1.Útskeytingartegund: ennhliða.
2.Útskeytingarsvæði: 110×110mm.
3.Ojákvætt útskeytingarljós: ≤±3%.
4.Útskeytingarstyrkur: 0-30mw/cm2 justanlegt.
5.UV straumarhorn: ≤3°.
6.Miðlengd UV ljóss: 365nm.
7.Lífshænn UV ljóssólar: ≥500 klukkustunda.
8.Notkun af elektrónskjálfti.
9.Útskeytingargildi: 1 μm;
10. Ritröskuskannafríði: X:±15mm Y:±15mm;
11. Jafnafríði: X,Y justun±4mm; Q-átt justun±3°;
12. Gráfsniðunarþauði: 1 μ Þauðin á notandans „útgáfu“ og „krópu“ verða að samanstæða landslögum,
og umhverfið, hitið, fuknið og dulinn getur verið strengt stjórnað. Notuð er innfluttið jákvætt ljósstefnuvarp, og þykkt líkamsins varps getur verið strengt stjórnað. Að einu meginum eru framleiðsluprosesarnir fremri;
13. Skiptingarmagn; 0~50 μm justanlegur;
14. Lysingaraðferð: nálýsing, sem gætir að uppná háðgildislysingu, mjúka hliðarslysingu og mikilvægja krafa lysingu; 15. Ferlaformúla: loft