MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner , Kína MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner Framleiðendur, birgjar, verksmiðja

Vörulýsing

Þessi búnaður er aðallega notaður til þróunar og framleiðslu á litlum og meðalstórum samþættum hringrásum, hálfleiðarahlutum og yfirborðshljóðbylgjubúnaði. Vegna háþróaðs jöfnunarbúnaðar og lágs jöfnunarkrafts er þessi vél ekki aðeins hentug fyrir váhrif á ýmsum gerðum undirlags, heldur einnig til váhrifa á auðveldlega sundurliðuðu undirlagi eins og kalíumarseníði og fosfatstáli, svo og váhrifum á ekki hringlaga og lítil undirlag.

Framleiðsla MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner

Specification

Helstu tæknilegar breytur

1. Gerð lýsingar: einhliða útsetning
2. Lýsingarsvæði: 110X110mm;
3. Einsleitni útsetningar: ≥ 97%;
4. Lýsingarstyrkur: 0-30mw/cm2 stillanleg;
5. UV geislahorn: ≤ 3 °
6. Miðbylgjulengd útfjólubláu ljóss: 365nm;
7. Líftími UV ljósgjafa: ≥ 20000 klukkustundir; (2 ára ábyrgð)
8. Samþykkja rafræna lokara;
9. Lýsingarupplausn: 1 μM
10.Camara útsýnissvið: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Jöfnunarsvið: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q：±3°.
12. Jöfnunarnákvæmni: 1um (við gott umhverfi)
13.Aðskilnaðarfjarlægðarsvið: 0-50um stillanleg.
14. Lýsingaraðferð: snertiáhrif.(harð/mjúk/örsnerting)
15.Balance aðferð: Loftflot.
16. Smásjárkerfi: tvöfalt sjónsvið CCD kerfi, hlutlinsa 1.6X~10X, tölvumyndvinnslukerfi, 19" LCD skjár; Heildarstækkun 91-570x. fjarlægð hlutlægs: 50-120mm.
17. Grímustærð: 127*127mm;102*102mm
18. Stærð undirlags: Φ102mm；Φ76mm
19. Þykkt undirlags: ≤1mm
20. Lýsingartími: 0-999.9 sekúndur stillanleg.
21.Afl: 220V 50Hz 1.5kw.
22.loftuppspretta?0.4Mpa
23.Tómarúmsstig: -0.07MPa~-0.09Mpa

Pökkun og afhending