1.Lýsing: einhliða.
2.Lýsingarsvæði:110×110mm.
3.Ójöfn útsetning lýsing: ≤±3%.
4.Lýsingarstyrkur: 0-30mw/cm2 stillanleg.
5.UV geislahorn: ≤3°.
6.Central bylgjulengd útfjólubláu ljóss: 365nm.
7.UV ljósgjafa líftími: ≥500 klst.
8. Samþykkja rafræna lokara.
9.Lýsingarupplausn: 1 μm;
10. Örsjárskönnunarsvið: X:±15mm Y:±15mm;
11.Jöfnunarsvið: X,Y stilling ±4mm;Q-stefnustilling ±3°;
12.Löfunarnákvæmni:1 μ Nákvæmni "útgáfu" og "flís" notandans verður að vera í samræmi við landsreglur,
og umhverfið, hitastig, rakastig og ryk er hægt að hafa strangt eftirlit með. Innfluttur jákvæður ljósþolinn er notaður og þykkt samræmdu ljósþolsins getur b.e strangt stjórnað. Auk þess eru fram- og aftanferlar háþróaðir;
13.Aðskilnaðarmagn;0~50 μm stillanleg;
14. Lýsingaraðferð: náin útsetning, sem getur náð harðri snertingu, mjúkri snertingu og snertingu við örþunga; 15.Square finding formúla:loft