: ákvarðað út frá fjölda platar í viðskiptavinanum;
21. Hæðarréttur borðs: Z ≥ ± 25mm;
22. Lysstund: stillanlegt frá 0 upp í 999,9 sekúndur;
23. Framleiðsluhráða:> 120 hlutir á klukkustund;
24. Afkvörðunargerð: einphásar AC220V 50Hz, kraftforðun ≤ 3KW;
25. Renn rýmdalufa: ≥ 0,4MPa;
26. Þyngd: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Stærð: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Vektur: Nóg nær 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Þessi virkur bestur af LED ultrafjólubeygingarhöfuði, myndkenningu og sjálfvirkri snúningarkerfi, fyrri stillingarbordi, og mynd eins og kenningu og sjálfvirkri jafnstillingskerfi, jafnstillingsborði, hlaðunarrobotum, óhlaðunarrobotum, ráki, og rafrænum stjórnunarskipulagi bestu af tækjum, yfirleifisviðbótum o.s.frv.

Stafrænir

1. Ljósmyndunarhöfuð: Eitt LED bláhvít ljósmyndunarhöfuð (365nm);
2. Myndkenning og fyrri jafna verkborð:
1) 1 kamera (1,3 milljónir myndaflakar)
2) Miðja stillingaraðgerð
3) 1 hlutur snúandi borðs (með notkun servo motorar)
4) 1 hlutur stillingarkerfi
3. Myndkenning og sjálfvirkt jafnakerfi:
1) 2 kameru (5 milljóna myndaflakar há hraða)
2) 2 linser (4x háskýrni-linsur)
3) Einn veitingarkassi
4) Ein stjórnvél (stjórnuð af PLC)
5) Eitt sett jafnaflat (með notkun 5-phásu skrefamótors)
6) Eitt sett íhaldskerfi
7) Þrafanlegur tækjakassi notar motor til auka og lækkunar
7) Hugbúnaðurinn notar nýjustu útgáfu af LabVIEW Professional Edition
4. Inn- og útskráningaraðgerðir mekaniskri armi:
1) X Y. Eitt Z sjálfvirkt færsla kerfi
2) Tveggja armadrottur (inn- og útskráningararmar)
5. Wafer kassu fastsetningarkerfi:
1) AB er fast stilling á innflutningsfilmakassanum
2) CD er fast stöða af myndbandaskráarbox
3) G er fast stöða af NG stöðu myndabandaskráarbox
6. Myndavél fast plattform:
7. Tveir samstarfsgruppur Y.Z elektrisk rafræn stilling (stjórnað af servomoðum)
8. Rafrað og rafræn stjórnborð:
1) 1 vinnsluveita
2) Ein sameining af PLC;
3) Ein sameining af magnhliðarspillum og stjórnkerfi
4) Sameining digitalra pneumatískra mælenda
5) Ein sameining af stjórnborði
8. Viðbótaleg tengingar:
1) Brjósta: 15 metra
2) 2 sólénoid gætigir
3) Vakuumpumpe: 1 eining
9. Tekniskar gögn:
1) Ein notendabók
2) Ein sertifikat um samræmi
10. Aukalegar upplýsingar
Hugbúnaður fyrir tækið þarf að vera með SECS-samræmingarprotokoll, og kaupanda gefur út færsluorðabók með virkni að sameina við kerfið MES af kaupanda, sjálfkrafa skráningu vöru flockanúmera, starf númera og vinnustillingu og hlaða þeim upp. Á sama tíma hefur það virkni til að kenndu QR kóða á máskuborðinu, bera saman með QR kóða máskuborðsins í kerfinu MES og forðast að rangt máskuborð sé tekið.

Pakking & Afhentun