MDICP-5000F Sjálfvirk ICP ætingarvél / hálfleiðarabúnaður Inductive Coupled Plasma , Kína MDICP-5000F Sjálfvirk ICP Etching Machine / Hálfleiðarabúnaður Inductive Coupled Plasma Framleiðendur, birgjar, verksmiðja

Vörulýsing

MDICP-5000F Alveg sjálfvirk ICP ætingarvél

MDICP-5000F fullsjálfvirk ICP ætarvél / hálfleiðarabúnaður Inductive coupled plasma verksmiðja

Executive Summary

Búnaðurinn er tveggja hólfa lofttæmikerfi. Annað hólfið er innspýtingarhólfið og hitt er ætingarhólfið. Tómarúmslás er settur upp á milli inndælingarsýnishólfsins og ætingarhólfsins og inndælingarsýnið er flutt með stjórntæki.
Búnaðurinn er aðallega samsettur af tómarúmskerfi, gasrásarkerfi, rafkerfi, stjórnkerfi, kælikerfi, kvikmyndafóðrun og -tökubúnaði, viðvörunarkerfi osfrv.

Tómarúmskerfi

Kerfið samanstendur af sameindadælu með 600 L/S dæluhraða + innfluttri lofttæmisdælu með L/s dæluhraða til að dæla ætingarhólfinu í hátt lofttæmi. Rafmagns þrýstingsstýringarventill er settur upp á milli sameindadælunnar og ætingarhólfsins. Innflutta þurrdælan er fordæla ætingarhólfsins og framstigsdælan á sameindadælunni. Notaðu aðra vélræna dælu með dæluhraða L / s til að ryksuga sýnishólfið. Ryðfrítt stálbelgur er notaður til að tengja vélræna dælu og lofttæmishólf og sameindadælu og rafsegulfræðilegur pneumatic blokkarventill er settur upp.

Stöðugt þrýstingsstýrikerfi

Búnaðurinn er búinn niðurstreymis stöðugum þrýstingsstýringarkerfi og rafmagnsstillanleg loki er settur upp í loftútsogsleiðsluna. Með mælingu á filmumæli (innfluttum hlutum) er stillanlegum loki stjórnað til að láta lofttæmishólfið ná stöðugum þrýstingi til að bæta stöðugleika ferlisins.

Stöðugt þrýstingsstýrikerfi

Gasrásarkerfi

Tvö sett af RF aflgjafa með sjálfvirkri samsvörun.

Viðvörunarkerfi

Öryggiskröfur um búnað.

Specification

heiti	Spc	Brand	Nr./Set	Athugaðu
Ætingarhólf, loftútdráttarleiðslu, athugunargluggi, frátekið viðmót osfrv	Standard	JSWN	1	Ryðvarnarefni
Rammi, rafmagnsskápur, innsigli, staðalhlutir osfrv	Standard	JSWN	1
Lyftikerfi fyrir ætingarhólfshlíf	Standard	JSWN	1	Ryðvarnarefni
Ets rafskaut og kælikerfi	Standard	JSWN	1	Ryðvarnarefni
Sameindadæla (dæluhraði 600 l/s)	FF620/150	KYKY	1	Ryðvarnarefni
Inntaksþurrdæla (dæluhraði 9 l/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Ryðvarnarefni
Vélræn dæla (dæluhraði 9 l/s)	TRP-36	BWVAC	1
Rafmagns stýrishliðsventill	DCQ-150	JSWN	1	Ryðvarnarefni
Pneumatic belgi stöðvunarventill	KF40	JSWN	3	Ryðvarnarefni
Filmumælir	KF16	INFICON	1	Ryðvarnarefni
Massaflæðisstýring	D07	Sjöstjörnu	4	Ryðvarnarefni
Pneumatic þind loki	1/4" myndbandstæki	-	4	Ryðvarnarefni
Ryðfrítt stálpípa, pípusamskeyti osfrv	1/4" myndbandstæki	-	4	Ryðvarnarefni
RF aflgjafi / sjálfvirkur mótari	-	Kína (ValfrjálstCROWN1310)	1
RF aflgjafi / sjálfvirkur mótari	-	Kína (ValfrjálstCROWN1310)	1
Samsettur tómarúmsmælir	ZDF	RB	1
IPC	2U	Kína	1
LCD snertiskjár	17inch	Kína	1
PLC stjórnkerfi	S7-200	Siemens	1
Rafmagns stýrikerfi fyrir drif	Standard	JSWN	1
Kælivatnsgreining og leiðslukerfi	Standard	JSWN	1
Þrýstiloftsskynjun og leiðslukerfi	Standard	JSWN	1
Kælandi hringrásarvatnsvél	HX	Kína	1
Ætingarsprautuhólf	Standard	JSWN	1
Tómarúm læsing	SMC	SMC	1
Stýrikerfi fyrir stjórntæki	SMC	SMC	1

Póst tæknileg færibreyta

1. Takmarka lofttæmi: Ætingarhólf 9.0×10-5Pa (Rakastig innanhúss≤55%)
Inndælingarsýnishólf 6.0×10-1Pa
2. Ætsefni: Ⅲ、ⅤEfni、Si 、SiO2 osfrv
3. Ætingarhraði: ~ 1μ/mín
4. Einsleitni ætingar: ≤±5％(φ125mm svið)
6. Rafskautastærð: φ200mm

Pökkun og afhending