MDICP-5000F Fullvíslegt ICP Etching virkis / Haldafræði tækifæri Inductively samþjappað Plasma , China MDICP-5000F Fullvíslegt ICP Etching virkis / Haldafræði tækifæri Inductively samþjappað Plasma Manufacturers, Suppliers, Factory

Vöruskýring

MDICP-5000F Fullvísleg loftlæst samþjálfur plasma brottingaraðferðarvél

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Yfirlit

Áfangurinn er kerfi af tveimur herbergjum í vakuða. Eitt herbergi er innsetningargerðin og hinar herbergi eru brottingargerðin. Vakuðalas af gerðinni er sett upp milli innsetningarherbergisins og brottingargerðarinnar, og innsetningargerðin fer fram með handvirki.
Tökuæfið er afgangslega sett saman af vacuumkerfi, gásferðakerfi, rafrænakerfi, stjórnunarkerfi, kólnakerfi, myndbandssendingu og -tökuþættingu, vísingarkerfi, o.s.frv.

vakuumkerfi

Kerfið bestar á molekúlupummi með pumms-hraða 600 L/s + umboðnum drykkapumpi með pumms-hraðu L/s til að pumpa ettingarkamara í hávacuum. Dynnefjartryggjaákvörðunarvél er sett upp á milli molekúlupumpsins og ettingarkamarsins. Umboðinn drykkapumpur er fyrirpumpi fyrir ettingarkamara og forystupumpi fyrir molekúlupumpinn. Notuð er annan mekanískan pumpu með pumms-hraðu L/s til að vacuumfæra prufukamara. Rostlausar bollustrengir eru notaðir fyrir tengingu milli mekanískrar pumps og vacuumkamarsins og molekúlupumpsins, og magnetrýnileg loftstýringarstoppvalv er sett inn.

Styðja tryggju stjórnunarkerfi

Tökuvarpið er úrbúið með stuðulstæðri þrýstingarstjórnunarskemmt fyrir neðan, og skiptareglur eru settar inn í loftútferðarleiðina. Með mælingarfilm (innflutt hluti) er reglulegur spilvalve stjórnaður til að gera þrýstingarkamara stuðulstæða, svo að ferliþegundin sé bætt við.

Styðja tryggju stjórnunarkerfi

Gásferðakerfi

Tvær raðir af RF afmörkuðu með sjálfvirku samstillingu.

varparkerfi

Tryggingarákvæði fyrir tæki.

Stafrænir

Name	Spc	Merki	Númer/Neyð	Athugasemd
Skorðunarhól, loftútferðarleiðir, athugaðuhál, forráð tengisvæði o.s.frv.	Staðall	JSWN	1	Roknviðgerð
Rammi, rafskáp, loka, staðbundnar hlutar o.s.frv.	Staðall	JSWN	1
Upphæfingarverk fyrir ettingarhús	Staðall	JSWN	1	Roknviðgerð
Ettingaraðildi og hlæðingu kerfi	Staðall	JSWN	1	Roknviðgerð
Mólkumpa (dróugardráttur 600 L/s)	FF620/150	KYKY	1	Roknviðgerð
Inngangur torrkumpa (dróugardráttur 9 L/s)	XDS-35I	Edwards	1	Roknviðgerð
Vélkumpa (dróugardráttur 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Rafmagnsstillt gæsluveður	DCQ-150	JSWN	1	Roknviðgerð
Lufnabregðandi stöðugildiveður	KF40	JSWN	3	Roknviðgerð
Þinnimálmur	KF16	INFICON	1	Roknviðgerð
Svæðismengi stillari	D07	Sevenstar	4	Roknviðgerð
Lufðiaphragm svæði	1⁄4″VCR	-	4	Roknviðgerð
Rjúpastaður af rúsí, rústæki, o.s.frv.	1⁄4″VCR	-	4	Roknviðgerð
RF vöruvörðun þátttakmarkari	-	Kín (ValfrjálseCROWN1310)	1
RF vöruvörðun þátttakmarkari	-	Kín (ValfrjálseCROWN1310)	1
Samsett vacuum metri	ZDF	RB	1
ípc	2U	China	1
LCD snertiskjár	17 tommur.	China	1
PLC stjórnkerfi	S7-200	Siemens	1
Rafdrifstýringarkerfi	Staðall	JSWN	1
Kælingarvatnsgáttun og leitiskerfi	Staðall	JSWN	1
Þokkvatnsgáttun og leitiskerfi	Staðall	JSWN	1
Kæliskrómur af vatni	HX	China	1
Hröðunarinnislóð	Staðall	JSWN	1
Vakuúmlausn	SMC	SMC	1
Stjórnunarkerfi fyrir hattara	SMC	SMC	1

Póstteknískur stika

1. Lágmarksvakuúm: Hröðunarherbergi 9.0×10-5Pa (Húsþyngd≤55%)
Injektilóðin 6.0×10-1Pa
2. Fræsingarmaterial: Ⅲ, ⅤMaterial, Si, SiO2 o.s.frv.
3. Fræsinguhráti: ~ 1μ/min
4. Fræsingajafna: ≤±5％(φ125mm vöruvísir)
6. Lóðastærð: φ200mm

Pakking & Afhentun