MDPS-560 Pyriform Double Chamber sputtering System / Hálfleiðara iðnaðarbúnaður , Kína MDPS-560 Pyriform Double Chamber sputtering System / Hálfleiðara iðnaðarbúnaður Framleiðendur, birgjar, verksmiðja

Vörulýsing

MDPS-560 Pyriform Tvöfalt Chamber Sputtering System

Notað til að útbúa eins/marglaga virka nanófilmur, þar á meðal ýmsar harðar, málm-, hálfleiður- og rafknúnar filmur fyrir háskóla og vísindastofnanir.

Sputtering tómarúm hólf, magnetron sputtering mark, vatnskælandi undirlagshitaplötuspilari, sýnissprautuhólf, sýnishólf, annealer, bakskolunarmarkmið, segulsýnissendingarbúnaður, gasrás, dælukerfi, lofttæmismælingarkerfi, rafstýrikerfi og festingarstöð.

MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Hálfleiðara búnaðarframleiðsla

Specification

Gerð			MDPS-560 II
Aðal sputtering Chamber			pyriform tómarúmhólf, stærð: Φ560×350mm
Dæmi um inndælingarklefa			sívalur og lárétt gerð, stærð: Φ250mm×420mm
Dælukerfi			óháð samsett sameindadæla og vélrænt dælusett fyrir aðal sputtering hólf og sýnissprautuhólf.
Fullkomið tómarúm	Aðal sputtering Chamber	≤6.67×10-6Pa (eftir bakstur og afgasun)
Fullkomið tómarúm		Dæmi um inndælingarklefa	≤6.67×10-4Pa (eftir bakstur og afgasun)
Endurheimtu tómarúmstíma	Aðal sputtering Chamber	6.6×10-4Pa eftir 40 mín.(dæling eftir stuttan tíma útsetningu fyrir lofti og fyllt með þurru köfnunarefni)
Endurheimtu tómarúmstíma		Dæmi um inndælingarklefa	6.6×10-3Pa eftir 40 mín.(dæling eftir stuttan tíma útsetningu fyrir lofti og fyllt með þurru köfnunarefni)
Magnetron Target Module			5 varanleg segulmörk; stærðΦ60mm (eitt af skotmörkunum getur sputterað járnsegulefni). Öll skotmörkin geta RF sputtering og DC sputtering samhæft; og fjarlægðin milli marks og sýnis stillanleg frá 40 mm til 80 mm.
Vatnskælandi undirlagshitun snúningstafla	Uppbygging undirlags	Sex stöðvar, hitaofn settur upp á einni stöð og hinar eru undirlagsstöð fyrir vatnskælingu.
		Size	Φ30mm, sex myndir.
		Hreyfingarmáti	0-360°, gagnkvæmt.
		Upphitun	Hámark Hiti 600 ℃ ± 1 ℃
		Neikvæð hlutdrægni undirlags	-200V
Gasrásarkerfi			Tvíhliða massaflæðisstýring (MFC)
Dæmi um inndælingarklefa	Sýnishorn	Sex einfalt í einu
		Græðslumaður	Hámark hitunarhiti 800 ℃ ± 1 ℃
		Resputtering Target Module	Endurreisn þrif
Segulsýnissendingarkerfi			Notað til að flytja sýni á milli sputtering hólfs og sýnissprautunarhólfs.
Tölvustýringarkerfi			Snúningur sýnis, opinn og lokaður skjálfti og stjórnun markstöðu
Hæð upptekin	Aðalsett	2600 × 900mm2
Hæð upptekin		Rafmagnsskápur	700×700mm2 (tvö sett)